C03C 17/245 — осаждением из газовой фазы

Номер патента: 333151

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Крыжановский, Федулов

МПК: C03C 17/09, C03C 17/245

Метки: диэлектриках, покрытие

...могут быть олучсраз способами, например:есением ца поверхность диэлекгрцка тава двуокись титаца-трехокцсь мос последующей обработкой в атмосорода при 400 - 800 С. Исходный слой оОз наносится цри этом ца дцэлектм гидролиза смеси этилового эфира овой кислоты и пятихлористого морастворсццых в спирте или одцовререактивным катодцым распылениеммолибдена в атмосфере кислорода. повремецным испарением двуокиси металлического молибдена прц помороннолучевого испарителя. ключ ающее с целью пороводцости, кись титана омпонентов,электриках, виееся тем, что,остцой электропсодержит двуосоотношении к Покрытие на ди молибден, отличаю вышеция поверхн оцо дополнительно при следующем мол. %: М30 - 7ЗО - 7 О Покры титана и личными 1. Наг слоя сос...

Номер патента: 336324

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Круглов, Крыжановский

МПК: C03C 17/09, C03C 17/245, C04B 41/51 ...

Метки: диэлектриках, покрытие

...слоя из смеси двуокиси кремния, трехокиси вольфрама и трехокиси молибдена с последующей обработкой в атмосфере водорода лри 400 - 800 С, причем исходный слой ЯОг - МоОз - %0 з наносят путем гидролиза смеси этилового эфира ортокремниевой кислоты Я (ОСгН 5) 4, пятихлористого молибдена и шестихлористого вольфрама, растворенных в спирте (в случае использования диэлектриков с пониженной термостойкостью, например силикатных стекол и др., восстановлениедороде следует проводить в разряде прниженном давлении);2 - одновременное нанесение в вак5 молибдена, двуокиси кремния и вольфэлектроннолучевым испарением.Предлагаемый состав позволяет полупокрытие с удельным поверхностным сотивлением 10 - 10 ом и светопропуска0 от 10 до 75%.Эти покрытия...

Номер патента: 381622

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Голубева, Осипова, Сергеев, Хорол, Шапочкин

МПК: C03C 17/245

Метки: 381622

...сложе вещества моноокисц крез получать слои с заданным пр ческой поверхности с хороше прочностью ц высокой влагост О ния слоя на стве подсл я одного и нця поэзо офилем асф й механиче ойкостью. оптических аснанесения ца асферизующего акууме. оя и того ляет ери- ской чецияпутогоия в лагостойкости, по которому вают до 300- -носят при темДля повышения прочности и покрытия предлагается спосо заготовку предварительно нагре 400 С, а асферзуоций слой на пературе около 30 С.Наносят а сфер изующий сл кремния термическим испарение камере в два этапа: сначала на цо нагретую до 300 - 400 С заг ют равномерный подслой моно толщиной не менее 0,2 мкм, за филирующую маску осаждают ный основной асферцзующий с редмет цз етени Яемасс 15 е оптическит...

Номер патента: 793956

Опубликовано: 07.01.1981

Авторы: Ануфриев, Гаврилова, Тюрникова

МПК: C03C 17/245

Метки: оптическое, покры-тие, просветляющее

...смеси состаВляет 2,08%,Наболее близким техпческпм решен- к зобретс 11 о явгяется просВстля 1 ощсе От;1 чсское покрытс, солсржагцсс 85 90 /о ,ЧдГ 10 - 15% СеГ, 2. Зто покрытс облал 11 с: новь:шснои механической проч- остью.Ола 1;о лля стекол с показателем преломлс 111151 1,51 ВВслсппс такого кол 11 сства О 1.с цсрпя пр 1 Водит к. с 1 жсн 1 О 1 росвстлгогсго эффекта, т. с, коэффициента пропмск 11115 по сравс 1 О с .1 стьм фтор 1 етым магсм. Так, ьслп шпа остаточого отражся В максимуме просвстлспя по793956 МдГ 94 - 97 ССГ, 3 - 6 Мсканичсскаи прочность 20 группа Состав Л 1 ДР 1 С. сГз ниФормула изобретения 94 659 95 554 96 , 4 1,5 МдГз СсГз 94 - 97 3 - 6 30 Соссавитсль Г. Буровцсваелакто) Т, Зуоова Текрсд И, Пенчко Корректор С, Файн...

