Способ создания силицидов металлов

Номер патента: 884481

Авторы: Васильев, Герасименко, Соколов

Описание

Способ создания силицидов металлов, включающий нанесение металлической пленки на кремний и импульсный нагрев структуры, кремний - металлическая пленка, отличающийся тем, что, с целью повышения качества силицидных слоев при одновременном сохранении свойств исходного кремния, структуру нагревают импульсами СВЧ-излучения со следующими параметрами: длительность отдельного импульса менее 10-5 с и временные промежутки между ними 10-2 -10-1с, частота СВЧ-излучения 30 МГц - 100 ГГц, плотность поглощения энергии СВЧ-импульса рассчитывается по формуле
E c Тп dм (Дж/см2),
где С - теплоемкость пленки металла
Тп - температура плавления металла,
dм - толщина пленки металла.

Заявка

3215252/25, 12.12.1980

Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирский государственный университет

Герасименко Н. Н, Васильев С. В, Соколов С. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/24, H01L 21/28

Метки: металлов, силицидов, создания

Опубликовано: 10.11.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-884481-sposob-sozdaniya-silicidov-metallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания силицидов металлов</a>

Похожие патенты