Способ управления стехиометрическим составом кристаллов полупроводниковых соединений цинка, содержащих металлоиды у1 группы

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 9) (11) 151) 4 С 3 О В 3 1 00 Я АНИЕ ИЗОБРЕТСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ К АВТО(21) 2470 (22) 06.0 (46) 30, 0 (71) Томс ванных си троники, и Физичес 82/23-26.87. Бюл. Уий институттем управленомский медиций институт ПРОВОДНИКОВЫХ СОЕДИНЕНИЙДЕРЖАЩИХ МЕТАПЛОИДЫ 71чающий отжиг кристалловталлоида при давлении О,температуре 200-1200 С,ю щ и й с я тем, что, счения кристаллов дырочноводимости эа счет увеличния металлоида в кристхиометрического состава,отжига пары металлоида птолизу.2. Спосо о тщий ся при ЦИНКА, С ГРУППЫ, в в парах м 2 томатизирои радиоэлекский институтП.Н.Лебе 01-3 атм и о тлич а целью полу го типа про де ения содеаллах вьппе е(72) А.Н.Гео ский, А,В.Ла и Б.Г.Урусов (53) 621.315 (56) Крегер кристаллов. об М.Б.КотляН,Михаленко процесвергают ов,л и ч а юиспольэованиив качестве металлоида серы, ведут при длине волны светав 280 нм и потоке квантов 10 ли 2 с х см 2. СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР О ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТ 8. 8)ия несовершенныхир", 1969, с. 77-78.(54) (57) 1. СПОСОБ УПРАВЛЕНИЯ СТЕХИ МЕТРИЧЕСКИМ СОСТАВОМ КРИСТАЛЛОВ ПОЛ л 4аСаЕЮКЯИАй684810 Техред М.Дидык Редактор П,Горькова Корректор В.Гирняк Заказ 3986/3 Тираж 369 ПодписноеВНИИИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано для управления стехиометрическим составом кристаллов полупроводниковых соединений цинка, содержащих металлоиды Ч 1 группы.Известен способ управления стехиометрическим составом кристаллов полупроводниковых соединений цинка, содержащих металлоиды Ч 1 группы, включающий отжиг кристаллов в парах металлоида при давлении 0,01-3 атм и температуре 200-1200 С.Недостатком указанного способа является то, что он не позволяет получать кристаллы полупроводниковых соединений цинка, содержащих металлоиды 71 группы, с проводимостью. дырочного типа даже при максимально возможном при данной температуре отжига давлении паров металлоида.Целью изобретения является получение кристаллов дырочного типа проводимости за счет увеличения содержания металлоида в кристаЛлах вьппе стехиометрического состава.Цель достигается тем, что в процессе отжига пары металлоида подвергают фотолизу. При использовании вкачестве металлоида серы фотолиз ведут при длине волны света 255-280 нми потоке квантов 10 -10 ссм.в тгЭто способствует диссоциации молекул металлоида на атомы и вследствиеэтого повышению степени взаимодействия пара с кристаллом, что и приводит 1 О к увеличению содержания металлоида вкристалле и получению кристаллов дырочного типа проводимости,П р и м е р 1. Отжигают кристаллы2 лЯ п-типа проводимости с удельным 1 Б сопротивлением 10 Омсм при темперанотуре 750 С и давлении серы 1 атм втечение 10 ч при воздействии на паровую фазу ксеноновой лампой. Отожженные кристаллы обладают дырочным типом 20 проводимости с удельным сопротивленивем 10 Ом см и подвижностью дырок5 см /Вс.П р и м е р 2. Отжигают кристаллы2 пБ и-типа проводимости при темперао25 туре 800 С в течение 4 ч и давлениисеры 1 атм при воздействии света. Получены кристаллы с дырочным типомпроводимости и удельным сопротивле)нием 19 Ом см.

Смотреть

Заявка

2470682, 06.04.1977

ТОМСКИЙ ИНСТИТУТ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ, ТОМСКИЙ МЕДИЦИНСКИЙ ИНСТИТУТ, ФИЗИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. П. Н. ЛЕБЕДЕВА

ГЕОРГОБИАНИ А. Н, КОТЛЯРЕВСКИЙ М. Б, ЛАВРОВ А. В, МИХАЛЕНКО В. Н, УРУСОВ Б. Г

МПК / Метки

МПК: C30B 31/00

Метки: группы, кристаллов, металлоиды, полупроводниковых, содержащих, соединений, составом, стехиометрическим, цинка

Опубликовано: 30.08.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-684810-sposob-upravleniya-stekhiometricheskim-sostavom-kristallov-poluprovodnikovykh-soedinenijj-cinka-soderzhashhikh-metalloidy-u1-gruppy.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ управления стехиометрическим составом кристаллов полупроводниковых соединений цинка, содержащих металлоиды у1 группы</a>

Похожие патенты