Номер патента: 823331

Опубликовано: 23.04.1981

Авторы: Геращенко, Колчанова, Паничкин, Соловьев

МПК: C03C 17/245

Метки: декоративного, покрытиязолотистого, цвета

...отмытую в растворе перекиси водо-рода с водой в отношении 1:3 прирН : 6, просушенную при 120 фС втечение 30 мин, методом катодногораспыления наносится пленка ниобия,толщиной порядка 820 А, Металлическая пленка (ниобий) наноситсяпо подслою толщиной 150 А, полученному в едином цикле получения металлической пленки на ранней стадииее осаждения, Для получения подслояпри давлении 1-1,5 10 2 тор остаточной атмосферы на катод подается переменное несимметричное высокое напряжение обратная полуволна которого равна половине основного значениянапряжения. Этот процесс ведетсядо самозатухания катодного разрядаза счет повышения вакуума. При вакууме 1 10 - 5 01 тор производится напуск аргона, .являющегося рабочим газом для катодного...

Номер патента: 983096

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Голованов, Грибов, Григос, Дубровин, Козыркин, Кощиенко, Старшинина

МПК: C03C 17/245

Метки: нанесения, подложку, покрытия, стеклянную, электропроводящего

...зочества прозрачных электропроводящих слоев.Процесс совместного термического разложенияВд 8 п и Взи (или Вз и О (СгНя)г) характеризуется высокой воспроизводимостью параметров получаемых электродов (+3%). Слои, полученные по предлагаемому способу, имеютповерхностное сопротивление Вз = 500 Ом/сми не требуют дополнительной термообработки,что существенно упрощает процесс и повышаетвыход годных электродов.Предлагаемый способ прост, дешев и универсален, что делает его удобным для промышленного использования. При соотношенииВаап:Взи (или Взи 0(СгНя)г ( 1:0,01осаждают прозрачные электропроводящие слоиокиси олова с содержанием пгОз ( 0,8 вес.%характеризующиеся низким качеством получае.мого на них фотолитографического рисунка.При. соотношении В 48...

Номер патента: 988786

Опубликовано: 15.01.1983

Авторы: Ежовский, Елисеев, Иванова, Кольцов

МПК: C03C 17/245

Метки: поверхности, подложек, силикатных

...реагентов на поверхности недостаточно для образования сплошного слоя. Аналогичным образом определяется и диапазон используемых давлений. 9887 Обработку повторяют до 30 раз до полу- ЗО чения слоя двуокиси олова необходимой толщины (до 10 нм), обеспечивающей достаточно защитные свойства,Тип подложки Потери веса10 з гсм Толщинслояф 10 з Способ,010,0132,01с -- 2,0 10 ф Па в 4 ф а н и е, Обработка по прототипу проводится при Т = 350 1 ри На подготовленную предлагаемым способомповерхность напыляют в: вакууме слой ЗпОи далее проводят процесс фотолитографии,86 4П р и м е р 1, Подложки иэ ситаллаСТ.1 тщательно отмытые и обезжиренныев парах пропилового спирта помещают в вакуумную камеру и при давлении остаточныхпаров 510Па прогревают 15 мин при200...

