Гундырева

Способ изготовления датчика абсолютного давления

Загрузка...

Номер патента: 1809337

Опубликовано: 15.04.1993

Авторы: Гундырева, Климентенко, Козик, Марин, Михайлов, Семенов

МПК: G01L 7/00, H01J 7/18

Метки: абсолютного, давления, датчика

...слоя 3 составляет порядка 30 мкм. Далее закрепляют геттерный узел в опорной полости 4 датчика и устанавливают последнийв вакуумном боксе, Откачка воздуха из опорной полости 4 осуществляется через ниппельное отверстие 5 в герметизирующей крышке 6, После включения в работу откачной системы и достижения определенного разряжения в вакуумном боксе (например, достижение давления разряжения порядка 10 - 1 мм рт,ст,) на корпус капсулы 1 подается тепловой импульс, источником которого является расфокусированный (под размер проточки 7) лазерный луч. Воздействие луча на капсулу 1 осуществляют в направлении, обозначенном стрелкой А, в течение 10- 20 сек, обеспечивая нагрев дополнительного слоя 3 при этом до температуры 250 С,Одновременно с...

Тензометрический преобразователь

Загрузка...

Номер патента: 1589083

Опубликовано: 30.08.1990

Авторы: Гундырева, Марин, Семенов, Сивенков

МПК: G01L 1/22

Метки: тензометрический

...преобразователя.На чертеже схематически изображен тенЗометрический преобразователь.Тензометрический преобразователь содержит основу 1, выполненную, например, изнержавеющей стали 36 НХТЮ, напыленныйна нее слой переходного металла 2, например хрома, и комбинированное изоляционное покрытие, состоящее из двух диэлектриков, один из которых - слой 3 - выполнениз упругого материала, например из двуокисикремния (%02), а другой слой 4 выполнениз менее упругого материала, чем первыи,например из монокиси кремния (50),На изоляционном слое 3 расположенытензорезисторы 5, выполненные из материалана основе нихрома.Тензорезисторы 5 собраны в мостовую 25схему с помощью контактных площадок 6,Выполненных, например, из золота.Контактные площадки 6...

Тензометрический преобразователь

Загрузка...

Номер патента: 1552019

Опубликовано: 23.03.1990

Авторы: Гундырева, Марин, Семенов, Сивенков

МПК: G01L 9/04

Метки: тензометрический

...6 расположены в полости 7 герметичногокорпуса 8.Тензометрический преобразователь1 35работает следующим образом.Соответствующие напряжения питания подаются одновременно на мостовую измерительную схему и на резистор 6, включение которого сокращает 40время готовности преобразователя кработе за счет термостатирования чувствительного элемента. При воздействии на чувствительный элемент измеряемого давления мембрана 1 деформируется, изменяется сопротивление рабочих резисторов 2 и на выходе измерительной схемы появляется сигнал,соответствующий измеряемому давлению.При повышении температуры в процессеизмерения происходит нагрев чувствительного элемента и дополнительныйнагрев резистора 6. Увеличение давления в полости 7 при разогреве корпуса...