Раствор для травления кварца

(я)5 С 03 С 15/ ГОСУДАРСТВЕННЫЙПО ИЗОБРЕТЕНИЯМПРИ ГКНТ СССР МИТЕТОТКРЫТИЯМ з 1(56) Патент СЩАкл. СОЗ С 15/00Патент Велкл, СОЗ С 15/00 быть испольэомообразования зобрэжения яви ямок травледля травления ржащий компо- -27,0) моль/л и й функциональров для травления, вано для химичес иэделий иэ кварца. ляется снижение ния Для этого р кварца содержит ф нент с концентрац органическую кисло и можетого фоЦельюлотносастварторсодеией (0,5ту с одноинои углеводо неорганисоставамт быть исмообразо- . л.844А.Е. Федоров, Д.Г. Купрюумянц, Н.М. Быстрова, Л.П,(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ КВАРЦА(57) Изобретение относится к неорганической химии, в частности к составам раствоИзобретение относится кческой химии, в частности крастворов для травления, и можепользовано для химического форвания изделий иэ кварца,Целью изображения является снижение плотности ямок травления.Испытания проводят на образцах кварца в виде круглых пластин диаметром 7 мм, Их помещают в раствор определенного состава и травят при определенной температуре. Плотность ямок травления на поверхности кварца определяют визуально с помощью микроскопа и увеличением от 50 до 800 крат,Изобретение подтверждается конкретными примерами, приведенными в таблице, Примеры 48-50 иллюстрируют прототип.Раствор для травления кварца готовят следующим образом,П р и м е р 13. Берут 4 мм 40-ной фтористоводородной кислоты, смешивают с род ого радикала С 4-С 1 о с концентрацией(0.45-11,5) моль/л. Растворы снижает плотность ямок травления, 1 табл. 90 мл валериановой кислоты и добавляют 6 мл дистиллированной воды, нагревают до 75 С при тщательном перемешивании. Затем в нем травят в течение 300 мин кварцевую пластину с диаметром 7 мм. После травления пластину промывают в горячей воде, сушат и под микроскопом (увеличение О от 50 до 800 крат) фиксируют наличие или Ч) определяют плотность ямок травления. На фь, поверхности кварцевой пластины, про- (Я травленной при описанных условиях, были обнаоужены 22 ямки травления. В то же,фвремя последующее травление в растворе фтористоводородной кислоты без добавления органической кислоты привело к образованию на поверхности кварца 170 ямок а травления.П р и м е р 16, Берут 57 г гидродифторида аммония ЙН 4 Н)-2, добавляют 10 мл изомасляной кислоты и доводят объем до 100 мл, приливая дистиллированную воду, нагревают до 75 С при тщательном переме1694500 2 у мин 3 Ь мкн т, ьс Пример,Состав раствора Концентра- Концентрацияция ПА 8, фт-х,моль нольл л Плотность ямок травления, щт,ПАЕ без ПА 8 3,5 84 нг-ннаг-н,о - изокротоновая кислота НГ - 1 Оннаг - 17НГОнну 90 4 О,В 10 8515 141 0,6 НГ-ННьГ-НЗО- иэокротоновая кислота 2 ОО 40,8 нг-ннг-н о -1изокротьоновая кислотаНН 4 НГ, -Н,О -изоянтарйая кйслота НР "О 5 Ннгг - 1 -5 15 9,7 1 О 5 енг,-н,о - физоянтарная кислота 1,6 нн,нг,-но - изоянтарная кислота 4,8 9,В НГ НННГ, -2нг-зННчЩ - 2нр юннзнг 2 - 21 