Способ получения сплавного перехода кремний-алюминий

Номер патента: 109994

Авторы: Носов, Русскова

ZIP архив

Текст

Класс 21 Р, 13 в 1109994 СССР САНИК ИЗОБАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛ. Р. Носов и Э. В. Русс ГО ПЕРЕХОИЙ ЛУЧЕНИЯ СПЛАКРЕМНИЙ - АЛЮМ ПОС57123 и Совете 1 О апреля 957 г. зетений и открытий в Комитет Министров дела явле изонем легко ВЫВОД. ВМС. спользован ав пли лю 101 ЦПИС 51 С м пропессоблегчаетне будет о конкта Прсд пз 001) стен Изобретение представляет собой способ получения сплавноо перехода кремния типа и" или р" с ал 1 оминнем. Н известных способах получения сплавного перехода у кремния с использованием алюминия как акцепторной примеси затруднена припайка к алОминию внешнего вывода и проведение хичс ского травления полученной структуры, так как алюминий бурно реагирует со ще; лочами.В описываемом способе указанные недостатки устранены тем, чо аломинневук) полоску помсьца)т между кристаллом кремния и 1 ластинкои сплава на оловянистой или свинцовой основе и полученную комно: пцию номецаОт в печь и подвергаитг в течение 1 - 2 мин. термообработке при температуре иря:1 ка 70 в 1 еоксляющси среде, При этом алюминий сплавляется с кремнием, ооразуя сплав типа силумин, а олово прочно сплавляется с образовав 1 ПИМС 51 СИЛУ)1 НОМ И К припаивастся Внешний сто олова может быть Оловяно-свинцовый сп. боп другой, сплавля с;1 л; ,11 н) м, 11 ри .)о травления существенно ся, так как алюминий и м сь н с и О с 1 е д сВ е н и О с электролитом,Сссоб и,хсн 51 сп,ВВнОГГ) псрсхода кремний - ;1)10 минй, о т- ,1 и 1 1 10 и), и й с 5 Тем, 1 тй, с пель 0 0 О, с г ч с н и 5 и 1) и и а й к и В и с П 1 н с г 0 вывода к переходу и улучшен)гя процесса травления персхо да алюм)пиевую полоску помеща)от между кристаллом кремния типа и" 1)лп )" и пластякой сплава н Олов 5 нист 011 или сВинцовои ОсН 0 В С, П 1). УС Н Н У 10 К О 1 П 0 3Ц 11 О П 0- мсщакт в печь и подвергают термообработке в неокисляющсй срес

Смотреть

Заявка

571236, 10.04.1957

Носов Ю. Р, Русскова Э. В

МПК / Метки

МПК: H01L 21/04

Метки: кремний-алюминий, перехода, сплавного

Опубликовано: 01.01.1957

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-109994-sposob-polucheniya-splavnogo-perekhoda-kremnijj-alyuminijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения сплавного перехода кремний-алюминий</a>

Похожие патенты