H01J 49/48 — с использованием электростатических анализаторов, например цилиндрических секторов, фильтров Вьена

Номер патента: 865049

Опубликовано: 15.04.1982

Автор: Фишкова

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, частиц, электростатический, энергоанализатор

...с внешней стороны второго электрода. Поле, создаваемое такими электродами, имеет плоскость симметрии и растет пропорционально кубу расстояния, отсчитываемого от ребра двугранного угла по направлению ко второму электроду, т. е. является сильно неоднородным, При впуске Ниже дано аналитическое выражение для расстояния между входом в поле и выходом из поля центральной траектории пучка заряженных частиц в плоскости дисперсии ХОЕ (плоскость симметрии поля): 10 20 25 Зо 35 40,/2 Ф д- ( к д = 1-- соз ОРя, - , (1) Х 4 4 / Фгде Х=у1 -- я 1 п 6,я = агс созХ;,КЗдесь Р и д - разность потенциалов и расстояние между электродами энергоанализатора, соответственно: Ф - ускоряющий потенциал; О - угол наклона центральной траектории пучка на входе в...

Номер патента: 989613

Опубликовано: 15.01.1983

Авторы: Колотилин, Сафонов, Шеретов

МПК: H01J 49/48

Метки: времяпролетный, масс-спектрометр

...= 2 т 1пш1 во1 д - фаза входа иона в поле;одна из координат х, у, г.35При о К и 0 (К (электроды вытянуты вдоль оси г) рабочие точки на диаграмме стабильности по координате га и с находятся вблизи начала2координат. В этом случае время движения ионов Т в такой системе равно1Вггде р = а + - ,245 ,При а ф 0 и с 1, соизмеримом с а, (прямая 1 на Фиг. 1)1рг-.а и Т = -1 Гат,е. время движения ионов в ионном 50 зеркале пропорционально, как и в обычных времяпролетных масс-спектрометрах, квадратному корню из массы.При а = 0 (ось 0 )р- , а время% - р55 т.е. в этом случае наблюдается линейная зависимость времени движения ионаот его массы, что является большимпреимуществом по сравнению с обычнымивремяпролетными масс-спектрометрами.Можно показать, что...

Номер патента: 776395

Опубликовано: 07.04.1983

Авторы: Вайсберг, Хазанов, Шифрин

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, спектрометр, угловой, частиц

...и внешнегопусЬ электростатический айализатор электродов, имеющих форму поверхносс наружной и внутренней отклоняюци ти вращения,.ми пластинами, дополнительное откло- Кроме того, внешний электрод вы-.няюцее устройство, установленное с.а полнен в виде сетки. С наружной сто" "ружи у входного окна упомянутого ана роны внешнего электрода, изолированнолизатора, источники Питания пластин ;от него, установлена защитная сетка,анализатора и отклоняющего устройст- которая соединена с корпусом спектро.ва, по крайней мере один детектирую- метра. Эта сетка повышает безопасцйй элемент, усилитель-формирова- Ность эксплуатации прибора.тель и счетчик импульсов 3 ,На фиг,1 дана структурная схемаДополнительное отклоняющее устрой прЕдлагаемого углового...

Номер патента: 845673

Опубликовано: 07.06.1983

Авторы: Ландышев, Швангирадзе, Шетинина

МПК: H01J 49/48

Метки: детектор, микроанализатора, рентгеновского, электронов

...- в виде пластин, причем, последние расположенына внутренней поверхности держателя через электроизолирующие подложки параллельно этой поверхности,, тс)) тс сс 3 т.с 31151 Н 55) "31.ТКОт,сОСт Г, т. О т.т;с дО,стО)3 т)ст)- т) ттт . т тт сст ГД 1 Н 1,Г)ОСТ 5. ЙН ГНс :.1 ОО;: "1) ЕДЕЛс 3 Н И;. О) РС Н НЫ . ОТ845673 ВНПИПИ Заказ 6331/1 Тираж 703 Подписное атент",Ужгород, ул,Проектна ПП филиа интегральный поток; изменять условия освещенности объекта на растровых электронно-оптических изображениях путем подключения соответствующего набора коллекторов к системе регистрации,Количество пластин-коллекторовсвязано с величиной тока электронного зонда, чувствительностью регистрирующего устройства и коэффициентом передачи сследующим образом:и= -...

