Сыбиль

Анализатор энергий электронов

Загрузка...

Номер патента: 1661869

Опубликовано: 07.07.1991

Авторы: Гордийчук, Дорошенко, Рыбалко, Сыбиль

МПК: H01J 37/26, H01J 49/48

Метки: анализатор, электронов, энергий

...между приемником и окном наблюдается нелинейная зависимость абсолютного значения измеряемого отношения. Однако для всего диапазона традиционно используемых в электроннозондовой технике линейных размеров. со 10 ний, при увеличении отношения более 2 на 15 20 25 40 50 55 30 35 блюдение условия ОФ 10 позволит избежать превышение ошибок измерений, вызванных данным механизмом, более традиционного 100 порога,. Существенность признака, связанного с отношением толщины к диаметру диафрагм и электродов, обусловлена следующими обстоятельствами. Как показали результаты экспериментальных исследовачинают существенным образом сказываться эффекты, связанные с оседанием регистрируемых электронов на внутрен. них стенках протяженного...