Номер патента: 1119994

Опубликовано: 23.10.1984

Авторы: Гусовский, Иванов, Козлов, Кочерба, Сахно, Семин, Цагина

МПК: C03C 17/245

Метки: интерференционных, материал, покрытий

...покрытий, включающий Иа,АКР,дополнительно содержит Иа,ЗсР 6 приследующем соотношении компонентов, 55мас.Х:Яа, АУР О, 1-0,5Иа,ЗсР 6 99,5-99,9 Предлагаемый материал синтезируют из солей натрия и скандия, содержащего дополнительно соли алюминия, путем обработки их плавиковой кислотой с последующей сушкой полученного соединения на воздухе при температуре до 150 С и спеканием егоов виде таблеток в инертной атмосфере при 1000 С.П р и м е р 1. При получении 1 кг материала, содержащего мас.й: Яа,А 2 Р 60, 1 и Яа, ЗсР 99,9,к 1200 мл концентрированной плавиковой кислоты добавляют 696 г карбоната натрия, 302 г оксида скандия и 0,25 г оксида алюминия. Полученную пульпу интенсивно перемешивают в течение 4 ч. Осадок фильтруют и промывают 500 мл...

Номер патента: 1135729

Опубликовано: 23.01.1985

Авторы: Бутаев, Гаврилова

МПК: C03C 17/245

Метки: оптических

...ьно, просветляющее покрытие необходимо нанести двухс"адийным дискретным напылением материала,а отжиг производить после каждойстадии напыления.С увеличением скорости напыленияпокрытия степень сохранения прочности, достигнутой в результате нонообменной обработки, возрастет, нопри скоростях напыления, превышающих5 нм/с, технология просветления осложняется. Поэтому верхний пределскорости напыления материала на первой стадии ограничен этой величиной. Нижний предел скорости напыления материала на первой стадииограничен 3 нм/с, поскольку дальнейшее снижение скорости напыленияприводит к снижению прочности, достигнутой в результате иоиообменнойобработки,С увеличением скорости напыленияматериала адгезионвые и прочностныесвойства покрытия...

Номер патента: 1171441

Опубликовано: 07.08.1985

Авторы: Андониев, Бари, Вовк, Гавва, Гончаров, Девятых, Макаревич, Миленин, Полянов, Прохоров, Чемеринский, Щеплягин

МПК: C03C 17/245

Метки: изделия, кварца, нанесения, покрытий, преимущественно

...покрытию, доставляется в герметичном контейнере 8, с него снимаетсй крьппка (не 40 показана) и он стыкуется с камерой 1. Через штуцеры 4 и 10 в систему пода-, ется инертный газ для продувки камеры 1 и контейнера 8, который выводится через отверстия 3 по трубкам нап равляющих 2 и далее через штуцер 5 - в поглотительный бачок 17. С помощью манипулятора 9 лодочку 12 вталки" вают в камеру 1, после чего контейнер 8 снимают вместе с манипулятором 9, 50 на открытый конец камеры 1 устанавливают крьппку со штоком 18, шток соединяют с лодочкой 12 и повторяют про,дувку камеры 1 инертным газом. После отвода пустого контейнера фон загрязнения в нем (и в камере) не повышается, поскольку непрерывная подача инертного газа, вплоть до закрытия...

Номер патента: 1203047

Опубликовано: 07.01.1986

Авторы: Алесковский, Горбатенко, Малков, Малыгин, Петрова, Цветкова

МПК: C03C 17/245

Метки: микросфер, стеклянных, упрочнения

...0 ОС 1 стныи 49 215 353 5 8 Изобретение относится к химической технологии получения легковесных наполнителей, используемых в производстве композиционных материалов различного целевого назначения: облегченных пластмасс, гипса, цемента, бетона, сферопластиков, сочетающих малую плотность с достаточ-. ной прочностью.Цель изобретения - повышение гидростатической прочности микросфер.В результате. обработки микросфер парами ЫНз и НО с поверхности удаляются хлор-ионы, повьппается стабильность покрытия, образуются водородсодержащие группы, способные взаимодействовать с новыми порциями хлоридов или оксихлоридов. Многократная обработка хлоридами (оксихлоридами) и НО или ИН с удалением после каждой стадии обработки физически сорбированных...