Номер патента: 1062803

Опубликовано: 23.12.1983

Авторы: Зыков, Цхакая, Ярыгин

МПК: H01J 49/48

Метки: анализатор, квазисферический, электронов, электростатический, энергии

...л ТКИ И К галс;ЕК ТОР, ДИСтаНЦИОНИГООа ННЫЕ РЗРГЭГ ОТ ггЗ а г.ПОМСЦЬЮ 1 ЕЬЗМИЧЕСКИХ КОЛЕЦ.Сц генки ке рамиз сс:(. Й абаи:ь 1 кза.иРУКт ПРОСтРаНС.Та СЕТКИ - Н С;ЛСктагсО 1 третиных э 1 ек трааз: 11 с.Об хедивэ 5МОСТ ЭКРсгнИРОВКИ 0.1 ГРЕТИ . НЫХ ЭЗЕК -тронов связана .-. тРм чта с;ни,ройяляЧЕРЕЗ таРМОЗЯЦИЕ СЕ."1(И И ПСПалаг Наколлектор приведут к получениюЗСЗЖНОР 1 ИНфОРМаЦИИса ОПЯДБ Я 11 З КОЗ.г:глЕКТСР МИМО ТОСМОЗЯЩЕЙ -, Ет КН . ЕЛ 11 -30и веют (1 с 1 сзвый алек:рон - ый такуменшая гем самьгм с зстнашенне сиг -нс.г шУМ ",Олак тгР лГн 1 и "ггГ агс -ционирующе:(ерамичес:кие козьца стя 55 нуть В блок1;смацьг н;, инг-г; а 1 ки1 акицная - ай 1.а кс.рам .е(.г.:Й гзбг ЙмыВанной СТ СаэаО 1 О ф.г. 1 ПВ .ОЛСТ. - ;1 И,.ЗГООБЛЕННОй ВИДЕ ГРРажНИ,а.4...

Номер патента: 1064350

Опубликовано: 30.12.1983

Авторы: Зашквара, Юрчак

МПК: H01J 49/48

Метки: электростатический, энергоанализатор-дифрактометр

...в плоскостиФокуса дополнительного зеркала,На чертеже показана схема предлагаемого устройства.На общей оси установлено ооновноесферическое зеркало, состоящее издвух сферических сетчатых электродов 1 и 2, за которыми установлен:экран-коллектор 3. Электронная пушка располагается по оси устройства(центральная пушка 4) или занимаетбоковое положение (боковая пушка 5) .Перпендикулярно оси размещается обраэец б на заданном расстоянии от,электродов 1 и 2. Осесимметрично сосновным зеркалом установлено дополнительное сферическое зеркало оэлектродами 7 и 8. Первая по ходупучка диафрагма 9 имеет кольцевоеотверстие, а вторая диафрагма 10круглое отверстие и размещена вплоскости фокуса дополнительногозеркала. За второй диафрагмой 10может быть установлен...

Номер патента: 970511

Опубликовано: 15.08.1985

Авторы: Ашимбаева, Зашквара

МПК: H01J 49/40, H01J 49/48

Метки: заряженных, пучков, спектрометр, частиц

...4 цилиндрического зеркала,находящийся под потенциалом Земли,внешний электрод 5 цилиндрическогозеркала, на который подается отклоняющий потенциал, внутренний электрод б двухкаскадного цилиндричес-кого зеркала, находящийся под потенциалом Земли, внешний электрод 7двухкаскадного цилиндрического зеркала, на который подается отклоняющий потенциал, внутренний электрод8 сферического зеркала, на которыйподается отклоняющий потенциал,внешний электрод 9 сферическогозеркала, находящийся под потенциаломЗемли детектор 10, модулятор, представляющий собой систему из двух концентрических сферических электродов11 из прозрачной сетки, соединенныхчерез переключатель с источникомимпульсного напряжения,970511 до квадрата угловой...

