Способ соединения полупроводниковой структуры с термокомпенсатором

Номер патента: 1799196

Опубликовано: 20.12.1995

Автор: Переверзев

МПК: H01L 21/00

Метки: пластин, полупроводниковых, термообработки

...фоторезистомустанавливается на подложкодержатель 2,нагреваемый с помощью резистивного нагревателя 1 до верхней (конечной) температуры Тк и охлаждаемый с помощьюхолодильника 3 до базовой (начальной) температуры Тн, причем контроль за температурой осуществляется посредством блока 9 управления через термопару 10, являющуюся датчиком температуры. По завершении 5 обработки при температуре Тк полупроводниковая пластина 11 снимается с подложкодержателя 2. Цикл нагрева в процессе обработки завершен и начинается цикл охлаждения, который служит подготовкой к 10 приему следующего изделия, По сигналу иэблока 9 управления открываются клапаны 6, 7 для подачи воды и воздуха соответственно, в результате чего в холодильник 3 по спиралевидному...

Номер патента: 1458122

Опубликовано: 15.02.1989

Авторы: Новицкий, Ошеверов, Рыбьев, Смирнов

МПК: B23K 11/04

Метки: сварных, соединений, термообработкой

...10 и интегратор 16 переводятся в исходное состояние, На вход Сумматора, выполненного на пятом операционном усилителе 26, вначале охлаждения подается напряжение, пропорциональное 1 которое затем уменьшается за счет подачи на второй вход сумматора выходного напряжения интегратора с противоположным знаком. Скорость изменения напряжения на выходе сумматора определяется уровнем напряжения, на потенциометре 27. Для запуска интегратора служит контакт реле 28,Устройство для управления термообработкой сварных соединений работает следующим образом,После сварки вторым ключом 11 включения термообработки (обмотка реле находится в схеме управления последовательностью операций сварочной машины) включаются формирователь 9 прямоугольных импульсов и...

Номер патента: 1484201

Опубликовано: 20.01.1996

Авторы: Болозубов, Гордиенко, Жучков, Косогоров, Малкина

МПК: H01L 21/58

Метки: подложкой, полупроводниковой, соединения, стекла, электростатического

1. СПОСОБ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОГО СОЕДИНЕНИЯ СТЕКЛА С ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПОДЛОЖКОЙ, на которой сформирована интегральная схема, заключающийся в контактировании обработанных не ниже 12-го класса чистоты поверхностей, нагревании их до температуры, ниже точки плавления стекла, но достаточной для придания ему электропроводности, при которой удельное объемное сопротивление стекла равно 77 - 83 МОм / см, подача электрического напряжения из интервала 0,2 - 2 кВ на контактируемые элементы при этой температуре в течение 20 - 25 мин и охлаждении, отличающийся тем, что, с целью повышения прочности и герметичности, при охлаждении продолжают подачу напряжения до тех пор, пока удельное объемное сопротивление стекла станет равным 110 - 125 МОм / см.2....

Номер патента: 1665879

Опубликовано: 23.07.1991

Авторы: Духновский, Крысов, Кузнецов

МПК: C30B 33/00

Метки: пластин, полупроводниковых, термообработки

...0 ь, трубки 6 с общим расходом охлаждающей 0 воды 80 л/мин. Герметичная емкость 10 у представляет собой сильон из полиэтилена и имеет объем 150 см, Нэ держатель 2 загружают кремниевую пластину 3; держатель 2 перемещают в реакционную камеру 1 0 и закрывают ее запорным устройством 12. Через трубки 6 подают охлаждающую воду, а через патрубок 8 подают смесь газов С 02 ( ) и Н 2 до давления 30 ати. Время процесса составляет 100 с, температура 1200 С. В конце процесса температура дистиллированной воды составляет 48 С. Расширение 3000 см воды при нагреве ее на 30 С со 3 ставляет приблизительно 30 см, т. е. мень1 бб 5879 3 ше объема герметичной емкости 10, что позволяет скомпенсировать изменение ее объема при нагреве или откачке внутреннего...

Номер патента: 150921

Опубликовано: 01.01.1962

Автор: Терешин

МПК: G01K 1/20

Метки: полупроводниковый, термокомпенсатор

...состоит из двух не мых электрических цепей, имеющих между собой тепловую связ ботающих в определенных, наперед заданных режимах. Термисторы 1 и 2 служат в качестве регулирующих, а терми 8 включается в цепь термокомпенсируемого прибора, например тильногофотоэлемента, и предназначен для осуществления темп турной стабилизации тока. Цепи подогревных обмоток 4,5 через з мы о,7 и 8,9 питаются от соответствующей обмотки одного и тог ферромагнитного стабилизатора (не показан на чертеже). Питание термокомпенсатора от двух независимых обмоток ст лизатора производится таким образом, что увеличение напряжени одной обмотке сопровождается соответствующим уменьшением на150921 жения на другой, причем сопротивление термистора 3 при этом не зависит от...