Устройство для получения пленок многокомпонентных сплавов

. ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ(54 МНО (57 К олу ров сп олулро- онент- териа- нне вод ных в. м со СдстА ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯКОМПОНЕНТНЫХ СПЛАВОВИзобретение относится к пдниковой технике и можетьзовано для получения пковых пленок из многокомпелективно испаряющихся маЦель изобретения - повыше 1Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано для получения полупроводниковых пленок из многокомпонентных селективно испаряющихся материалов.Цель изобретения - повышение качества пленок и соответствия их состава исходному материалу.На чертеже представлено предлагаемое устройство, общий вид.Устройства .включает в себя вакуумную камеру 1, внутри которой расположен графитовый испаритель 2 в ви- де стакана с окном 3 на боковой его поверхности, Внутри испарителя 2 установлен графитовый тигель 4 на штоке 5, шарнирно связанно средством перемещения тигля 4 ре качества пленок и соответствия их состава исходному материалу, В вакуумной камере размещен испаритель. На его боковой поверхности выполнено окно. В испарителе размещен тигель. Тигель соединен с механизмом его вертикального перемещения. Над испарителем размещена подложка, напротив окна - средство периодической подачи исходного материала в тигель. Механизм перемещения тигля и средство периодической подачи исходного материала синхронно связаны. Над тиглем в испарителе установлен сепаратор. Получены пленки соединений В-ЯЬ-Те толщиной до 10 мкм, составорых соответствует исходному маиалу. 1 з.п. -лы, 1 ил. 1 табл. 2во перемещения тигля 4 выполнено в виде рычага 6, закрепленного на оси 7, и электромагнита 8Напротив окна 3 расположено средство 9 для периодической подачи исходного материала, которое синхронно связано со средством перемещения тигля 4, В верхней части испарителя 2 над тиглем 4 уста новлен сепаратор 10, Над испарителем 2 размещена подложка 11. Сепаратор 10 исключает попадание на подложку 11 недоиспарившихся частиц.Устройство работает следующим образом.Порошок исходного материала заданного состава периодически (через 1-3 с) засыпают через окно 3 в горячий тигель 4 для периодической за1474185 20 Содержание компонентов, ат. %, с точностью -2 отн. 7. Концентрацияносителей токаР 10смПодвижность Вид образца Устройстцо носителей р, см/В с БЬ Те В 1. 305 190 10,1 29,6 60,4 2,5 9,3 30,8 61,5 1,7 Пленка Предлагаемое Пленка Известное Исходныйобъемный об 9,9 29,7 60,210 30" 60 2,4 290 разец ф Расчетное содержание компонентов в исходном сплаве заданного состава ВдБЪ Те сыпки. При этом включают электромагнит 8, который притягивает одно из плеч рычага 6 и поворачивает его вокруг оси 7, а второе плечо рычага 6 опускает шток 5 с тиглем 4 и открывает окно 3. После засыпки электромагнит 8 отключают, и рычаг 6, , возвращаясь в первоначальное положение возвратной пружиной, поднимает тигель 4 и перекрывает окно 3 на период полного испарения исходного материала. Затем весь цикл повторяется. 15Получают пленки соединений Вд-БЬТе со скоростью осаждения: 0,5 мкм/ /мин и толщиной до 10 мкм, состав которых соответствует исходному материалу.Концентрация компонентов и некоторые электрические параметры в плен" ках и исходном объемном образце состава 253 ВТе + 753 БЬТе приведены в таблице. 25 Формула изобретения 1. Устройство для получения пленок многокомпонентных сплавов, включающее вакуумную камеру, размещенный в нейиспаритель с окном на его боковой поверхности, средство для периодической подачи исходного материала через это окно и подложку, закрепленную над испарителем, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества пленок и соответствия их состава исходному материа" лу, устройство снабжено тиглем, установленным внутри испарителя и имеющим средство его вертикального перемещения, и сепаратором, размещенным над тиглем.2, Устройство по п.1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что средство для периодической подачи исходного материала синхронно связано со средством вертикального перемещения тигля.1474185 Составитель Н.ДавьТехред А.Кравчук Корректор А. Обруч дактор Н.Яцол ираж 355 каз 1842/2 одписно ВНИИПИ Госу г.ужго Производственно-издательский комбинат "Пат л. Гагарина, 10 ственного 113035,омитета по изосква, Ж,етениям и открытиям при ГКНТ СССРушская наб., д. 4/5