Номер патента: 1120870

Опубликовано: 23.12.1985

Автор: Фишкова

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, частиц, электростатический, энергоаназилатор

...через центр плоскогоэлектрода перпендикулярно ему, другой электрод выполнен в виде цилиндра, усеченного плоскостью, параллельной плоскому электроду, иобращен вогнутостью в сторону последнего,На фиг,1 изображена схема электростатического анализатора в плоскости дисперсии (МОЕ) и в вертикальной плоскости (10); на фиг,2 (а,б,в) - варианты поперечного сеченияего электродов,Знергоанализатор состоит из источника 1 заряженных частиц, двухгд между входом водом из него центаекторни пучка,Ианализатора,сила э разно равная отношениюпотенциалов между егоэлектродами 7 к ускорящему потенциалу У;начальный угол наклонацентральной траекториина входе в поле;- величина максимальногоудаления центральной тектории пучка от продолной оси;-...

Номер патента: 1246174

Опубликовано: 23.07.1986

Авторы: Гуров, Саханова, Шеретов

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, частиц, энергоанализатор

...от ее центра па величину /,. Кривые 1 и 2 (фиг. 2) соответствуютР = 1 и Р = 0,4 для одного значения Е;, = :=- 0,5 В,. Срав 1 ит различчые типы энергоанализаторов (фиг. 3) можно на основе зависимостей разреп)ения К от светосилыЯ . При этом, чем правее расположена эта зависимость, тем более лучшими параметрами обладает эпергоапализатор. Кривая 1 (фи 7 3) соответствует параметрам извсстнсгд энергоанализатора на трехэлскт- О роди)й гиперболоилной системе, кривая 2 -параметрам предлагаемого устройства.Знергоа 13,7 затор работает следующимОРЯЗОМ.Частицы из точечного источника 5, распределенные по закону косинуса, влетают в поле электроанализатора через входную цель 3 ня внутреннем кольцевом электроде.11 отенциал внутреннего электрода может...

Номер патента: 1269216

Опубликовано: 07.11.1986

Авторы: Груич, Пичко, Суровцев, Тухтаев

МПК: H01J 49/48

Метки: энергоанализатор

...0(. О 6 Н ОСТЬ Э Н Ср Г О я Н илизаторд. Диафрагмы 4 и 5 ограничивают в цсм сектор в 63,6", и диафрагмы 5 и 6сектор с углом ряс) воря Г), соответствукщим конкретно выбрзцному энергознализзтору.ЗО 113 Выхо(с энсРГОс)цс(11 изстОРЗ за лис 1 фРс(гмой 6 расположен детектор 9 зцилизирусмыл 10 Э 1 СРИ 51 М Зс 1 РЯ Ж(с 1(1 Ь Х с 3 СТИ 1.Устройство работает следу)опп(м обрг(зос(.ДЛя ИСПряВНОй рс(бо ц СГО раСВЛаГаКт В Вс 1 КУУМС С ЛЗВЛ(ИСМ, НС ПРСВЫПаК)1 СИ(с р(1 10гор. 11 аряллсльнцй пучок знилизирусмых заряжсннцх частип сечением, 0 риничсннь(м п,опсадьн 1 ЛЯ. Ис(.и 7 13 коллимирукшнй диафрагме 4, перпендикулярцо к плоскости Иели 7 входит в иилинл 4 О ричсскии кондс цсдтор 1. Зятем в 63,6"- секторном элс ктричсском иоле, орациченлиафрсгмами 4 и...

