Способ изготовления омического соединения
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 667007
Автор: Козлов
Текст
1Изобретение относится к областиполупроводникового приборостроенияи может быть использовано при изготбвлении сплавных омических контак"тов йакремниевых структурах сР-ь-переходами и соединении их стермокомпенсаторами.В современной технологии изго-товления силовых диодов и тиристоровкремниевая структура с Р -и-переходами изготавливается методом диффузии, Затем этаструктура со стороныр-эмиттера соединяется с термокомпенсатором методом сплавления, Вкачестве материалакомпенсатораприменяется вольфрам или молибден,а в качестве контактного сплава -алюминий или силумин. Сплавлениепроизводят при 700-1000 С в течение1-10 мин, что обеспечивает полноесмачивание расплавом большой контактной поверхности кремния (болеесм ) и компенсатора и приводит2к качественному контактному соединению большой площади,Однаковысокие температуры сплавления ухудшают качество контактного соединения, что приводит к искажениюэлектрофизйческих параметровисходных кремниевых структур с ро-переходами.Известен способ изготовленияомического соединения кремниевойструктуры с термокомпенсатором большой площади с помощью алюминия илисилумина, заключающийся в нагреведо температур сплавления и временной выдержке, По такому способусплавлеиие осуществляют .при 800 Сс выдержкой 2 мин. Высокая температура для получения омического контакта с кремниевой структурой, содержащей р-ь-переходы, ухудшает ееэлектрофизическйе свойства.Целью изобретения является улучшение электрических и тепловых характеристик соединения при одновременном сохранении электрофизических параметров исходных структур.Поставленная цель достигаетсятем, что по предложенному способусплавление проводят при 577-600 Сс выдержкой 40-50 мин,При таком режиме сплавления образуется. сплав алюминия с кремнием,66700 1 О 20 Изготовление омических соединений кремниевых структур с вольфрамовыми компенсаторами проводят при помощи алюминиевых или силуминовых дисков толщиной 40 мкм. Перед сплавлением детали тщательно обезжиривают, затем . помещают в кассету для сплавления в следующей последовательности: кремний, алюминий или силумин и вольфрамовый термокомпенсатор. Сверху устанавливают груз, кассету, помещают в вакуумную печь, нагревают до 577-, 600 ЧС и выдерживают 40-50 мин. Далее охлаждают до температуры,при которой производится разгрузка кассеты30 35 40 45 50 Предложенный способ изготовления омического соединения кремниевой структуры с термокомпенсатором большой площади обеспечивает качественное соединение при сравнительно низкой температуре (577-600 С), что позволяет сохранить электрофизичес" кие параметры исходных кремниевых структур и улучшить электрические и тепловые характеристики приборов,ВНИИПИ Заказ 1338 /3 Тираж 643 Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 7 3у которого интервал кристаллизацииоменьше 23 С. Это обеспечивает беспористые швы и растворение кремния на небольшую глубину. При этом сохра- няются исходные характеристики кремниевых структур.Во время выдержки при температу" ре сплавления в месте соприкосновения алюминия с кремнием образуется жидкая фаза за счет контактного давления, Образовавшаяся жидкость находится в активированном состоянии и хорошо смачивает и растворяет контактную поверхность кремния до насыщения, Процесс образования жидкой фазы и растворения в системе алюминий - кремний длится 15-25 мин и не зависит от площади контакта. В течение этого времени не наблюдается взаимодействия жидкой фазы с материалом термокомпенсатора, При выдержке до 40-50 мин на контактной поверхности термокомпенсатора образуется прослойка химического соединения, состоящая из алюминия, кремния и вольфрама, и при 577-600 Ссоздается контакт между кремниевой структурой .и термокомпенсатором.
СмотретьЗаявка
2374148, 21.06.1976
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6517
КОЗЛОВ Ю. И
МПК / Метки
МПК: H01L 21/18
Метки: омического, соединения
Опубликовано: 23.03.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-667007-sposob-izgotovleniya-omicheskogo-soedineniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления омического соединения</a>
Способ получения сплавного перехода кремний-алюминий
Номер патента: 109994
Опубликовано: 01.01.1957
МПК: H01L 21/04
Метки: кремний-алюминий, перехода, сплавного
...примеси затруднена припайка к алОминию внешнего вывода и проведение хичс ского травления полученной структуры, так как алюминий бурно реагирует со ще; лочами.В описываемом способе указанные недостатки устранены тем, чо аломинневук) полоску помсьца)т между кристаллом кремния и 1 ластинкои сплава на оловянистой или свинцовой основе и полученную комно: пцию номецаОт в печь и подвергаитг в течение 1 - 2 мин. термообработке при температуре иря:1 ка 70 в 1 еоксляющси среде, При этом алюминий сплавляется с кремнием, ооразуя сплав типа силумин, а олово прочно сплавляется с образовав 1 ПИМС 51 СИЛУ)1 НОМ И К припаивастся Внешний сто олова может быть Оловяно-свинцовый сп. боп другой, сплавля с;1 л; ,11 н) м, 11 ри .)о травления существенно...
