C30B 23/06 — нагревание камеры для осаждения, подложки или испаряемого материала

Номер патента: 1474185

Опубликовано: 23.04.1989

Авторы: Анисимов, Джамагидзе, Мальцев, Швангирадзе

МПК: C30B 23/06

Метки: многокомпонентных, пленок, сплавов

...синхронно связано со средством перемещения тигля 4, В верхней части испарителя 2 над тиглем 4 уста новлен сепаратор 10, Над испарителем 2 размещена подложка 11. Сепаратор 10 исключает попадание на подложку 11 недоиспарившихся частиц.Устройство работает следующим образом.Порошок исходного материала заданного состава периодически (через 1-3 с) засыпают через окно 3 в горячий тигель 4 для периодической за1474185 20 Содержание компонентов, ат. %, с точностью -2 отн. 7. Концентрацияносителей токаР 10смПодвижность Вид образца Устройстцо носителей р, см/В с БЬ Те В 1. 305 190 10,1 29,6 60,4 2,5 9,3 30,8 61,5 1,7 Пленка Предлагаемое Пленка Известное Исходныйобъемный об 9,9 29,7 60,210 30" 60 2,4 290 разец ф Расчетное содержание компонентов в...