Андониев

Номер патента: 1171441

Опубликовано: 07.08.1985

Авторы: Андониев, Бари, Вовк, Гавва, Гончаров, Девятых, Макаревич, Миленин, Полянов, Прохоров, Чемеринский, Щеплягин

МПК: C03C 17/245

Метки: изделия, кварца, нанесения, покрытий, преимущественно

...покрытию, доставляется в герметичном контейнере 8, с него снимаетсй крьппка (не 40 показана) и он стыкуется с камерой 1. Через штуцеры 4 и 10 в систему пода-, ется инертный газ для продувки камеры 1 и контейнера 8, который выводится через отверстия 3 по трубкам нап равляющих 2 и далее через штуцер 5 - в поглотительный бачок 17. С помощью манипулятора 9 лодочку 12 вталки" вают в камеру 1, после чего контейнер 8 снимают вместе с манипулятором 9, 50 на открытый конец камеры 1 устанавливают крьппку со штоком 18, шток соединяют с лодочкой 12 и повторяют про,дувку камеры 1 инертным газом. После отвода пустого контейнера фон загрязнения в нем (и в камере) не повышается, поскольку непрерывная подача инертного газа, вплоть до закрытия...