Расплав для электроосаждения сплавов меди

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Саез СовеМкиа Сатциапистичеоиия Респубпии(И) М. Кл.С 25 и 3/бб Гоарврвтввннмн ааватвт6 аввта Маваатров ВВОРао даава авобрвтанаНа отврцтай(45) Дата опубликования описания 161277;(71) ЗаявитЕЛь ОРдеиа Трудового красного знамени институт физики АнАзербайджанской ССР.(54) РАСПЛАВ ДЛЯ ЭЛЕКТРООСАЖДЕНИЯ СПЛАВОВ МЕДИ изобретение относится к области электроосаждения сплавов, в частности к электроосаждению сплавов из Расплавов солей, и преимущественно,к электроосаждению полупроводниковых 6 сплавов медь-.селен на оксидированной ,поверхности алюминия.Известны расплавы для электроосаждения металлов на основе галогенидов 1 Д . 10Однако указанные расплавы предназначены для электрокристаллизации слоев металлов, а не сплавов.Наиболее близким к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является расплав для электроосаждения сплавов меди с такими металлами как, например, торий, уран, титан, иттрий, лантан и церий, который содержит соединения меди и соосаж даемого металла, а также добавки других компонентов, например хлоридов, нитратов или фторидов лития 21.Однако такой расплав предназначе цля получения сплавов меди с другими 25 металлами, а не с селеном, и из него не могут быть получены покрытия на оксидированной поверхности алюминия.Предложенный расплав отличается от известного тем, что, с целью получения 30 покрытий сплавом, медь-селен на оксидированной поверхности алюминия в качестве соединений меди и селена он содержит соответственно двухлористую медь и двуокись селена при следующем соотношении компонентов, вес ФгДвухлористая медь 50-60Двуокись селена 20-25Хлористый титан 20-25Хлористый литий вводят в расплав для повышения его электропроводности и вязкости, Осаждвние сплавов медь-селен из указанного расплава проводят в кварцевом электролизе с анодом из графита, прокаленного при температуре 300-350 С. Катодом служит оксидированный алюминий. Температура расплава 450 С,Осадки сплава толщиной до 25 мкм могут быть получены при плотности тока 10-15 мА/сма в течение 3-10 мин,П р и м е р 1. Из расплава, содержащего, вес.а;Двухлористая медь 50Двуокись селена 25Хлористый литий 25при плотности тока 10 мА/сма в течение 5 мин осаждают покрытия толщиной 10 мкм.58 32 10 иСЕ,57 8 ф 02 Си,5 ЗЕ Сив 5 е 44 48,1 Зе 43,3 0,8 Си, й СЕе 10 - 25 47,9 5 55,8 СЕ - 25 е 44,4,9 57,2 2 и,т бЕ 42,Си 15 ЗЕ 02 - 20 Е.1 СЕ - 20 3 Си Зе 4,0 б,О 8,9 15 61,1 и П р и и е р 2. Для получения осадков толщиной 26 мкм в течение 7 мнн при плотчости тока 10 мА/см используют расплав, содержащйй, вес.%:Двухлористая медь 555Двуокись селена 25Хлористый литий 20 П р и и е р 3, Из расплава, содержащего, вес.В:Двухлористая медь 60 19 Двуокись сеЛена 2 ОХлористый литий 20при плотности тока 15 мА/смв течение 10 мин осаждают покрытия толщиной 25 мкм. 5 МКачество и состав пленок, полученных в примерах 1-3, проверялось повольтамперной характеристике диодныхструктур, полученных на их основе,и представлено в таблице,Как видно нз таблицы, в зависимости от состава электролита, плотности тока и времени злектроосаждения получаются пленки Си-Я, отвечающий составу Си ЯВ, где Х =От 1.Рентгенофазовый анализ слоев Си-ье также подтвердил состав покрытий, соответствующий формуле Си -Яе, где х 0-.1.583210 50-6020-2520-25. Двухлористая медьДвуокись селенаХлористый литий Формула изобретения Составитель Е.КубасоваРедактор Е,Братчикова Техред М,Левицкая Корректор А.Лакида Заказ 4853/41 Тираж 646 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Расплав. для электроосаждения сплавов меди, содержащий соединения меди и соосаждаемого металла и хлористый литий, о т л и ч а ю щ н й с я тем, что, с целью получения покрытий сплавом медь-селен на оксидированной по- верхности алюминия, в качестве сбединений меди и селена он содержит соответственно двухлористую медь и двуокись селена при следующем соотношении компонентов, вес,%: Источники информации, принятые во5 внимание при экспертиэег1. Барабошкин А.Н. и др. Основныезакономерности электрокристаллизациисплошных слоев металлов из расплавленных солей. Сборник 5-ое Всесоюзное10 совещание по электрохимии Тезисы,докладов, т.2,М 1974, с.23-25.2. Патент США 9 3298935, кл. 2041.5, 1967,