Резистивный материал для высокоомных тонкопленочных резисторов

111924765 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союэ Советски нСоциалистичесиикРеспублик(51) М. Кл,(22) Заявлено 23. 10. 80 (21) 2996749/18-21 Н 01 С 7/00 с присоединением заявки 3 ЪеударстеенныМ комитет СССР в дами нмеретеннй н атерытнй(54) РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ ДЛЯ ВЫСОКООМНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ Изобретение относится к резисторостроению, в частности может быть использовано для изготовления высокоомных тонкопленочных резисторов,Известен резистивный материал для изготовления высокоомных тонкостенных резисторов, состоящий из смеси порошков металлов и диэлектрика, включающего окислы кремния и алюминия Г 1 1.Недостатком известного резистивно 1 О го.материала является трудность получения высокоомных резистивных пленок с малым значением температурных коэффициентов сопротивления (ТКС), свя 15 занная с тем, что в каждой партии полученных после напыления заготовок резисторов наблюдается большой разброс по величине ТКС, вследствие чего доля высокомных резисторов с малым ТКС очень незначительнаНаиболее близким к предлагаемому является резистивный материал для изготовления тонкопленочных резисто ров, включающий хром, железо, алюми,ний и смесь окислов кремния и алюми. ния 21.Недостатком этого резистивного материала является то, что он не позволяет получать резистивные пленки с удельным поверхностным сопротивлением более 10 кОм/д с малым (близким к нулю) значением ТКС, что необходимо для прецизионных высокоомных резисторов.Изменяя температуру отжига резистивных пленок, полученных после напыления в вакууме известного резистивного материала на керамические основания резисторов можно в определенных пределах управлять величиной ТКС, При этом, чем выше температура отжига, тем более положительные значения ТКС получаются, Однако для резистивных пленок с поверхностным сопротивлением выше 1 О кОм( ц ТКС лучше чем -50 х 10 1/С получить не удается, так как значительное повышение температуЭ 92 ч 76 ры отжига с целью смещения ТКС к нулевому значению уже не дает результата, потому что происходит резкое, неуправляемое изменение величины сопро; тивления реэистивных пленок (Й ф).Цель изобретения - расширение диапазона удельных поверхностных сопротивлений резисторов в высокоомную сторону с одновременным уменьшением ТКС.Указанная цель достигается тем, 10 что резистивный материал для изготовления высокоомных тонкопленочных резисторов, включающий хром, железо, алюминий, смесь окислов кремния и алюминия дополнительно содержит окись 15 кадмия при следующем количественном соотношении компонентов, вес.Ф:Хром 12- 10Железо 1-10Алюминий 10-20 20Окись кадмия 2-15Смесь окисловкремния и алю"миния ОстальноеВводимая в предлагаемый резистив ный материал окись кадмия смещает Средние зна чения велиДиапазонполученных значений ТКС101/Со Алюминий Окиськадмия чин поверхностного сопротивлениярезистивныхпленок окисловкремнияи алюминия-10- +30 16 17 50 Как видно из таблицы,резистивный материал может быть использован при изготовлении высокоомных тонкопленочных резисторов с малым уровнем ТКС.Простота получения резистивного материала и его напыления на керамическом основании дают возможность его исполь"50 зования без дополнительных затрат в любом серийном производстве тонкопленочных резисторов, где используются методы вакуумно-термического напыления,формула изобретения 55 Резистивный материал для высокоомных тонкопленочных резисторов, включающий хром, железо, алюминий, смесь окислов кремния и алюминия, о т л иИсходные компоненты, вес.3 Хром Железо Смесь Таким образом, предлагаемый резистивный материал для высокоомных тон 5 4ТКС получаемых резисторов в положительную область и за счет этого обеспечивается получение ТКС, близких кнулю и с положительным знаком длявысокоомных резисторов с удельнымповерхностным сопротивлением от 1 до30 кОм/ю (после отжига напыленныхпленок в диапазоне температур 150 -600 С),Предлагаемый резистивный материал представляет собой смесь порошков исходных компонентов с размером частиц до 60 мкм. Изготовление резисторов с использованием этого материала производится напылением его в ва-,. кууме на керамические основания, после чего полученные резистивные пленки отжигаются на воздухе. Ниже приведены конкретные примеры приготовления резистивных материалов предлагаемого состава с различным со," держанием исходных компонентов, а также характеристики резистивных материалов (таблица). копленочных резисторов обладает технико-экономической эффективностью,так как дает возможность выпускатьвысокоомные прецизионные резисторы смалым ТКС, Предлагаемый резистивныйматериал находится на стадии внедрения в производство..ностных сопротивлений резисторов вкремния и алювысокоомную сторону и уменьшения ТКС,миния Остальноеон дополнительно содержит окись кад- Источники инФормации,мия при следующем количественном со- принятые во внимание при экспертизеотношении компонентов, вес.: 1. Авторское свидетельство СССРУ 520628, кл. Н 01 С 7/00, 1975.2. Авторское свидетельство СССР10 по заявке й 2778023/21,кл. Н 01 С .7/00, прототип), Составитель Б. ЛитваковскийРедактор Ю. Середа Техред Ж, Кастелевич Корректор. А дзяткоЗаказ 2829/70 Тираж 758 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035 Москва Ж-.36 Раушская наб. д. М 5еви веевивее еее вев вивеФилиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,