Патенты с меткой «топологических»
Способ измерения топологических характеристик
Номер патента: 331347
Опубликовано: 01.01.1972
МПК: G01T 5/02
Метки: топологических, характеристик
...света и конденсатора, либо с помощью лазера. С помощью линзы 2 осуществляют прямое Фурьспреобразование изображениях треков, зафпк сированных на фотографии.Фильтр выделяет в Фурье-плоскости пространственный спектр, соответствующий линиям равного наклона на фотографии. Фильтр может быть выполнен в виде диска с щелью ,нли цилиндрической линзы, а также голографически, В послсчпем случае для освещения 55 40 .15 5, ь 5 60 65 рых углах поворота в восстановленном изображении будут возникать семейства линий. Если это изображение спроецировать на матрицу фотоприемников, то каждая такая линия возбудит на матрице цепочку фотоприемников. Если на фотографии содержатся точки, из которы.; исходят несколько линий (вершины событий), то фотоприемники,...
Устройство для автоматической ориентации топологических структур элементов микроэлектроники
Номер патента: 1293490
Опубликовано: 28.02.1987
Авторы: Митькин, Пилипович, Развин
МПК: G01B 21/00
Метки: автоматической, микроэлектроники, ориентации, структур, топологических, элементов
...дискриминаторов сигналы поступают в линии 19 и 20 задержки и далее в умножители 25 и 26, где они умножаются на весовые коэффициенты, формируемые блоками 23 и 24 при помощи регистров 21 и 22 памяти аналогично однополосовому коррелятору.Оценки векторов состояния используются в цифровых фильтрах для вычисления ожидаемых их значений на и-ом интервале. Данные вектора прогнозов, представляющие собой прогнозируемые значения центра сигнала, поступают на входы генератора 29 полустробов и к ним "привязываются" центры следящих стробов, подаваемых на бинарные дискриминаторы 17, 18 на сигнальные входы которых поступают сигналы от Фотоприемников 13 и 14.Сигналы,с выходов умножителей 25 и 26 поступают в схемы цифровых фильтров 27, где они...
Способ гравирования элементов топологических рисунков на тонкопленочных покрытиях
Номер патента: 1380908
Опубликовано: 15.03.1988
Автор: Гвоздев
МПК: B23Q 15/00
Метки: гравирования, покрытиях, рисунков, тонкопленочных, топологических, элементов
...нирогд ни я силу Лдв,иция рссжуцссй кромки цд цсдложку ре у.рук 1;к, чтобы сс кр л- жд. 06,дс Г с)ст) Г Ег, с сг) ицтенсившсть нвхс)лисд зд экспсримента,ьцо усгдцсвлсццыцрллы.Устрс)с гв ), 11, изл к) цее сцсс, с)др,+,г гр 1 ирс)11, и, инструлег 1, режуидя кромка 2 к)ср)гс) лс)жс лц атья в напрдвлццц сре,ки Л. В исходном положении рсжуцсдя кромка лдлит в токопяночи)и)крытие 3, нанссццое ца подти)+,ку 4 Нрдвировальном инструментезикрцлсц лдгчик 5 мсхднически.с колсбдциц, элсктричскц соединенный с Вхс)дами ник)чс)со ц ьх пс)лосовых фильтр)в 6 Выли,сы фильтров через преключдтел ь 7 могу т цоочс ре;1 цо цо,1 кл кчдться и входу уси.игсля 8 мощности, выхсл которого соелццсц с ицликатором 9 например скщиллогрдсрс)мц и рсз выпрямитель 10 с...
Устройство для измерения размеров топологических фигур фотошаблонов с ортогональным проводящим рисунком
Номер патента: 1401274
Опубликовано: 07.06.1988
Авторы: Ботнева, Кондратьев, Таран
МПК: G01B 21/00
Метки: ортогональным, проводящим, размеров, рисунком, топологических, фигур, фотошаблонов
...(фиг. 1).В рабочей зоне блока 1 перемещений устанавливается объект измерений - фото- шаблон. В качестве рабочего органа блока 1 перемещений может быть использован, например, координатный стол от установки ЭМ. Блок 1 передвигается до тех пор, пока в поле зрения ТВ-камеры 2 не попадает нулевая точка объекта измерений. Блок 1 перемещения выдает на вычислитель 12 сигнал Стол на позиции, в ответ на который вычислитель выдает блоку 1 перемеще 14012745 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 ния координаты Х и У первого фрагмента, предварительно записанные в ПЗЭ 16 (фиг, 3), по которым происходит перемещение. После окончания движения ТВ-камера 2 считывает изображение фрагмента и передает его на БВК 3 и АЦП 4. С АЦП видеосигнал, преобразованный в...
Устройство для измерения координат угловых точек топологических фигур фотошаблонов
Номер патента: 1567887
Опубликовано: 30.05.1990
Авторы: Ботнева, Кондратьев, Таран
МПК: G01B 21/04
Метки: координат, топологических, точек, угловых, фигур, фотошаблонов
...в ответ на который вычислитель 14 выдает блоку 1 перемещения координаты Х и У первого фрагмента, предварительио записанные в память вычислителя 14, по которым происходит перемещение.После окончания движения ТВ-камера 2 считывает изображение фрагмента и передает его на БВК 3 и АЦП 4. С АЦП 4 видеосигнал, преобразованный в цифровой код, поступает на вход ФПС 5, который устроен и работает так же как и аналогичный блок в прототипе, результатом его работы является матрица 9 х 9 сигналов, задержанных друг относительно друга на 1 такт или на 1 строку ("электронное окно"), в конкретном примере используем две группы сигналов а, и Ъ; ) (фиг,4).Эти две группы сигналов поступают на блок 6 селекции угловых точек. ДопуС- тим, что в поле зрения...
Способ определения общей площадки топологических элементов
Номер патента: 1737256
Опубликовано: 30.05.1992
Автор: Ниськов
МПК: G01B 5/26
Метки: общей, площадки, топологических, элементов
...плоских полупроводниковыхпластин (кремния), лучше всего использовать тонкие пленки металлов или диэлектриков, напыляемых в вакууме илиосаждаемые их газовой фазы, К ним относятся, например, пленки алюминия, меди,титана, вольфрама, окисла кремния, силикатных стекол, натрида кремния и т. д. Указанные методы обеспечивают точностьвыдерживания толщины и удельного веса 15 20 25 30 35 40 45 50 пленок в пределах площади объекта около 3%.На поверхность подложек с произвольной формой и размерами пленочное покрытие можно наносить также методами пульверизации, намазывания, окунания, гальванического осаждения и т. д.После нанесения покрытия выполняют взвешивание объекта с покрытием (измеряют вес объекта с покрытием на всей поверхности Р). Затем на...