Патенты с меткой «173606»

Номер патента: 173606

Опубликовано: 01.01.1965

МПК: G03F 9/00

Метки: 173606

...при фотографической разметке, например при производстве полупроводниковых приборов. В этих способах на повторяющийся элемент воспроизводимого на микрофотошаблоне изображения изготовляют промежуточный фотошаблон, с которого изображение многократно фотографически переносят на микрофотошаблоны посредством координатно-поворотной копиро вальной рамки.В предлагаемом способе для снижения трудоемкости процесса воспроизведения повторяющихся изображений простейшей геомет рической формы их получают на промежу точном фотошаблоне многократным засвечиванием через соответствующую щель диафрагмы координатно-поворотной копировальной рамки.Сначала фотографически изготовляют про межуточный шаблон на повторяющееся элементарное изображение простейшей...