Номер патента: 1222055

Опубликовано: 07.11.1986

Авторы: Быстрицкий, Матвиенко, Толмачева

МПК: G01T 1/29, H01J 49/48

Метки: фарадея, цилиндр

...электрическое поле при этом оказываются очень малыми, т.к. отклонившиеся по Лармеру электроны попадают на заземленные сетками 8 и расположенные другот друга на расстоянии 3 проволочки7 и стекают по ним на корпус 1. Ионыже в силу того, что радиус Ларморадля них больше в1, чем у электронов, сохраняют практически свое 10 прямолинейное движение. Введя численныекоэффициенты и пределы, в которые укладываются значения для обычноиспользуемых пучков - (Е = 1 МэВ, в;протоны, 1; й 10 А/см), формулу для 15 3 (толщины поляризационного слоя)упрощают, она принимает вид: ц15 10 В (Гс). Установив эаземленньепроволочки 7 на этом расстоянии, мыкак бы "разрываем" расстояния, на ко торых должна происходить поляризация,т.е. уменьшаем поле...

Номер патента: 1275587

Опубликовано: 07.12.1986

Автор: Фишкова

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, частиц, электростатический, энергоанализатор

...траекугол раствора пучплоскости. Все гс 1 х з 1 пО с чки поворота пучка;ртикальной размеры выторин ха в влинейные ражены в единицах Для получения порядка в плоскосЯ 4Фокусировки второг ти дисперсии следу где 7 - разность потенциала междуэлектродами;- расстояние по нормали отребра двугранного угла.довторого электрода.Из формулы видно, что предлагаемое поле несколько слабее линейного (в=2), квадратичного (п=З) или кубического (п=4) полей. Это означает, что для достижения такой же, как у известного устройства степени пространственной фокусировки (одновременной фокусировки в плоскости дисперсии и вертикальной плоскости), надо вводить пучок заряженных частиц в указанные поля под . большими, чем у известного устройства углами. С...

Номер патента: 1090184

Опубликовано: 07.02.1987

Авторы: Манагадзе, Шутяев

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, ловушка, плоская, частиц

...за второй тормозящей сеткой.При работе известного устройства измерительные электроды регистриру.ют как отраженные частицы, так и большое количество фоновых электродов (вторичные электроны, выбитые из экранирующей сетки), особенно при низких потенциалах на тормозящих сетках. Кроме того, вторичные электроны, выбитые из измерительного электрода, свободно покидают:его, чтоприводит к уменьшению чувствительности ловушки, искажению спектров,и уменьшению динамического диапазона устройства. Таким образом, недостатками известного устройства являются малые чувствительность, динамический диапазон и точность измерений.Цель изобретенИя - повышение чувствительности,расширение динамического диапазона и увеличение точности измерений при анализе...

Номер патента: 1322386

Опубликовано: 07.07.1987

Авторы: Зашквара, Маковский, Масягин, Редькин

МПК: H01J 49/48

Метки: вторичных, регистрации, электронов

...исслелуемой поверхности за счет опрслелснного изменения потенциала подаваемого на исслелуемую поверхность. Способ заключается в следующем.Образец, исследуемая поверхность к- торого совмещена с осью симметрии цилиндрического зеркального анализатора ЦЗА) и находится под потенциалом, сканируют электронным пучком, регистрируют вторичные электроны и анализируют их энергетические спектры. Причем в процессе сканирования образца потенциал его поверх. ности изменяется по следующему закону:1 Л(С= - 1 Ч б(1),гле И (1) - потенциал, подаваемый на поверхность образца, В;)с - безразмерный коэффициент, выбираемый из соотношения 0,18( ( 1 с (0,22;Ъ потенциал, соответствуюгций кинетической энергии анализируемых электронов, В;(0,3- смещение сканируюцего...

