Способ контроля фотошаблонов

Номер патента: 309415

Авторы: Петров, Тонких

ZIP архив

Текст

3094 Б Союз Соеетских Социалистических Республикот авт. свидетельств мое МПК И 011 7/ 1.Х 11,1969 ( 1381477/26-2 аявлен оритет Комитет по делам изобретекий и открытий при Сосете Министров СССРУДК 621.328.001,3 (088,8 убликов о 09.Л 1.1971. БюллетеньДата опубликования описацич 11 Л 111.1971 Авторыизобретения. Н. Петров и Н. Н. Тонких Заявитель РОЛЯ ФОТОКАБЛОН СПОСОБ рисоединением заявкиИзобретение относится к микроэлектронной технике, в частности к производству полупроводниковых приооров.К комплектам фотошаблоцов предъявляют повышенные требования, так как допуски на размеры элементов и расстояния между ними составляют 1 - 2 лк. Точность совмещения всех элементов одного фотошаблона с соответствующими элемента:ш других фото- шаблонов не должна выходить за пределы установленных допусков, Следовательно, контроль и проверка взаимного расположения элементов на поле фотошаблона и размеров самих элементов в технологическом процессе изготовления фотошаблоцов имеют первостепенное значение. Известен способ контроля фотошаблоцов, полученных после мультиплицирования, при котором проверку размеров элементов и их 2 взаимного расположения производят с помощью универсальных оптических приборов МИИ, ЧП, УИМ. Проверяемый фото- шаблон устанавливают на микроскопе и производят замеры размещенных ца фотопласти не элементов проектируемой интеграль:лой схемы, после чего судят о точности полученного фотошаблона. Этот способ очень трудоемкий, так как на проверку каждого фото- шаблона и особенно такого, который содер жит 200 и более элементов, затрачивается много времени.Кроме того, недостатком способа является отсутствие точного контроля расположения одного элемента фотошаблона относительно другого при совмещенки комплекта фотошаблонов для фотолитографии.Целью изобретения является ум. цьшенне трудоемкости контроля фотошаблонов,Для этого, согласно предложенному способу, на взаимно перпецдикулярньх осях белка-оригицала наносят прозрачные и непрозрачные квадраты, расстояние между центрами которых берут равным шагу мультиплццировация, умноженному на масштаб белка-оригинала, а разность линейных размеров квадратов, расположенных на каждой оси, берут равной удвоенному допуску на совмещение комплекта фотошаблоцов, умноженному на масштаб белка-орипшала. Точность полученного фотошаблона определяют по фигурам, получившимся в результате наложения изображений прозрачных и непрозрачных квадратовв.На фиг. 1 изображен белок-орипшал, с которого получают промежуточный фотошаблон, а затем в натуральных размерах окончательный фотошаблон; на фиг, 2 - участок правильно изготовленного фотошаблона; на фиг. 3 - участок сЬотошаблона, полученного309415 иг Составитель В. ГришинРедактор Т. 3, Орловская Тскред А. Л. Камышникова Корректор О. И. Волко Типография, пр. Сапунов Заказ 2175/15 Изд, М 953 Тираж 473 ЦНИИПИ Комитета по делам изобретенпй 1 и открытий прп С Москва, К, Раушск" я наб д, 4/5Подписное ете Министров ССС,

Смотреть

Заявка

1381477

Л. Н. Петров, Н. Н. Тонких

МПК / Метки

МПК: G03F 7/12

Метки: фотошаблонов

Опубликовано: 01.01.1971

Код ссылки

<a href="https://patents.su/3-309415-sposob-kontrolya-fotoshablonov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ контроля фотошаблонов</a>

Похожие патенты