Способ анодного соединения структур

(51)5 С 03 С 27/02 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН АВТОРСКОМУ СВИ ЕЛЬСТВУ т с Ь,яют следу с еризуепровож" инение деталей, харак том окисной пленки, с падением величины про пекание заканчивается а тока приближается к ся значению. мое. ро дается екающе когда устанотока.величи ившем ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(54) С 11 ОСОВ АНОДНОГО СОЕДИНЕНИЯСТРУКТУР(57) Изобретение относится к промышленности строительства, к стекольномупроизводству, к технологии анодногосоединения структур типа кремнийстекло, используемых преимущественно Изобретение относится к промышленности строительства, к стекольному производству, к технологии анодного соединения структур типа кремний- стекло, используемых преимущественно при изготовлении мембранных чувствительных элементов датчиков давления, акселерометров.Цель изобретения - повышение качества соединения за счет подавления . деградационных процессов при элект-. родной поляризации.На чертеже приведена схема устройтва для реализации способа.К присоединяемым деталям: кремниевой пластине 1 и неорганическому диэлектрику 2, от источника 3 высокого напряжения через электроды 4 прикладывают разность потенциалов,. Диэлектрическая пластина 2 установлена на стальной отполированцой массивной 2при изготовлении мембранных чувствительных элементов датчиков давления, акселерометров. Цель изобретения - повышение качества соединения за сче подавления деградационных процессов при электродной поляризации. Это достигается тем, что в процессе анодного соединения дополнительно измеряют протекающий через соединяемые детали электрический ток и при его вариации в области значений, близких к установившемуся, изменяют полярность приложенного напряжения, отключают подогрев деталей и выдерживают под напряжением. 1 ил. пластине 5, в которую вмонтирован электронагревательСпособ осуществл ющим образом.Обезжиренные детали укладыва 10 т наь стальную ппастину 5. К деталям подсоединяют электроды 4: анод - к кремниевой пластине, катод - к диэлектрикуЖ,11 роизводят прогрев плиты с по- рмощью электронагревателя 6 до рабочей температуры, одновременно с помощью амперметра 7 контролируют ток через соединяемые детали. 3 ф3 1632957 4 Составитель Т.Парамоноваедактор И.Дербак Техред М.Дидык Корре Л,Пилипенк О Заказ 595 Тираж 309 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина,10 При достижении вариации величины тока в пределах 5% от установившегося значения отключают подогрев металлической плиты, изменяют полярность5 приложенного напряжения и выдерживают в течение времени остывания соединяемых деталей до нормальной температуры.Соединение осуществляется следующим образом: у катодной границы (стекло) происходит деструкция кристаллической решетки, а у анодной границы (кремния) - врастание в решетку новых кристаллических плоскостей, Этот процесс сопровождается электротермомассопереносом, который происходит при подаче электрического напряжения в условиях термического прогрева. Если электрическое напряжение снять преждевременно, то окисная пленка не успевает сформироваться на всей площади присоединяемых деталей.Если подача электрического напря жения продолжается после сформирова- НИЯ ОКИСНОГО СЛОЯ В ЗОНЕ СОЕДИНЕНИЯ деталей, то возникает деструкция решетки кремния, сопровождающаяся обра- . зованием пор и трещин, в результате увеличивается вероятность разрыва соединения в области зоны деструкции кристаллической решетки.Таким образом, для обеспечения качественного соединения деталей необходимо точно контролировать момент завершения формирования окисного ( Услоя, осуществляющего сцепление соединяемых деталей, а также следуетсоздавать условия, препятствующиедеградации окисного слоя после спекания.В предлагаемом способе деструкциякристаллической решетки соединяемыхдеталей предотвращается сменой полярности приложенного напряжения и отключением прогрева деталей. Смена полярности электрического напряжения,приложенного к соединяемым деталям,тормозит деградацию окисной пленкиза счет изменения направления силэлектромассопереноса, одно временноесо сменой полярности отключение подогрева соединяемых деталей способствует понижению сил электротермоперено-.са, интенсифицируя процесс торможениядеградации окисной пленки,Формула изобретенияСпособ анодного соединения структур путем нагрева соединяемых деталей с приложением разности потенциаловьмежду ними и вьдержки до спаивания, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повьппения качества соединения за счет подавления деградационных процессов приэлектродной поляризации, в процессе вьдержки контролируют ток ( через соединяемые детали и после падения его величины изменяют поляр-,:ность приложенного напряжения на противоположную и отключают нагрев.