H01J 49/48 — с использованием электростатических анализаторов, например цилиндрических секторов, фильтров Вьена

Номер патента: 1756973

Опубликовано: 23.08.1992

Авторы: Папп, Романюк, Чернышова, Шпеник

МПК: H01J 49/48

Метки: анализа, анализатор, заряженных, пучка, циклоидальный, частиц, энергиям

...поля, В - магнитная индукция одноход пропускаются только те частицы, скорость которых удовлетворяет формуле (3). Таким образом, осуществляется отбор по энергии,Согласно формуле (2) время пребыва ния в области дрейфа зависит от координаты влета. Из (3) видно. что величина дрейфа зависит также от электрического поля, Задача состоит в выборе такой конфигурации. поля, которая бы позволила скомпенсиро вать зависимость О(х,у) от времени 1, т,е пучок частиц необходимо вводить в точке слабой зависимости 0(х,у) от координаты влета (х,у). Такими точками являются точки экстремумов, для которых выполняются ус ловияродного магнитного поля, в которое помещен весь анализатор.Анализатор работает следующим образом.Электронный пучок направляется вдоль...

Номер патента: 2001464

Опубликовано: 15.10.1993

Авторы: Курнаев, Тритолий

МПК: H01J 49/48

Метки: анализа, молекулярных, пучков

...динамический диапазон измерений инстенсивности различных ионных линий, Предлагаемое устройство позволяет проводить количественный анализ беэ градиуировки, так как можно производить одновременную регистрацию выделенной сепарирующим устройством по М/2 ионной линии цилиндром Фарадея (конвертором) в абсолютных токовых единицах и с помощью ВЭУ с относительных токовых единицах регистрировать энергетический спектр ионизованной на конверторе части атомных фрагментов, составляющих данную ионную линию, Зная величину тока выделенной ионной линии и ее состав, иэ энергетического спектра (по отношению площадей на спектре) определяют количественное содержание каждой компоненты. входящей в данную линию.На чертеже схематически показана...

Номер патента: 1279449

Опубликовано: 27.01.1995

Авторы: Канченко, Крынько, Мельник, Находкин

МПК: H01J 49/48

Метки: калибровки, спектрометра, электронного

СПОСОБ КАЛИБРОВКИ ЭЛЕКТРОННОГО СПЕКТРОМЕТРА, включающий создание электронного потока с фиксированными энергией и величиной, введение его во входную апертуру спектрометра и определение соотношения между величиной вводимого электронного потока и сигналом на выходе схемы регистрации спектрометра, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона применения способа для разных конфигураций входной апертуры, расширения диапазона фиксированных энергией вводимых электронов и повышение точности определения величины потока вводимых в калибруемый спектрометр электронов, предварительно облучают поверхность образца потоком первичных электронов с фиксированными энергией и величиной, измеряют пространственное распределение выходящих из образца упруго...

Номер патента: 1814427

Опубликовано: 20.04.1995

Авторы: Микушкин, Шнитов

МПК: H01J 49/48

Метки: анализа, заряженных, спектрометр, углового, частиц, электростатический, энергетического

...и играющим дополнительную роль коллимирующей щелиЦля уменьшения фона), затем преобразуется фокусирующей системой и проходит.через входную щель 4, попадая в 40анализирующее поле спектрометра, где отражается этим полем и диспергируется поэнергии. Частицы с заданным значениемэнергии, однозначно связанным с величиной разности потенциалов электродов 1 и 2 45спектрометра, проходят через выходнующель 5 и попадают в детектор 6, Таким образом осуществляется анализ по энергииОдновременно с энергетическим анализоманализ по полярному углу вылета частиц из 50образца возможен благодаря наличию осевой симметрии спектрометра: частицы, выходящие из образца в плоскости Ещсопзпод разными полярными по отношению к 5образцу и азимутальными по...

Номер патента: 1814428

Опубликовано: 20.04.1995

Авторы: Дьякова, Микушкин, Сысоев, Шнитов

МПК: H01J 49/48

Метки: анализа, заряженных, углового, частиц, электрическое, энергетического

...перпендикулярном оси, проходят через фокусирующую систему б и попадают через входную щель в анализирующее поле между электродами 1 и 2, отражаются от него и диспергируют по энергии, фокусируясь на коническую фокальную поверхность, расположенную между выходной щелью 8 и дополнительной входной щелью 9. Далее частицы входят через щель 9 в поле между электродами 3 и 4, в котором они также диспергируют по энергии, разворачиваются в обратном направлении и фокусируются на 5 плоский многоканальный двухкоординатный детектор, выполненный, например, из микроканальных пластин в виде дискового кольца, плоскость которого ортогональна оси устройства, Частицы одной энергии фо кусируются на окружность определенного . радиуса. Причем частицам...