Патенты с меткой «донорной»

Раствор для получения источника диффузии донорной примеси

Загрузка...

Номер патента: 669695

Опубликовано: 23.03.1986

Авторы: Берлин, Локтаев, Лягущенко, Марквичева, Нисневич, Петрова

МПК: C30B 31/06

Метки: диффузии, донорной, источника, примеси, раствор

...при диффузии,происходит уменьшение поверхностной концентрации фосфора ниже требуемых значений.Тетраэтоксисилан 7 - 19Кроме того, раствор может содержать азотнокислые соли элементов 111 группы главной подгруппы при содержании азотной кислоты 0,2-1,0 мас.7 или элементов 11 группы главной подгруппы при содержании азотной кислоты 1,0-9,0 мас. .При приготовлении раствора в эти-, ловом спирте растворяют сначала азотнокислые соли элементов, затем ортофосфорную кислоту. При этом часто выпадают в осадок фосфаты элементов, которые затем растворяются при введении в раствор азотной кислоты.П р и м е р. Было испытано несколько растворов для получения источника диффузии (составы представлены в табл.1-3), которые наносят на поверхность пластин...