Номер патента: 1451785

Опубликовано: 15.01.1989

Автор: Горелик

МПК: G01N 23/227, H01J 49/48

Метки: анализа, заряженных, частиц, энергетического

...коллектора, и, крометого, импульсы от частиц, сфокусированных в точках с координатами х в момент времени- х/ч. Энергия этих частиц также равна Е (С)В момент- х/ч энергия торможения была равна Е = С( - х/ч), следовательно,Е (е-х/ч) = Ем+ Е, =С (-х/ч) ЕЕ (с-х/ч) = Е,+ Е= С(-х/ч) + Е и в соответствии с выражением (3)энергия частицы, сфокусированной вмомент С-х/ч в точке х, равнаЕ( - х/ч) =Е (-х/ч) + Е (С -х/ч)-Е(С-х/ч)1Е - ЕС (-х/ч) + Е + ---- Х1(4) тицы с энергиями, заключенными внутри интервала Л Е, проходят черезанализатор 4 и отклоняются на координатно"чувствительный коллектор 5, Увыхода 6 коллектора фиксируются частицы с энергией145 3 Поскольку величина С выбрана изусловия Ег - Е,Ф ЬЕ С= - -ч= то выражение (4)+ Е Ет(") Таким образом,...

Номер патента: 1471234

Опубликовано: 07.04.1989

Авторы: Гликман, Голоскоков, Искакова, Карецкая, Кельман

МПК: H01J 49/48

Метки: электростатический, энергоанализатор

...на Фиг. 2, Примеры конкретных отражающих электростатических систем даны в таблице. Предполагалось, что потенциал равен нулю в той точке пространства, где равна нулю скорость заряженной частицы.В первых четырех системах, приведеннык в таблице, источник и приемник располагаются на одинаковом расстоянии от ребра двугранного угла, в последней - на разных, Р - относительная дисперсия в направлении оси 2 - определяется как отношение линейной дисперсии в этом направлении к проекциям отрезка, соединяющего источник и приемник, на ось 2.Как следует из расчетов, в предлагаемом устройстве с возрастанием двугранного угла К величина Р 00 увеличивается и при К = бО относительная дисперсия примерно в три раза превышает относительную дисперсию,...

Номер патента: 1492397

Опубликовано: 07.07.1989

Авторы: Галль, Саченко

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, транспортировки, частиц, энергоанализа

....указанной плоскости расположены кольцевые вырезы 8 и 9, отверстия 11 и 12, объектная и энергетическая диафрагмы.Условия промежуточной фокусировки на геометрической оси анализатора на границах первой и второй секций не является необходимым условием работы предлагаемого устройства, однако наличие такой фокусировки позволяет упростить процесс его юстировки, вследствие появления возможности автономной настройки его секций максиу предпоследней формуле параметр Р может быть выбран и оизвольным в пределах 0,542 с Р с 1 п(К 8 К, где К 8 - радиус внешней обклад1. Устройство для транспортировкии энергоанализа заряженных частиц,содержащее два коаксиальных цилиндраразного диаметра, кольцевые щели во .внутреннем цилиндре, объектную...

Номер патента: 1515219

Опубликовано: 15.10.1989

Авторы: Ашимбаева, Былинкин, Зашквара

МПК: H01J 49/48

Метки: анализатор, заряженных, пучков, частиц, электростатический

...ахроматический режим сферического зеркала, Максимально допустимый разброс этого угла не должен превьппать + 1Равенство нулю тангенса угла наклона касательной к линии фокусов анализатора в точке пересечения ее с осевой траекторией пучка,Записав эти условия с учетом уравнений движения частиц в сферических и цилиндрических полях, получим:На фиг,1 представлена схема энерго 35 анализатора из двух согласованных зеркал (п=чп=1), характеризующаяся следующими параметрами, рассчитанными в соответствии с (5): и =0; о(=39,45Р=0,56702; Р,=0,9; Е=4,3109 г ; ли нейная дисперсия по энергии А==3,6149 г , Штриховыми линиями изображены осевые траектории пучков, отличающиеся по энергии на 107 от энергии основного пучка, Здесь линия 45 фокусов...

