Способ изготовления датчика абсолютного давления

(51 01( 7/00, Н О 1,) 7/18 ЙФ;у 9,ркчаа д ОПИСАН К АВТОРСКОМ ЕТЕН ИДЕТЕ т фискии ин ментенко, В.А,Сендырева и П,Г.Митво СССРО, 1987.тво СССРО, 1990. ТЧ Поставленная цель усовершенствуется сп датчика абсолютного щий размещение гетте новку капсулы в опорн откачку опорной полос ровку геттера и после цию опорной полости ддостигается тем, что особ изготовления давления, включаюра в капсуле, устаой полости датчика, ти датчика, активиующую герметизатчика,ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕ АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИ Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при изготовлении и вакуумировании датчиков малого абсолютного давления, обладающих высокими точностными и эксплуатационными характеристиками.Цель изобретения - повышение точности измерения за счет уменьшения давления остаточных газов в опорной полости датчика абсолютного давления,Предлагаемое изобретениЕ обеспечит также создание датчиков абсолютного давления с малыми диапазонами измерения. (менее 1 мм рт.ст,) и повысит производительность труда при их изготовлении,Ж, 1809337 А 1(57) Использование: контрольно-измерительная техника. Сущность: с целью повышения точности измерения эа счет уменьшения давления остаточных газов в опорной полости датчика при использовании в качестве геттера сплава циркония и алюминия, активировку геттера проводят после размещения геттера в капсуле, наносят на него сплошной слой порошка из сплава алюминия с никелем, а после откачки опорной полости датчика обрабатываемого геттер расфокусированным лазерным лучом до разрыхления слоя порошка сплава алюминия с никелем и осуществляют герметизацию опорной полости датчика. 1 ил. Отличительным признаком способа из- Д готовления датчика абсолютного давления, включающего размещение геттера в капсуле, установку капсулы в опорной полости датчика, откачку опорной полости датчика, активировку геттера и последующую герметизацию опорной полости датчика, является - а точто при использовании в качестве гетте ф ра сплава циркония и алюминия, до установ- С) ки капсулы в датчик проводят активировку геттера, после чего на него наносят сплошной слой порошка из сплава алюминия с никелем, закрепляют капсулу в датчике, проводят откачку опорной полости датчика 4 и обрабатывают геттер расфокусированным лааерным лучом до раарыхления слоя по.решка сплава алЮминия с никелем, ватема герметизируют опорную полость датчика.Предлагаемый способ изготовления датчика абсолютного давления поясняется представленным чертежом и осуществляется следующим образом.Предварительно в геттерную капсулу 1 помещают прессованную таблетку 2 из геттерного сплава 7 г-А (16 мас, О ) с толщиной поверхностного зернистого слоя порядка 40 мкм. Далее капсулу 1 с таблеткой 2 размещают в камере вакуумной установки где при температуре 900 С и вакууме 10мм рт,ст, проводят активировку геттерного состава Ег - А, Затем на активированный состав Ег - А проводят формирование дополнительного геттерного слоя на основа порошкообразной композиции А - Ю Формирование второго слоя осуществляют за счет напыления состава А - В на поверхность таблетки 2, Толщина напыленного слоя 3 составляет порядка 30 мкм. Далее закрепляют геттерный узел в опорной полости 4 датчика и устанавливают последнийв вакуумном боксе, Откачка воздуха из опорной полости 4 осуществляется через ниппельное отверстие 5 в герметизирующей крышке 6, После включения в работу откачной системы и достижения определенного разряжения в вакуумном боксе (например, достижение давления разряжения порядка 10 - 1 мм рт,ст,) на корпус капсулы 1 подается тепловой импульс, источником которого является расфокусированный (под размер проточки 7) лазерный луч. Воздействие луча на капсулу 1 осуществляют в направлении, обозначенном стрелкой А, в течение 10- 20 сек, обеспечивая нагрев дополнительного слоя 3 при этом до температуры 250 С,Одновременно с откачкой остаточного давления из опорной полости 4 из нее также удаляются посторонние примеси, которые находились на поверхности геттерной защитной пленки 3, Наличие данных примесей обьясняется временным интервалом хранения геттерного узла (крышки 7 и геттера 2 и слое 3) от момента изготовления до момента начала его работы в опорной полости 4.После окончания действия теплового импульса откачное отверстие 5 в герметизирующей крышке 6 заваривается, тем самым опорная полость 4 изолируется от воздействия окружающей среды, Направление сварного луча обозначено на чертеже стрелкой Б. Из-за дополнительного газовыделения внутри опорной полости 4, вызванного заваркой отверстия 6, давление в полости может несколько возрасти, однако, т.к, геттер находится в активном состоянии (данное состояние обеспечено геттерным составом 2, открытым для газопоглощения за счет активации и последующего разрыхления защит ного слоя 3), он компенсирует указанноедополнительное газовыделение, снижая ос,таточное давление внутри опорной полости4 до величины 10 - 10мм рт.ст, Послед 5 нее обстоятельство исключает из процессаизмерения воздействие на чувствительныйэлемент 7 остаточного давления, за счет чего в конечном счете повышается точность инадежность измерения датчика абсолютно"0 го давления,Предложенный способ изготовлениядатчика абсолютного давления обладаетследующими технико-экономическими преимуществами:15 а) точность измерения малого абсолютного давления улучшается в 1,5 - 2 раза засчет снижения на порядок величины остаточного давления в опорной полости датчика (если в устройстве-прототипе данная20 величина составляет 10 мгл рт,ст то в заявляемом приборе эта величина равна104 - , 10 5 мм рт.ст.);б) значительно снижается время герметизации и вакуумирования опорных поло 25 стей при изготовлении датчиков (если времянагрева сборки для активации геттерногоузла по способу-прототипу составляет порядка 3-5 мин., то по предлагаемому способу данное время снижается до 20 сек);30 в) существенно расширяется диапазониспользуемых высокоэффективных геттерных материалов, температура которых лежит в пределах 700 - 1000 С,35 40 45 50 55 Формула изобретения Способ изготовления датчика абсолютного давления, содержащий операции размещения геттера в капсуле, установки капсулы в опорной полости датчика, откачки опорной полости датчика, активировки геттера и герметизации опорной полости датчика, отличающийся тем,что,сцелью повышения точности измерения за счет уменьшения давления остаточных газов в опорной полости датчика при использовании в качестве геттера сплава циркония и алюминия, активировку геттера проводят после размещения геттера в капсуле, наносят на него сплошной слой порошка из сплава алюминия с никелем, а после откачки опорной полости датчика обрабатывают геттер расфокусированным лазерным лучом до разрыхления слоя порошка сплава алюминия с никелем и осуществляют герметизацию опорной полости датчика,-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул, Гагарина, 101 Производстве Заказ 1281 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СС 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5