Вакуумный манипулятор

СОЮЗ СОВЕТСНИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН ЯО 140433/О 51 4 В 2 ВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ГОСУДА ПО ДЕЛ ТЕЛЬСТВ ВТОР СКОМУ 21) 4162595/5-0822) 18.12.8646) 23.06.88. Бюл. 9 23 Манипулятор лом, которы 16 с двумя 17 необход ного узла к а фланец 1 го манипул 8 я(56) В 82 (54) (57) ствам СС 79 Ф нцы 17 тью ре друг отно средством ш и 18 выполн ные на рази е олзуна 2,и 20, осущовку относ явля ан ев. 2 ил. аеас ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ(53) 62-229.72(088,8) Авторское свидетельство С Р 117, кл. В 25 3 11/00, 19 ВАКУУМНЫЙ МАНИПУЛЯТОРИзобретение относится к устрой- вакуумной техники и преднаэнадля передачи иэделий в вакуумстановках. Целью изобретения тся расширение технологических жностей за счет обеспечения точстановки схвата в пространстве. снабжен стыковочным узй выполнен в виде сильфона фланцами 17 и 18. Фланец им для крепления стыковочгерметичному корпусу 1,- для крепления вакуумнотора на вакуумной камере,18 установлены с воэможлировочного перемещения тельно друга и связаны попилек 19. На фланцах 17 ены выступы, расположенх уровнях параллельно оси и соединены попарно винтаествляющими также регулиительного положения флИзобретение относится к устройствам вакуумной техники и предназначено для передачи изделий в вакуумных установках спектрального анализа, моле кулярно-лучевой эпитаксии и других технологических установок крупносе-, рийного и массового производства полупроводниковых изделий и материалов.Целью изо брете ния является расшире 10 ние технологических возможностей за счет обеспечения точной установки схвата в пространстве .На фиг,1 изображен вакуумный манипулятор, общий вид, разрез; на фиг.2 -15 сечение А-А на фиг.1.Манипулятор состоит из герметичного корпуса 1, ползуна 2, расположенного в герметичном корпусе на направляющих 3 качения, схвата 4 с двумя губками 5 и 6,пружины 7, тяги 8 мв - ханизма 9 продольного перемещения,. привода 10 схвата с барабаном 11,тросика 12 с натяжными роликами 13 и пружиной 14. На фланце 15 герметично го корпуса 1 коаксиально полэуну 2 со схватом 4 закреплен стыковочный узел, Стыковочный узел выполнен в виде сильфона 16 с двумя фланцами 17 и 18. Фланец 17 необходим для крепления 30 стыковочного узла к герметичному корпусу 1, а фланец 18 - для крепления манипулятора вакуумного манипулятора на вакуумной камере. Фланцы 17 и 18 установлены с возможностью регулировочного перемещения друг относительно друга и связаны посредством шпилек 19. На фланцах 17 и 18 выполнены выступы, расположенные на разных уровнях параллельно оси полэуна 2 и 40 соединенные попарно винтами 20.Вакуумный манипулятор работает следующим образом.При установке образца в схват привод 10 сильфонного типа вращает ба рабан 11, В результате намотки на барабан тросика 12 происходит его уко" рачивание в промежутке между барабаном 11 и схватом 4. Это приводит к перемещению тяг 8 и повороту связанных с ними губок 5 и 6. После уста 50 новки образца в схват эа счет вращения барабана в противоположную сторону происходит удлинение тросика, тяги 8 становятся свободными и губки 5 и 6 под действием прркины 7 повора чиваются и зажимают образец. Пружина 14 обеспечивает натяжение тросика, а ролики 13 - его направление, Перемещение полэуна вперед и назад осуществляется с помощью механизма 9 продольного перемещения посредством реечнои передачи.Управление схватом 4 может быть осуществлено в любом положении ползуна 2 и при его перемещении.1Регулйровка положения схвата с образцом относительно приемного столика в рабочей вакуумнои камере при его перемещении производится за счет деформации сильфона 16 в горизонтальном и вертикальном направлениях и под углом к оси вакуумного манипулятора посредством шпилек 19 и винтов 20. Шпильки 19 одним концом ввернуты на резьбе во фланце 18, а другим свободно упираются в проточки фланца 17. Путем вывертывания или завертывания шпилек передается усилие на фланец и таким образом осуществляется деформация связанного с фланцем сильфона 16 и вместе с ним перемещение герметичного корпуса 1 с расположенным в нем схватом в нужном направлении.Винты 20 фиксируют установленное положение и, кроме того, позволяют дополнительно деформировать сильфон 16 в горизонтальной и вертикальной плоскостях, облегчая тем самым выверку изделия относительно приемного столика.Формула изобретенияВакуумный манипулятор, содержащий герметичный корпус, установленный в нем ползун, кинематически связанный с механизмом его продольного перемещения, и схват с приводом, установленный на этом ползуне, о т л и - ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения технологических возможностей за счет обеспечения точной установки схвата в пространстве, он снабжен стыковочным узлом, выполненным в виде двух фланцев, соединенных силь- фоном,в полости которого коаксиально размещен ползун со схватом, причем фланцы установлены с возможностью регулировочного перемещения друг относительно друга посредством шпилек, установленных в отверстиях этих фланцев, при этом на фланцах выполнены выступы, расположенные на разных уро. нях параллельно оси ползуна и соедиз 14043 314ненные попарно дополнительно введен- стыковочного узла жестко связан сными винтами, причем один из фланцев герметичным корпусом. А-А Составитель И.БакулиТехред И.Верес едактор Л.Гратилл рректор Л.Патай Заказ 3037/ ног ний по113035,с роизводственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Тираж 90Государств елам изобре осква, ЖПодписноеомитета СССРоткрытийая наб., д, 4/5