C30B 31/06 — контактированием с диффузионным материалом в газообразном состоянии
410357
Номер патента: 410357
Опубликовано: 05.01.1974
МПК: C30B 31/06, G02B 5/22
Метки: 410357
...изобретения Способ изготообработки заготористого лития,с целью смещенрактеристики пршлифовкой произаготовки в присжащих соединен путем о фточто, ой хаперед отжиг содерависимое от авт, свидетельства К аявлепо 07 17.1972 ( 1768939/18-10)присоединением заявкиИ. В. Смушков и М. И, Шахнов Известен способ изпутем изготовленияческого фтористого ли Уфовки ее.Предлагаемый способ отличается тем, что перед шлифовкой производят диффузионный отжиг заготовки в присутствии паров кислородсодержащих соединений при 750 - 830 С. Это позволяет сместить границу спектральной характеристики пропускания светофильтра до 130 нм.На чертеже показана спектральная характеристика пропускания пластинки из кристаллического фтористого лития до отжига (а) и, после...
Раствор для получения источника диффузии донорной примеси
Номер патента: 669695
Опубликовано: 23.03.1986
Авторы: Берлин, Локтаев, Лягущенко, Марквичева, Нисневич, Петрова
МПК: C30B 31/06
Метки: диффузии, донорной, источника, примеси, раствор
...при диффузии,происходит уменьшение поверхностной концентрации фосфора ниже требуемых значений.Тетраэтоксисилан 7 - 19Кроме того, раствор может содержать азотнокислые соли элементов 111 группы главной подгруппы при содержании азотной кислоты 0,2-1,0 мас.7 или элементов 11 группы главной подгруппы при содержании азотной кислоты 1,0-9,0 мас. .При приготовлении раствора в эти-, ловом спирте растворяют сначала азотнокислые соли элементов, затем ортофосфорную кислоту. При этом часто выпадают в осадок фосфаты элементов, которые затем растворяются при введении в раствор азотной кислоты.П р и м е р. Было испытано несколько растворов для получения источника диффузии (составы представлены в табл.1-3), которые наносят на поверхность пластин...
Способ получения полупроводниковых гетероструктур
Номер патента: 1633032
Опубликовано: 07.03.1991
Авторы: Лаворик, Нечипорук, Новоселецкий, Филоненко, Шахрайчук
МПК: C30B 29/10, C30B 31/06
Метки: гетероструктур, полупроводниковых
...7 ч, затем производятснижение температуры до комнатной эа5 ч.Рентгеновские исследования, приведенные иа дифрактометре ДРОН-З, показывают наличие слоев СдхЕп, хСеР наповерхности обоих монокристалловСс 1 СеР и ЕпСеР, Это значит, что. одновременно получают две гетерострукту 45ры:Сдк 7 п, хбеРг - СЙСеРг ,Сйх Еп, хСеРг - ЕпСеР,причем последнюю гетероструктуру по 50 лучить по известному способу не представляется возможным.Монокристаллы, используемые для получения гетероструктур, получают следующими методами и имеют следующре характеристики: ЕпсеР методом5 Бриджмена, р-тип проводимости, поверхностное сопротивление 1 О Ом.см;СЙСеР методом химических транспортных реакций, и-тип проводимости, поверхностное сопротивление более О Ом.см. Слои...
Способ легирования полупроводниковых соединений типа ав
Номер патента: 1756393
Опубликовано: 23.08.1992
Автор: Зубрицкий
МПК: C30B 29/46, C30B 31/06
Метки: легирования, полупроводниковых, соединений, типа
...плоскопараллельную кювету, в которую заливают дизлектрическуо жидкость, например, этилацетат, К пластине (лучше к ребру, в любой точке) от генератора высоковольтных импульсов подводят игловой электрод, Импульсом напряжения отрицательной полярности амплитудой 3 - 40 кВ возбуждают в полупроводнике приповерхностный стримерный разряд, наблюдающийся в аиде густой ярко- светящейся сетки зеленых нитей, напоминающей ветвь елочки. Диэлектрическая жидкость служит при этом обострителем фронта импульсов (с микро- к наносекундному диапазону длительностей). Маркируют1756393 Составитель В, ЗубрицкийТехред М,Моргентал Корректор М; Тка едак огу аз 3064 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035,...
