Устройство для совмещения заготовок твердых

ZIP архив

Текст

ОП ИКАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСоюз Советских Социалистических Республикмое от авт. свидетельст Кл. 21 а 4,Заявлено 19.Х 1,196 с присоединением з1113099 вкиН 05 Комитет по делам аобретений и открытий при Совете тлинистрое СССРриоритет УД К 621.3.049.75:774 (088,8) Опубликовано 22,Х 11,1969. Бюллетень3 за 197 Дата опубликования описания 4 Х.1970аявитель ТРОЙСТВО ДЛЯ СОВМЕЩЕНИЯ ЗАГОТОВОК ТВЕРДЫХ СХЕМ ИЛИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ С фОТОШАБЛОНАМИ 25 Известные устроиства для совмещения заготовок твердых схем или полупроводниковых приборов с фотошаблонами и экспонирования заготовок, содержащие стол совмещения заготовки с фотошаблоном, осветитель, блок управления, блок питания и скафандр, характеризуются недостаточно высокой точностью совмещения,В предлагаемом устройстве повышение точности совмещения достигается тем, что стол совмещения снабжен полусферическим присосом, укрепленным на поворотной колонке и соединенным через шток поршня; подвижную гильзу, цилиндр, опорную скобу и подвижную каретку, перемещающуюся в призматических направляющих, с неподвижной плитой, служащей для крепления фотошаблона.Описываемое устройство приведено на чертеже.Заготовку твердой схемы или полупроводникового прибора (на чертеже не показана) укладывают на полусферический присос 1 стола совмещения (на чертеже не показан), укрепленный на поворотной колонке 2. Фото- шаблон 3, установленный в рамке 4, располагают над полусферическим присосом на неподвижной плите б. Под давлением сжатого воздуха шток б поршня, перемещаясь вверх, выбирает зазор между головками болтов 7 и плитой 8 штока. Далее болты увлекают за собой подвижную гильзу 9. Таким ооразом вся система движется до упора заготовки в фотошаблон 3. Полусферический шаблон выравнивает заготовку и плотно прижимается всей поверхностью к фотошаблону. Сжатый воздух подается в тормозную камеру 10, фиксируя подвижную гильзу в верхнем положении.Подвижная гильза перемещается вдоль образующей внутренней полости цилиндра 11, который посредством опорной скооы 12 и подвижной каретки 1 т соединен с ттеподвих ной плитой. Каретка перемещается в призматических направляющих И. Полость цилиндра 11 соединяется с атмосферой, шток опускается вниз на величину зазора, образующегося между верхним торцом подвижной гильзы и штоком в процессе первоначального подъема. Таким образом создается рабочий зазор хтежду заготовкой твердой схемы и фотошаблоном. Затем совмещают рисунок схемы фотошаблона с заготовкой твердой схемы в горизонтальной плоскости в двух взаимно перпендикулярных направлениях и по углу.Следить за процессом совмещения можно по изображению на телевизионном экране 15, переданному телевизионной камерой 1 б.После совмещения шток под действием сжатого воздуха прижимает заготовку к фото- шаблону. Далее отводят передающую телеви4 Составитель Н, ДавыдовТехред Т, П, Курилко Корректор Г, П. Шильман Редактор 3. Хухрыгина Заказ 941(7 Тираж 499 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва К, Раушская наб., д, 4,5 Типография, пр. Сапунова, 2 зонную камеру и подводят лампу экспонирования 17, засвечивая совмещенную пару. После этого все механизмы приводят в исходное положение и начинают следующий цикл совмещения. Предмет изобретенияУстройство для совмещения заготовок твердых схем или полупроводниковых приборов с фотошаолонами и экспонирования заготовок, содержащее, стол совмещения заготовки с фотошаблоном, осветитель, блок управления, блок питания и скафандр, отличающееся тем, что, с целью повышения точности совмещения, стол совмещения снабкен полусфериче ским присосом, укрепленным на поворотнойколонке и соединенным через шток поршня; подвижную гильзу, цилиндр, опорную скобу и подвижную каретку, перемещающуюся в призматических направляющих, с неподвиж ной плитой, служащей для крепления фотошаолона,

Смотреть

Заявка

1113099

В. М. Пастухов, В. И. Лобов, А. М. Лутченков, Е. А. Чумаков, С. А. нов, М. П. Шеходанов, Н. П. Лесковска, Научно исследовательский институт технологии, организации производства

МПК / Метки

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Метки: заготовок, совмещения, твердых

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-259975-ustrojjstvo-dlya-sovmeshheniya-zagotovok-tverdykh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для совмещения заготовок твердых</a>

Похожие патенты