Номер патента: 1490100

Опубликовано: 30.06.1989

Авторы: Александров, Аликберов, Бабич, Гайнудинов, Евсегнеев, Козлов, Макаров, Тетерин

МПК: C03C 17/245

Метки: интерференционных, материал, покрытий

...добавку литий (1 фто- фф рид, Затем материалу придавали ком- Ж пактную форму и прокаливали на воздухе при 1350 С в течение 4 ч. Оптические покрытия иэ данного материала 1) получены методсм электронно-лучевогоиспарения на установке ВУА. Давление остаточных газов в камере составляло р=(7-8) 10 торрпвдл=150-200 фС, при этом были использованы подложки иэ следующих материалов: К, КУ, КС 1, НаС 1, Ге, Ско- й рость нанесения равнялась (6-10) хх А /с, Покрытия, полученные из данного материала, испытывались на влагостойкость и механическую прочность .1490100 ет. 15 20 40-60 40-60 Соотноаение Показатель озфФипиен т Граница оанороаностнпрозраеностн, 8- с501 нннпепа ееа Состав иатернала на руопа прочности конлонентов,иас,г...

Номер патента: 1565817

Опубликовано: 23.05.1990

Автор: Фурман

МПК: C03C 17/245

Метки: защиты, оптических

...осушки, а затем их отцентрировали и склеили клеем бальзамин-М с п=1,52. 15 На защищенных поверхностях линз налеты и потемнения не появляются.У контрольной партии, содержащей по 10 незащищенных линз из стекол ма марки Офи ОФ, на всех линзах г после центрировки появляются налеты.У линз с защитной пленкой за счет границы стекло - запретный слой - клей . уменьшение в области спектра 360- 900 нм коэффициента процускания не 25 превышает 0,2 Х, т.е. защитное покрытие не ухудшает оптические характеристики склеенных линз.П р и м е р 2. На автоматизированной вакуумной установке ВАКнано 30 сят электронно-лучевым испарением пленку двуокиси кремния оптической толщины 55 нм на 50 линз из химически неустойчивого стекла марки Офс показателем...

Номер патента: 1565818

Опубликовано: 23.05.1990

Автор: Фурман

МПК: C03C 17/245

Метки: защиты, оптических

...Офи Офс показателями преломления 1,53 и 1,55.Далее поступают как в примере 1.После центрировки и склейки налетыи потемнения на линзах не появляются.За счет склейки уменьшение в области 35спектра 360-900 нм коэффициента пропускания не превышает 0,37П р и м е р 3. Пленка окиси алюминия оптической толщины 260 нм, нанесенная электронно-лучевым испарением, 40расположена на поверхностях 35 линзиз химически неустойчивых стекол марки Офи ОФ-З,Далее поступают как в примере 1.После центрировки и склейки налеты 45и потемнения на линзах не появляются.За счет склейки уменьшение в областиспектра 400-750 нм коэффициента пропускания не превышает О,ЗХ.Для стекол с п=1,61-1,85 при оптической толщине защитной пленки окисиалюминия еа пределами 120-140 нм...

Номер патента: 1574551

Опубликовано: 30.06.1990

Авторы: Возняк, Карфидов, Корпан, Магунов, Остафьев, Цагина, Шкляр

МПК: C03C 17/245

Метки: материал, оптических, покрытий

...1983.Справочник технолога-оптика/ПодЛ.: Машизобретение относится к оптически риалам и может быть испольэовахлоридных растворов с последующей сушкой осадка при 150-160 С в течение суток прокалкой шихты при 850- 900 С в течение 4-6 ч, помола прессуе мого материала и прессованием таблеток под давлением 500-600 кг/см ио обжигом их на воздухе при 1000 С в течение 6-10 ч,Из таблеток электронно-лучевым испарением в вакууме в установке УРМ.279,060.наносили высокопреломляющие слои на ненагретые поддожки К-Я.о Температура подложки 25010 С, Остаточное давление в рабочей камере 10 - 10 тор, Скорость напылеония слоя 5-10 А с.1574551 Формула изобретения 1 О Коэффициенты,% Термостойкость в Количество слоев Материал Состав поглощения...