Номер патента: 1525774

Опубликовано: 30.11.1989

Авторы: Бейзина, Карецкая, Кельман

МПК: H01J 49/48

Метки: ионами, магнитного, масс-спектрометр, многократным, поля, прохождением

...системы; обеспечивает свободу движения ионов по в сему конно-оптическому тракту,.на их пути не встречаются ни сетки, ни щели. Это сводит к минимуму рассеяние и выбивание вторичных частиц,74бкостью. Механическая сборка предлагаемого масс-спектрометра значительно проще, так как пучок входит в электрическое поле свободно и не должен каждый раз точно попадать в узкую щель, как в прототипе. Неизбежные погрешности механической сборки легко ликвидируются электрической юстировкой, В предлагаемом приборе отсутствуют эффекты, связанные с многократным прохождением ионов через узкую щель, - рассеяниеионов и выбивание вторичных заряженных частиц, что обеспечивает высокое разрешение у основания спект,ральных линий,формула изобретения...

Номер патента: 1597967

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Корищ, Фишкова

МПК: H01J 49/44, H01J 49/48

Метки: заряженных, частиц, электростатический, энергоанализатор

...как ЬО, что практического интереса непредставляет, так как приводит к искажениюэлектростатического поля, При - ( 0,12, чтобсоответствует (754 О, не существует режимов, при которых осуществлялась бы фокусировка третьего порядка, в частностипри б = 0 (двухэлектродный энергоаналио Чг - Ч 1затор) имеем при 0= 49,6ф-0,431 Ь; С 2= 0; Сз=-5,7 а.Несоблюдение расстояния между источником и приемником, т.е. при ( 4,8 а илинепопаданию пучка в анализатор, а именнов первую по ходу пучка щель в плоскомэлектроде,При расстоянии между вторым плоскими цилиндрическим электродами р0,6 г 5пучок заряженных частиц еще до своего поворота попадает на цилиндрический электрод(величина (Хмакс- б). При р 1,6 г ширинаплоских электродов(их протяженность в...

Номер патента: 1597968

Опубликовано: 07.10.1990

Авторы: Ашимбаева, Горелик, Жуков, Зашквара, Зверева, Трубицин

МПК: H01J 49/44, H01J 49/48

Метки: анализатор, заряженных, частиц, энергетический

...к их энергии у входной кольцевой прорези 3).Потенциалы Чф 1 и Чф 2 должны обеспечивать положение изображения источника вплоскости входной щели анализатора при различных степенях торможения электронов Сфокусированный пучок электронов с30 энергией, уменьшенной в М раз, через входную кольцевую прорезь 3 попадает в пространство между цилиндрическими электродами 1 и 2. Далее под действиемотрицательного потенциала Ч, поданного на35 внешний цилиндрический электрод 2 с источника 14, электроны отклоняются к внутреннему цилиндрическому электроду 1 ичерез выходную прорезь 4 и апертуру диафрагмы 12 попадают на вход приемника 1340 электронов,Анализатор имеет полосовую функциюпропускания, т,е. на вход приемника 13электронов попадают...

Номер патента: 1647699

Опубликовано: 07.05.1991

Автор: Тарантин

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, частиц, электростатический, энергоанализатор

...электродов энергоанализатора ф = 541,09 ( проекция угловой протяженности электродов на плоскхть, перпендикулярнуюоси Винтовойлинии,ф=фсозу=540), радиусы поперечной кривизны внутреннего и внешнего электродов равны соответственно Вю = 0,422 Вг и Ввг 2 = 0,615 Вг при б = = + 0,2 Вг (представлены проекции этих радиусов на плоскость чертежа),Для рассмотрения поедлагаемого энергоанализатора использована ортогональная винтовая система координат г, ф ю, координата г которой совпадает с координатой г цилиндрической системы координат г, уг,2, а ф=фСОЗуИЯ =Р.-Рйг 19 И/СОЗУ Положение оси 91 винтовой системы координат дано для р = 90 цилиндрической системы.траектория заряженной частицы г (1) в сечении ЧЧ = 0 базового винтового поля Ег =...