Е 80 нг-нньнг -н о - ацетоновая кислота в НГ-НН 1,НГ -Н 40 ацетоновая кислота 0,5 во 4,7 нг-ннзнг, -нзоацетоновая кислота ео 1 О итаконовая кислота 0,6 НГ-Н О итаконовая кислота 5,4 12НГ-Н О -)итаконовая кислота 11,5 75 1 Э в,г 15 нг-и овалериановая кислота 75 14 4,1 нг-новалериановая кислота 25 1 О 3,8 4 192 112 15 0,45 2 О Нзо валериановая кислота 3,8 36 12,4 5 154 16 60 гГН 1 НГ,-Н О- иэомасляная кислота 1 О 75 НН,НР-Н,Оизомасляная кислота 4,8 17 75 12,4 25 12,4 27 151 1 О,г 413 0,5 75 161 нннг -н,оизомасляная кислота НР-ЯН Р-Н О " в 1 винная кислота9,2 80 5,3 5 156 2 О ННР-Н 1 О - винная кислота 75 1 О 9,3 64 15 О 126 12 21 Нг Н О - винная кислота 2,Э 19 50 60 149 10,6 Нет 22 14 7 О 6,9 Н 1 НР -оовинная кислота 114 шивании, Затем в.нем травят в течение 60 мин кварцевую пластину с диаметром 7 ь 1 М. ПОСЛЕ тРаВЛЕНИЯ ПЛаСтИНУ ПРОМЫВаЮт в горячей воде, сушат и под микроскопом фиксируют наличие или определяют плот ность ямок травления, На поверхности кварцевой пластины, протравленной при описанных условиях, были обнаружены 5 ямок травления. В то же время последующее травление в оастворе гидродифтори да аммония без добавления органической кислоты привело к образованию на поверхности кварца 164 ямок травления. Формула изобретения Раствор для травления кварца, включающий фторсодержащий компонент и органическую кислоту, с одной функциональнойрогруппой -С отличающийся тем, что, с целью снижения плотности ямок травления, используют органическую кислотус Длиной воДороДного раДикала С 4 С 10 с концентрацией 0,45-211,5 моль/л и фторсодержащий компонент с концентрацией 0,5 - 27 мольл. Е 16 4 О,В В 51 1 О 4,2Нет 144 е 4,2 1 162 24 4,2 3 192 270 Э,1 Нет 21214 3,1 Нет 215 1 З З,211 З 60 1,3 100 158 98 7,3 92 163 Ег 1,З В , 194 300 3,8 22 110)5 5,6 159 ннннг-нокапроновая кислота 160 3,7Э 7 3,6 175 75 ннг-и о - капроновая кислота капроновая кислота 33 0,8 92 З,У 225 иг-ноэнантовая кислота б,б 75 360, 4,1 60 181 36 нг-н,о,1энантовая кислота 75 Зь 4,1 35 196 0,7энантовая кислота 17 75 34 4,1 360 4,3 22 87 НР-Н,О,9 каприловая кистрта 75 65 157 39 каприловая кислота 2,8 10 75 140 4,Э 41 199 40 НГ-Н 2 О,6 каприловя кислота 21 25 4,3 201 5,4пеларгоновая кислота 75 360 4,3 90 75 42 75 нг-н,о,5пеларгоновая кислота 140 43 92 191 43 нг-но,6пеларгоновая кислота 22 У 5 44 5,4каприновая кислота 0,8 75 Каприноеая кислота 2,3 15 75 46 НР-и О каприновая кислота 0,8 24 75 20 3,9 НГ"Н О -муравьиная кислота 19 75 465 9,3 48 нг-й о,3 муравьиная кислота 24 46 202 9,3 202 49 уксусная кислота 8,6 75 91 5,5 145 145 161 161 0 нг-ио,3трихлоруксусная кислота 270 75 5,4 Составитель Т. НикульниковаРедактор Л. Алексеенко Техред М.Моргентал Корректор С, Лисина Заказ 3284 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4 с 2 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина. 101 НР ННРНГ 1 - бНР" 3нннг-НР " 0,5НйНГа,51 26 4,3 420 Э,9 112 3,9 100 246 121 18125 223 128 227 157 157