Номер патента: 1728150

Опубликовано: 23.04.1992

Авторы: Гурьев, Дубовская, Карницкий, Карфидов, Козлов, Магунов, Сотула

МПК: C03C 17/245

Метки: материал, оптических, покрытий

...осадок отмывают от маточного раствора дистиллированной водой и сушат его при 100-150 С в течение суток. Высушенный осадок размалывают и прокаливают при 1000-1100 С в течение 4 ч, При этих условиях обеспечивается полное удаление воды и образуется твердый раствор пентаоксида тантала с диоксидом гафния заданного раствора. Для придания материалу компактной формы его прессуют под давлением 3-4 кгс/см в виде таблеток диаметром 20-40 мм и высотой 5 - 10 мм при 1350-1400 С в течение 4-6 ч.П р и и е р 2, Для получения 100 г пленкообразующего материала с содержанием 85 мол. 6 Та 20 би 15 мол, 6 НЮ 2 к 461 мл спиртового раствора тантала с концентрацией 200 г/л по пентаоксиду тантала добавляют 78 мл раствора хлорокиси гафния с концентрацией 100 г/л...

Номер патента: 1830053

Опубликовано: 23.07.1993

Авторы: Дэвид, Майкл, Эндрью

МПК: C03C 17/245, C03C 17/30

Метки: покрытий, стекле

...преломления образованного слоя. Применяемые условия и полученные результаты представлены в табл, 1 с соответствующими деталями для Примера 1 для сравнения.Примеры 4-8, Повторилипроцедуру из примера 1, применяя различные газовые смеси и различные отношения этилена к двуокиси углерода, при этом поддерживали постоянное отношение моносилан:этилен плюс двуокись углерода и постоянный общий расход газа. Применяемые условия и полученные результаты представлены в табл, 2,Применение высокого отношения этилен:силан, как в Примерах 4 и 5 привело к образованию очень тонкого нижнего слоя (меньше 55 нм), Уменьшение отношения этилена к силану и увеличение отношения двуокиси углерода к силану сначала и увеличение отношения двуокиси углерода к силану...

Номер патента: 1838261

Опубликовано: 30.08.1993

Авторы: Берри, Питер, Эдвард

МПК: C03C 17/245

Метки: горячей, ленты, нанесения, поверхность, покрытия, стекла

...и газы-носители до выпускного трубопровода.Соответствующие высоты углеродныхблоков 4, 5 и 6 которые образуют первый 25 впускной канал и ВТОРОЙ впускной каналвыбираются так, чтобы потолок 11 а, 11 в камеры для нанесения покрытия 10 имеет ступенчатую конфигурацию в месте соединения второго впускного канала и камеры 30 нанесения покрытия, при этом потолок 11 акамеры нанесения покрытия на стороне вверх по потоку указанного впускного канала находится на более высоком уровне, чем потолок 9 камеры нанесения покрытия на 35 стороне ниже по потоку второго впускногоканала 14, и как видно иэ фиг;1, линия, описанная продольным поперечным сечением через потолок, является прерывистой и имеет ступенчатую конфигурацию. Таким образом, 40...

Номер патента: 1838262

Опубликовано: 30.08.1993

Авторы: Берри, Эдвард

МПК: C03C 17/245

Метки: горячего, движущуюся, ленту, нанесения, покрытия, стекла

...39. Его конструкция такая же, что и впускного ограничителя 32, т,е, он.имеет удлиненный выпускной пластинчатый .элемент 40, герметично фиксированный между противоположно расположенными . парами пластин 41, 42, прикрепленных, например приваренных, к соответствующим удлиненным стенкам 28, 29, Пластины 41, 42 отделены от выпускного пластинчатого элемента 40 прокладками (не показаны) и крепко связаны друг с другом нарезными соединителями 43, которые также крепко связывают пластины 41,42, а в итоге и ограничитель газового потока, с пластиной 19, к которой подвешены грэфитовые блоки 6, 7, В выпускном пластинчатом элементе 40 имеется ряд отверстий 44 предпочтительно диаметром 2 - 10 мм, и в одном из особенно рекомендуемых вариантов диаметром...