Способ создания силицидов металлов
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 884481
Авторы: Васильев, Герасименко, Соколов
Описание
E



где С - теплоемкость пленки металла
Тп - температура плавления металла,
dм - толщина пленки металла.
Заявка
3215252/25, 12.12.1980
Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирский государственный университет
Герасименко Н. Н, Васильев С. В, Соколов С. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/24, H01L 21/28
Метки: металлов, силицидов, создания
Опубликовано: 10.11.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-884481-sposob-sozdaniya-silicidov-metallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания силицидов металлов</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления многослойных p-n структур соединений типа aiiibv
Следующий патент: Способ создания металлических покрытий на полупроводниках и диэлектриках
Случайный патент: Хинолил-(2-азо-6)-м-аминофенол в качестве реагента на ион двухвалентной меди