Номер патента: 1647700

Опубликовано: 07.05.1991

Автор: Тарантин

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, тороидальный, частиц, электростатический, энергоанализатор

...Изобретение может быть использовано для измерения энергетических спектров бета-частиц и электронов конверсии, испускаемых при радиоактивном распаде ядер, для измерения спектров рентгеновских, фото- и ОЖС-электронов, а также заряженных частиц в космическом пространстве. Целью изобретения является одновременное увеличение разрешающей способности и дисперсии энергоанализатора. Энергоанализатор содержит два электрода 1 и 2 тороидальной формы, соединенных с источниками 3 и 4 напряжения, источник 5 заряженных частиц и приемник 6 заряженных частиц. Благодаря тому, что угол, образуемый электродами анализатора в радиальной плоскости, весьма велик и лежит в интервале 180-3600, можно улучшить одновременно как фокусирующие, так и дисперсионные...

Номер патента: 1651328

Опубликовано: 23.05.1991

Авторы: Голиков, Давыдов, Романов, Уткин, Чепарухин

МПК: H01J 49/48

Метки: анализатор, заряженных, частиц, энергий

...положение каждой эквипотенциали-полунлоскости и значение ее потенциала Ф при выбранной системе Физических величин однозначно определяется величиной двуграннрго угла 1, который эквилотенциаль образует с плоскостью хв. В частности, при(= 1 рад значение потенциала численно совпадает с коэффициентом А, а при (0 (плоскость хз) потенциал Ф равен нулю. Поле имеет осооенность на оси я, где сходятся все эквипотенциали. Поскольку потенциал (1) зависит от отношения координат у/х, т.е. является однородной Функцией координат х и у нулевой кратности, то в поле действует особый закон подобия траекторий. Он заключается в том, что при смещении точки вылета частицы вдоль оси х, при сохранении ее начальной кинетической энергии и направления...

Номер патента: 1661869

Опубликовано: 07.07.1991

Авторы: Гордийчук, Дорошенко, Рыбалко, Сыбиль

МПК: H01J 37/26, H01J 49/48

Метки: анализатор, электронов, энергий

...между приемником и окном наблюдается нелинейная зависимость абсолютного значения измеряемого отношения. Однако для всего диапазона традиционно используемых в электроннозондовой технике линейных размеров. со 10 ний, при увеличении отношения более 2 на 15 20 25 40 50 55 30 35 блюдение условия ОФ 10 позволит избежать превышение ошибок измерений, вызванных данным механизмом, более традиционного 100 порога,. Существенность признака, связанного с отношением толщины к диаметру диафрагм и электродов, обусловлена следующими обстоятельствами. Как показали результаты экспериментальных исследовачинают существенным образом сказываться эффекты, связанные с оседанием регистрируемых электронов на внутрен. них стенках протяженного...

Номер патента: 1698917

Опубликовано: 15.12.1991

Авторы: Протопопов, Якушев

МПК: H01J 49/48

Метки: разрешением, угловым, электростатический, энергоанализатор

...коллектор 8, Во внутреннем цилиндре 3 имеется выходнаякольцевая прорезь 6, через которуюэлектроны выходят из .зеркала 2. Огибающая траекторий электронов показана пунктирными линиями,Принимаемый анализатором потокэлектронов. определяется отверстиями,через которые электроны проходят вовнутренний цилиндр анализатора и выходят из него, Этот поток имеет форму полого конуса со средним угломполураствора 42,3" и угловой толщиной 12 , ДиаФрагма 7 служит для определения пространственного и энергетического разрешения анализатора,При работе с разрешенисм по углублок 10 заслонок располагается между 7ЛОБразцом 1 и.входной кольцевой про:резью 5 во внутреннем цилиндре 3 анализатора. Заслонки 11 и 12 закрываютпрорезь 5, перекрывая поток электронов, за...

