Способ локального осаждения сплава олово-свинец на металлизированную медью диэлектрическую подложку

(в) ЗЦ (1 ц 1805826 (1 з) А 1 КЗфа 1) б Комитет Российской Федерациипо патентам и товарным знакамь ОПйСАНИЕ ИЗОИ Втвнк авторскому свидетельству. 2(21) 4868707/21 (22) 05,07.90 ных. плат, в частности к процессу получе- (46) 10.04.96 Бюл. Ж 10 . ния защитного покрытия рисунка провод- ., (72) Чубаров В.П;, Виноградов В.Ю. ников печатных плат. Сущность(71) Центральный научно-исследователь- изобретения: способ локального осаждения ский. технологический инетитут заключается в том, что на металлизиро(5 б) Патент Франции Й 251 З 27 З, кл. С 2 Ю ванную"медъв подложку перед погружени- ОО 5/00, 1983. Уои СипеЫ ВДРнрре 1.С. ем в среду напаивают одну или несколько (;р : ОсЬйащ баз МеаП - аозтдпр ипб дег технологических "капель" металла - (актиМеаИ. - айозцр - 8 езсЬЙдфеЫ Т.азег - ватор), а в качестве среды используют , 31 гаЫе 01 егйосйе - Зийасе, 1981, Вд. 22, гальванический раствор следующего соста- ОфЯ 9, 3.294-297,ва, г/л: борфтористое олово 15: борфтори- (54) СПОСОБ ЛОКАЛЬНОГО ОСАЖДВ- . стый свинец 9: борфгористая кислота 260: НИЯ СПЛАВА ОЛОВО-СВИЙВЦЙА МВ-:борная кислота 5, В результате получают ТАЛЛИЗИРОВАННУЮ . МВДЬЮ равномерное по толщине покрытие. 1 табл.ДИЭЛВКТРИЧЖЮ ПОДЛОЖКУ(57) Использование: яэобретеийе относитсяк микроэлектронике и изготовлайао печатИзобретение относится к микроэлектронике и изготовлению печатных плат, в частности к процессу получения защитного покрытия рисунка проводников печатных плат.Цель изобретения - повышение качества процесса за счев формирования равноме"рйого по, тющинепокрытия.Цельдостйгйдтс за счет того, что перед .обработкой подлЬЖф лазерным излучением нэ ее пуорйностю размещают активатор иэ сплава"олово-свинец и помещают подложку в раствор, содержащий соли металла: олово борфтористое и свинец борфтористый, кислоты: борфтористая и борная, при следующем соотношении компонентов, г/л,Борфтористое олово 15-12 Борфтористый свинец 7-9 Борфтористая кислота 250-280 Борная кислота 20-30 Вода До 1 л Затем подложку погружают в ванну с укаэанным раствором, ванну закрепляют йа координатном столе и перемещают по программе относительно сфокусированного лазерного луча. В зоне воздействия лазерного луча на поверхности медной фольги происходит осаждение плава олово-свинец, играющего роль металлорезиста при изготовлении печатных плат или контактных площадок в микроэлектронике(в микро- сборках). Толщина слоя осадка (покрытия) определяется плотностью мощности и длительностью лазерного воздействия, т.е. в конечном счете параметрами лазерного излучения и фокусирующей системы, а также скоростью перемещения стола и свойствами электролита. Ширина формируемого осадка (покрытия) зависит в основном от ширины области вОздействия лазерного луча и частотно-временных характеристик излучения.Данный способ применим для процесса образования слоя метзллореэиста, в частности слоя сплава олово-свинец при производстве печатных плат, а также при изготовлении полупроводниковых приборов и микросборок.П р и м е р, Реализуют предлагаемыйспособ на подложках из фольгировзнного медью стеклотекстолитз СФ-35/1,5 ситалла и поликора с напыленным слоем меди толщиной 5 мкм.Предварительно нз свободные от формируемой электрической схемы места под ложки напаивался активатор - несколько (1-4) технологических "капель" активирую- щего металла произвольной формы и раэме 1805826 4ров, Затем подложка погружалась в ванну с рзствором следующего состава, г/л:Борфтористое олово 15 Борфтористый свинец 95 Борфтористая кислота 260Борнэя кислота 20 - 30 Вода До 1 л Ванна крепилась на Х - У-координатныйстол с системой ЧПУ АПи перемещалась10 относительно сфокусированного лазерноголуча но соответствующей программе.В ходе работ использовался твердотельный АИГ: Я лазер ЛТИ, Фокусировка излучения осуществлялась15 оптической системой СОК, позволяющейфокусировать луч в пятно с минимальным диаметром 50 мкм и плавно изменять его до 100-150 мкм, В зоне воздействиялазерного луча нэ поверхности подложки осаждается20 сплав олово-свинец в виде светлых блестящих линий. Осаждение проводилось при средней мощности излучения лазера 10 Вт с диаметром сфокусированного светового пятна 50 мкм. В результате были получены25 слои металлического покрытия толщиной от0,5 до 2,0 мкм за один проход луча при максимальной скорости перемещения координатного стола 100 мм/мин.Толщина слоя осадка регулировалась вшироких пределах путем изменения мощности лазера и скорости его движения по подложке, а также путем изменения концентрации солей в растворе от долей до десятков миллиграммов. Неравномерность по толщине слоя покрытия составляла 1-5 мкм, ширина 50-200 мкм,Результаты эксперимента даны в приводимой таблице, где обозначены в пер 40 вых столбцах параметры осадка дляподложки из фольгированного стеклотекстолита с толщиной фольги 5 мкм; во вторых для подложки из ситалла с Напцленным слоем меди толщиной 0,545 мкм. При этом длина волны лазерного излучения А = 1,06 мкм, средняя мощность излучения Р = 10 Вт, частота повторения импульсов Е59 кГц, диаметр пятна на поверхностиподложки б = 70 мкм. Хими 50 ческий состав раствора, г/л:Борфтористое олово 13,5 Борфтористый свинец 8 Борфтористая кислота 265 Борнэя кислота 2555 Вода До 1 лЧастота излучения не является существенным признаком для достижения цели.1805826 изобретения КАЛЪНОГО ОСАЖДЕЛОВО-СВИНЕЦ НА МЕНУЮ МЕДЬЮ ДИЭПОДЛОЖКУ, мещение подложки в ащем соли металлов, воду, и обработку пожки лазерным лучом в требуемым рисунком, м, что, с целью повыпроцесса за счет формерного по толщине покрытия, перед обрлазерным лучом на еемещают активатор изнец, причем в качестиспользуют олово борнец борфтористый, акИслот - кислоту борфную при следующемпонентов, г/л:Борфтористое оловоБорфтористый свинецБорфтористая кислотаБорная кислотаВода м 15 7-9 0 - 280 20 - 30 Дол Составитель Т. ГригоренкоТехред М.Моргентал Корре Редактор аковская аказ 82 Тираж Подписное НПО "Поиск" Роспатента113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 льский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 10 оизводствекко-и СПОСОБ ЛО ,НИЯ СПЛАВА О ТАЛЛИЗИРОВАН Л Е КТРИЧ Е СКУЮ включающий ра .растворе, содерж смесь кислот и верхности подло соответствии с отличающийся т щения качества мирования равн боткой подложки поверхности разсплава олово-свиве солей металла фтористое и свив качестве смеси тористую и бороотношении ком