Старшинина

Номер патента: 983096

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Голованов, Грибов, Григос, Дубровин, Козыркин, Кощиенко, Старшинина

МПК: C03C 17/245

Метки: нанесения, подложку, покрытия, стеклянную, электропроводящего

...зочества прозрачных электропроводящих слоев.Процесс совместного термического разложенияВд 8 п и Взи (или Вз и О (СгНя)г) характеризуется высокой воспроизводимостью параметров получаемых электродов (+3%). Слои, полученные по предлагаемому способу, имеютповерхностное сопротивление Вз = 500 Ом/сми не требуют дополнительной термообработки,что существенно упрощает процесс и повышаетвыход годных электродов.Предлагаемый способ прост, дешев и универсален, что делает его удобным для промышленного использования. При соотношенииВаап:Взи (или Взи 0(СгНя)г ( 1:0,01осаждают прозрачные электропроводящие слоиокиси олова с содержанием пгОз ( 0,8 вес.%характеризующиеся низким качеством получае.мого на них фотолитографического рисунка.При. соотношении В 48...