Номер патента: 1704192

Опубликовано: 07.01.1992

Авторы: Баранова, Дьякова, Микушкин, Шнитов, Явор

МПК: H01J 49/44, H01J 49/48

Метки: заряженных, зеркального, типа, частиц, электростатический, энергоанализатор

...и детектора выбираются так, чтобы скомпенсировать увеличивающее аберрацион 1704192ное расширение изображения, Из (2) и (5) для суммарной кривизны внутренних краев в плоскости дисперсии имеемВеличина коэффициентов Су иСх определяется формой электродов анализатора, Второй член в скобках в формуле (7) может быть больше или меньше единицы, вследствие чего выражение в скобках может быть как положительным, так и отрицательным. Таким образом, кривизна внутренних краев щелей детектора и источника также может быть разного знака. При положительном знаке каждая щель имеет форму серпа, края которого имеют различные радиусы кривизны, но центры кривизны лежат по одну сторону от щели. При отрицательном знаке каждая щель имеет форму чечевицы и...

Номер патента: 1711263

Опубликовано: 07.02.1992

Автор: Ильин

МПК: H01J 49/48

Метки: электростатический, энергоанализатор

...системузащитных электродов со стороны источника, металлическую торцовую пластину состороны приемника, имеющую потенциалвнутреннего электрода. Длина выходного 15окна 12(фиг, 1) в направлении оси симметрииувеличина по сравнению с длиной И входного окна на величину Ь =1 макс 1 иин, где смакеи 1 мин экстремальные значения фокусныхрасстояний для всей совокупности расчетных режимов работы анализатора. Торцовая пластина и приемник с диафрагмойвыполняются. подвижными, способными перемещаться вдоль оси симметрии анализатора с помощью герметичных вводов 25перемещения без разгерметизации установки и прекращения ее работы на длитель-ный срок.Выполнение выходного окна удлиненным по сравнению с входным, а торцовой 30пластины и приемника...

Номер патента: 1718300

Опубликовано: 07.03.1992

Авторы: Бок, Зашквара

МПК: H01J 49/48

Метки: заряженных, пучков, частиц, энергоанализатор

...угловые распределения частиц при различных кинетических энергиях, АФ в этом режиме размыта по основанию.В режиме сужения полосы пропускания улучшение АФ энергоанэлизэтора, повышение его разрешающей способности, а такжеВ полярных координатах В,б уравнениеогибающей пучка в условиях идеальной уг-.,ловой фокусировки СЗ имеет вид 35 В =1+Г 1 -Мп а(2) Производная от Вп 1 по величине относительной энергии б = бЕ/Ео также равна40.(3).45 устранение искажений при угловых измерениях, осуществляются посредством дополнительного, сужения пропускаемого энергоанализатором энергетического ин тервала в результате. включения в работу. двойного фильтра. С этой целью между сетками 9 и 10 высокоэнергетического фильтра 8 создают задерживающее поле, через...

Номер патента: 1746428

Опубликовано: 07.07.1992

Авторы: Горелик, Протопопов, Трубицын

МПК: H01J 49/48

Метки: анализатор, заряженных, частиц, электростатический, энергий

...1-1, образованной ограничительными кольцами 12 и 13,приемника частиц 14.Анализатор содержит также блок развертки 15, подключенный к внешнему цилиндру 1 и через делитель 16 - ккорректирующим кольцам 5,6,7,8,Анализатор работает следующим образом.На внешний цилиндр 1 с блока 16 подается отклоняющий потенциал 0 относительно внутреннего цилиндра 2 с полярностью,совпадающей с полярностью анализируемых частиц. Внутренний цилиндр 2 заземляется. На корректирующие кольца 5 и 7 сделителя напряжения 16 подается потенциал 0,33 О, нэ корректирующие кольца 6 и 8- 0,67 О.Поток вторичных частиц, выбитых из образца 17 преодолев пространство свободного дрейфа за счет начальной энергии, 40через входную прорезь 3 попадает в областьанализирующего...