Патенты с меткой «подложку»

Страница 5

Способ локального осаждения сплава олово-свинец на металлизированную медью диэлектрическую подложку

Загрузка...

Номер патента: 1805826

Опубликовано: 10.04.1996

Авторы: Виноградов, Чубаров

МПК: H05K 3/18

Метки: диэлектрическую, локального, медью, металлизированную, олово-свинец, осаждения, подложку, сплава

...применим для процесса образования слоя метзллореэиста, в частности слоя сплава олово-свинец при производстве печатных плат, а также при изготовлении полупроводниковых приборов и микросборок.П р и м е р, Реализуют предлагаемыйспособ на подложках из фольгировзнного медью стеклотекстолитз СФ-35/1,5 ситалла и поликора с напыленным слоем меди толщиной 5 мкм.Предварительно нз свободные от формируемой электрической схемы места под ложки напаивался активатор - несколько (1-4) технологических "капель" активирую- щего металла произвольной формы и раэме 1805826 4ров, Затем подложка погружалась в ванну с рзствором следующего состава, г/л:Борфтористое олово 15 Борфтористый свинец 95 Борфтористая кислота 260Борнэя кислота 20 - 30 Вода До 1 л Ванна...

Способ локального нанесения покрытия на подложку

Номер патента: 1331369

Опубликовано: 27.12.1996

Авторы: Земсков, Игуменов, Чесноков

МПК: G03F 1/00, H01L 21/312

Метки: локального, нанесения, подложку, покрытия

1. Способ локального нанесения покрытия на подложку, включающий осаждение покрытия из парогазовой фазы металлоорганического соединения под действием лазерного излучения, отличающийся тем, что, с целью повышения адгезии покрытия и производительности процесса, осаждение покрытия осуществляют при общем давлении, равном атмосферному, а облучение осуществляют последовательностью импульсов излучения наносекундного диапазона длительностей и мощностью в импульсе 107 109 Вт/см2, причем в процессе облучения проводят периодическое отклонение луча с частотой, меньшей частоты следования импульсов или некратной ей.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве металлоорганических соединений используют летучие...

Устройство для нанесения мономолекулярных пленок на подложку

Номер патента: 1679915

Опубликовано: 27.01.2000

Авторы: Балашов, Букин, Плесский

МПК: B05C 3/02, H01L 21/47

Метки: мономолекулярных, нанесения, пленок, подложку

1. Устройство для нанесения мономолекулярных пленок на подложку, содержащее ванну для рабочей жидкости, средства слива рабочей жидкости из ванны и держатель подложки, отличающееся тем, что, с целью повышения качества наносимых пленок, две противоположные стенки ванны выполнены наклонными к ее днищу, а две другие боковые стенки взаимно параллельны и перпендикулярны днищу, причем держатель подложки установлен на одной из наклонных стенок ванны с возможностью размещения подложки в плоскости этой стенки по всей ее ширине, а углы наклона стенок связаны между собой соотношениемcos +sin

Способ осаждения пленок поликристаллического кремния на полупроводниковую подложку

Загрузка...

Номер патента: 1484193

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Красницкий, Крищенко, Лесникова, Турцевич, Шкуть

МПК: H01L 21/205

Метки: кремния, осаждения, пленок, подложку, поликристаллического, полупроводниковую

Способ осаждения пленок поликристаллического кремния на полупроводниковую подложку, включающий осаждение подслоя поликристаллического кремния толщиной 40,0-100,0 нм разложением моносилана при температуре 600-650°С, прекращение подачи моносилана, проведение отжига в течение 5-20 мин при температуре осаждения и доращивание пленки до требуемой толщины при температуре осаждения подслоя, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества пленок путем повышения их термостабильности и увеличения дисперсности, доращивание пленки до требуемой толщины проводят послойно с толщиной каждого отдельного слоя, составляющей 20-30% от толщины доращиваемой пленки, последовательно чередуя операции...

Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку

Загрузка...

Номер патента: 1786963

Опубликовано: 20.03.2012

Авторы: Воробьев, Коршунов, Кульгачев, Сенько, Снитовский

МПК: H01L 21/22

Метки: нанесения, подложку, покрытия, полиимидного

Способ нанесения полиимидного покрытия на подложку, включающий обработку подложки и формирование слоя полиимидной смолы, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия, обработку подложки осуществляют в плазме, содержащей ионы фтора, в течение 1-100 с, а перед формированием слоя полиимидной смолы подложку выдерживают в атмосфере, содержащей аммиак в течение 1-1000 с.