Купрюнин

Номер патента: 1694501

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Быстрова, Купрюнин, Лаврищев, Мелкумянц, Раков, Федоров

МПК: C03C 15/00

Метки: кварца, раствор, травления

...поверхности,Испытания проводят на круглых образцахкварца с диаметром 7 мм с исходной шероховатостью 8=0,1 мкм. Образцы помещают в раствор определенного состава и травят при определенной температуре. Значение шероховатости поверхности измеряют на профилографе-профилометре "ТаИэцб - 6".Конкретные составы растворов и их свойства приведены в таблице.Раствор для травления к ва рцэ готовят следующим образом. Фо рмула Раствор для т щий фторсодержа ский спирт, о т л целью повышения нический спирт с о пой ОН при длине С 2 - С 10, с кончен фторсодержащий цией 2,0 - 21,0 мол быть испольэотки изделий из ктронной и мети. Целью изоение качества твор содержит т с концентранический спирт уппой ОН при икала С 2 - С 1 о с оль/л. При искаэанной...

Номер патента: 1694500

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Быстрова, Купрюнин, Лаврищев, Мелкумянц, Раков, Тамбовцева, Федоров

МПК: C03C 15/00

Метки: кварца, раствор, травления

...- 17НГОнну 90 4 О,В 10 8515 141 0,6 НГ-ННьГ-НЗО- иэокротоновая кислота 2 ОО 40,8 нг-ннг-н о -1изокротьоновая кислотаНН 4 НГ, -Н,О -изоянтарйая кйслота НР "О 5 Ннгг - 1 -5 15 9,7 1 О 5 енг,-н,о - физоянтарная кислота 1,6 нн,нг,-но - изоянтарная кислота 4,8 9,В НГ НННГ, -2нг-зННчЩ - 2нр юннзнг 2 - 21 Е 80 нг-нньнг -н о - ацетоновая кислота в НГ-НН 1,НГ -Н 40 ацетоновая кислота 0,5 во 4,7 нг-ннзнг, -нзоацетоновая кислота ео 1 О итаконовая кислота 0,6 НГ-Н О итаконовая кислота 5,4 12НГ-Н О -)итаконовая кислота 11,5 75 1 Э в,г 15 нг-и овалериановая кислота 75 14 4,1 нг-новалериановая кислота 25 1 О 3,8 4 192 112 15 0,45 2 О Нзо валериановая кислота 3,8 36 12,4 5 154 16 60 гГН 1 НГ,-Н О- иэомасляная кислота 1 О 75 НН,НР-Н,Оизомасляная кислота...

Номер патента: 1627601

Опубликовано: 15.02.1991

Авторы: Карпеев, Купрюнин, Мелкумянц, Ракитин, Раков, Федоров

МПК: C30B 29/30, C30B 33/10

Метки: волнах, лития, ниобата, поверхностно-акустических, подготовки, подложек, фильтров

...1 Л ОИНЫ 5(ЛОК ТРДВ,(ЦИ 51Пг)и.)( г) I. 10 пц;ь 1 ожк и ( нио 6;т( .1 ития дидметроч 50 чм и толп(Но 1 мч с о;(ной стороны Илифуюг алманыч дбрдивм ло о 6 р( ц В ( н и 5 н (н (. й ч и к р о н р 0 В н Ост и Гл у нци 20 м кч. 11 оков;1 01 ь ил(еря к)т и; прфи,цгрдф(-профГол( гр н;1 пяти рд - ,изныл отрнкдк. 11 ц.ьо кку 06 рдбдтывдк; н рави (,е и ( У(П/ь нгр Ол,(ц 240 (:,И ци( 1 О чн. 1 ц,л ;1 о Ин( ркнцсь ,м 6 ипци ячцк Гр;н 1 ня,)81;) л(кч, 11 ылцл и)лложек в 0,(нук п 1 нлук(ию тгяц,учния фильтров нд поверкностпо-акусти искик Вцлндк 1(Н)".П(и, р 2 110.1 ожкирис цтдвливдк)т к( к (при л 1 ре. Иц ил 1(Н 5 к)т ВИ.1, и ст( и(.нь лилН(кц) 06 р;160 тки, сос:и( 1 р;Вит(,1 я,ЛПрдтурЛ И .ЬИт.ЬНОТЬ тр;ГкСиня 2104(:1 О(.1 11,11 ОБ)л 11 111 ;(л 1. )л 1...

Номер патента: 1594222

Опубликовано: 23.09.1990

Авторы: Груздев, Карпеев, Купрюнин, Мелкумянц, Раков, Федоров

МПК: C30B 29/30, C30B 33/00

Метки: состав, травления

...нагревают до 133 С, поме.- щают в образовавшийся расплав подложки ниобата и танталата лития и травят при этой температуре. Количество исходных компонентов для приготовления травителя и температуру травления определяют из фазовой диаграммы системы КР-НР при концентрациях КР 61 мас,Ж и НР 39 мас.й. зовано для химической обработки подложек ниобата и танталата лития. Цельизобретения - повышение скороститравления, Состав для травления монокристаллических подложек ниобата итанталата лития представляет собойрасплав компонентов, взятых в количестве, соответствующем на фазовойдиаграмме НР-КР, где И-щелочной металл и/или аммоний, соотношению,мас.7: МР 48-89, КР 11-52. Скоростьтравления повьшается в несколько разпо сравнению с прототипом. 1 табл....