Устройство для термического окисления кремниевых пластин
Номер патента: 716178
Опубликовано: 30.10.1993
Автор: Глущенко
МПК: C30B 29/06, C30B 31/06
Метки: кремниевых, окисления, пластин, термического
...: ,.:, .:,: , З 5 кислорода и воды с каплеобразователем 5,Наиболее близким"по"добФйгвейому ре-" имеющим наклонно размещенный в полозультату и технической СуЩностй является . сти реактора 1 патрубок 6 с коленом 7, расустройство для термического ЬКйсления, со- полоненным внижней части реактора 1 идержащее горизонтально установленныйоканчивающимся выходным отверстием 8., кварцевый реактор, внутрй когорого уста. 8 реакторе 1 установлены кассета 9 с полуновлены кассеты для размеМеййякремнив- проаодниковыми пластинами 10,вых ппастинипоперечная"йврвгородка с . Работаустройствазаключэетсявследуокном, трубопроводы подачи" кислорода и ющем,.воды и кайлеобрэзователь спатрубком. на- Вода по трубопроводу 4 от каплеобраклонно расположенным...
Способ получения квазимонокристаллов соединения внедрения в графит
Номер патента: 1699176
Опубликовано: 30.01.1994
Авторы: Авдеев, Берколайко, Быстревский, Гулиш, Ионов, Корженевская, Рылик, Семененко
МПК: C01B 31/04, C30B 31/04, C30B 31/06 ...
Метки: внедрения, графит, квазимонокристаллов, соединения
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КВАЗИМОНОКРИСТАЛЛОВ СОЕДИНЕНИЯ ВНЕДРЕНИЯ В ГРАФИТ, включающий обработку пирографита интеркалятом-монохлоридом иода или бромом, в газовой фазе, отличающийся тем, что, с целью уменьшения дефектности квазимонокристаллов, увеличения их электропроводности и сокращения времени процесса, после обработки в газовой фазе проводят дополнительную обработку тем же интеркалятом в жидкой фазе.2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что дополнительную обработку монохлоридом иода ведут при температуре на 10 - 30 К выше температуры его плавления.3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что дополнительную обработку бором ведут при температуре на 40 - 50 К выше температуры его плавления.
Устройство для термического окисления пластин кремния
Номер патента: 535771
Опубликовано: 28.02.1994
Авторы: Воинов, Глущенко, Морохов, Фарбер
МПК: C30B 31/06
Метки: кремния, окисления, пластин, термического
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТЕРМИЧЕСКОГО ОКИСЛЕНИЯ ПЛАСТИН КРЕМНИЯ, включающее горизонтально установленный кварцевый реактор, снабженный магистралями для подачи кислорода и воды с каплеобразователем, отличающееся тем, что, с целью повышения воспроизводимости процесса окисления, реактор снабжен поперечной перегородкой с окном, отделяющей место расположения пластин от магистралей подачи воды и кислорода, а каплеобразователь - наклонно расположенным в полости реактора патрубком, выходное отверстие которого расположено ниже окна в перегородке.
Способ легирования теплообменника и устройство для его осуществления
Номер патента: 826810
Опубликовано: 27.03.2006
Авторы: Газин, Милько, Промыслов, Скворчевский
МПК: C30B 31/06, C30B 31/20, F28F 13/18 ...
Метки: легирования, теплообменника
1. Способ легирования теплообменника путем нанесения на его поверхность легирующего материала и обработки ее лазерным лучом, отличающийся тем, что, с целью повышения качества легирования, легирующий материал предварительно переводят в газообразное состояние и наносят его одновременно с обработкой поверхности лазерным лучом путем бомбардирования поверхности образованными газами, при этом дополнительно накладывают на них ускоряющее магнитное поле.2. Устройство для легирования теплообменника, содержащее лазер с блоком питания и фокусирующую систему, отличающееся тем, что, с целью повышения качества легирования, оно дополнительно содержит конусообразный тубус, установленный между...