Номер патента: 552853

Авторы: Епанешникова, Корзо, Черняев

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социаиистических Респубиик(45) Дата опубликования описания 17,11,77(51) %. Кл. Н 01 С 7/00 Гоа 1 ЛаратаааякЯ аовататОовата Маяаотроо ВОСРао далав язобротаааба отарытяй(72) Авторы изобретения В.Н. Черняев, В.Ф. Корэа и И.К. Епанешникова Московский авиационный технологический институт им. К.Э. Циолковского( 5 4 ) РЕЗИСТИВНЬЙ МАТЕ РИЛЛ Изобретение относится к технологиипроизводства радиоэлектронной аппаратуры, в частности к технике создаииярезистивна-емкостных, реэистинных,совмещенных интегральных и танкопленочных микросхем, применяемых в радиоэлектронной аппаратуре и вычислительной технике, и может быть использована при изготовлении резисторов.Известен реэистивный материал, содержащий медь и диэлектрик н видеокислов меди и алюминия.Однако у известного материала диапазон значений удельного сопротивления недостаточно широк, а температур" )5ный коэффициент сопротивления (ТКС)высок,Цель изобретения - расширение диапазона значений удельного сопротивления и снижение ТКС. 20Это достигается тем, что предлагаемый резистинный материал содержитисходные компоненты в следующих количествах, нес.а:Медь 15-58 25Окись меди 12-35Окись алюминия Остальное.Такой материал обладает удельнымсапратинлением от 5 10 до 5 10 Ом сми ТКС от + 1 10 до - 5 10 1/град. 30 Изменяя процентное содержание меди, можно изменять удельное сопротивление материала и его ТКС. Реэистивный материал получают в виде тонкой пленки толщиной от 100 да 8000 А при термическом разложении паров металлоорганических соединений, переносимых инертным газом в горячую зону подложки . Источником окиси алюминия является порошок ацетилацетоната алюминия, а источником меди и они си меди - ацетилацетонат меди, Содержание компонентов в пленке регулируется поддержанием определенных температурных режимов в обоих источниках, скоростью патока инертного газа через источники и температурой н зоне подложки.Характеристики полученных пленок приведены в таблице. Как видно из таблицы, величина удельного сопратинления.этого матери. ала значительно превышает ту же велиф чину у известного материала, а температурный коэффициент на порядок нижеИспользование данного материала для высакоамных резисторов позволит555853 5 107,5 10 5.107 48 34 20 32 16 Формула изобретения Реэистивный материал, содержаший медь и диэлектрик в виде окислов меди и алюминия, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью расширения диапазона значений удельного сопротивле 15-5812-35Остальное,Составитель П. ЛягинТехред М, Левицкая КоРРектоР С, Шекмар Редактор М, Заика Заказ 4073/43 Тираж 976 Подписное ЦНИИПИ Государстввниого комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Филиал ППП Патент, г, Уарод, ул. Проектная, 4 создавать надежные микроминиатюрные высокоомные резисторы для интегральных и тонкопленочных микросхем.Температурный коэффициент таких резисторов на порядок ниже, чем у известного материала, что позволит ис,польэоьаь резисторы в более широком диапазоне рабочих температур.ния и снижения температурйого коэффициента сопротивления, он содержит исходные компоненты в следуюших количествах, вес.З:МедьОкись медиОкись алюминия

Смотреть

Заявка

2317434, 27.01.1976

МОСКОВСКИЙИАВИАЦИОННЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. К. Э. ЦИОЛКОВСКОГО

ЧЕРНЯЕВ В. Н, КОРЗО В. Ф, ЕПАНЕШНИКОВА И. К

МПК / Метки

МПК: H01C 7/00

Метки: материал, резистивный

Опубликовано: 05.10.1977

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-552853-rezistivnyjj-material.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Резистивный материал</a>

Похожие патенты