Способ получения соединений со структурой граната
Номер патента: 683190
Опубликовано: 15.12.1993
Авторы: Кобзарь-Зеленко, Коновалов
МПК: C01F 17/00
Метки: граната, соединений, структурой
...взаимодействия протекает по уравнениюЗУ(МОз)з+ 2 А 1(МОзз+-ф УЗА 12(АЮ 4)з+ 15 йайОз+ 6 СОгФУглекислые соединения щелочных металлов начинают интенсивно взаимодействовать с азотнокислыми солями РЗЭ алюминия и 45 алюминатом (галлатом) щелочного металла при температурах их разложения на исходные окислы (100-160 С), которые обладают в момент.образования повышенной химической активностью, При этом выделяется га эообраэный С 02, чтО способствует механическому перемешиванию твердофазных компонентов и увеличивает скорость процесса.Рентгенофазовым анализом подтверждено, что образование соединений гранатазавершается в расплаве нитрата натрия притемпературе 310 С, Таким образом, весьпроцесс образования соединения в предлагаемом способе протекает...
Способ получения структуры диэлектрик—кремний
Номер патента: 428484
Опубликовано: 15.05.1974
Авторы: Кольцова, Коробов, Петручук
МПК: H01L 21/314
Метки: диэлектрик—кремний, структуры
...следующим образом.На пизкоомную подложку пз кремния электронной проводимости наносится эпитаксиальный слой 51 толщиной 2 якл с удельным сопротивлением 5 ом. слк Затем в реактор при температуре образца 800 в 12 С в течение 1 - 10 сек подавалась парогазовая смесь, содержащая ЫС 14, СОз, ХНз, Нз, с соотношением компонент смеси, обеспечивающим получение оксинитрида кремния. После обработки чистой поверхности Я в парогазовой смеси наносился методом реакций в парогазовой фазе диэлектрик ЯО 2 - 51 з 1 М 4 с толщиной слоев по 1000 А, Для сравнения были также приготовлены образцы Я с эпитаксиальным слоем ЯО, - .1 зХ 4, с аналогичным428484 Предмет изобретения Составитель П. Сорокина Текрсд Т. КурилкоКорректор В. Гутман Редактор Л. Цветкова...
Способ соединения полупроводниковой структуры с термокомпенсатором
Номер патента: 1579344
Опубликовано: 27.06.2000
Авторы: Авдонин, Евтушенко, Мишанин
МПК: H01L 21/28
Метки: полупроводниковой, соединения, структуры, термокомпенсатором
Способ соединения полупроводниковой структуры с термокомпенсатором, включающий размещение в каждой из ячеек кассеты пакета из термокомпенсатора, алюминиевого припоя, кремниевой структуры с р-n-переходом, заполнение полости кассеты графитовым порошком, создание сжимающего давления на пакеты и термообработку при 577 - 900o, отличающийся тем, что, с целью повышения качества соединения, осуществляют предварительную термообработку заполненной кассеты при 500 - 560oC и давлении 1 - 9 Н/мм2.
Способ анодного соединения структур
Номер патента: 1632957
Опубликовано: 07.03.1991
Авторы: Волков, Рыжаков, Цапулин
МПК: C03C 27/02
Метки: анодного, соединения, структур
...электронагревателя 6 до рабочей температуры, одновременно с помощью амперметра 7 контролируют ток через соединяемые детали. 3 ф3 1632957 4 Составитель Т.Парамоноваедактор И.Дербак Техред М.Дидык Корре Л,Пилипенк О Заказ 595 Тираж 309 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,10 При достижении вариации величины тока в пределах 5% от установившегося значения отключают подогрев металлической плиты, изменяют полярность5 приложенного напряжения и выдерживают в течение времени остывания соединяемых деталей до нормальной температуры.Соединение осуществляется следующим образом: у катодной...
Предыдущий патент: Устройство для измерения параметров пучков заряженных частиц
Следующий патент: Устройство для воздействия квч-излучением на затылочно теменную область головы
Случайный патент: Устройство для электрохимического хонингования