Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводникового материала
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социалистических Республик. Кл, б 01 г 17/ОЮб 01 г 27/О Заявлено 02,11.1971 ( с присоединением заявки 2166/18 Комитет по делам зобретений н открытий при Совете Министров СССРр,ио,ритетпубликовано 08.11,1973. Бюллетень1 Оата опубликования описания 17.17.1973 УДК 621,317.7.083.Авторыизобретения Кукуй и П. Ф. Мох Заявите УСТРОЙ СТВО ДЛЯ ИЗМ ЕР ЕН ИЯ УДЕЛ ЬН О ГО ОПРОТИВЛЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАТЕРИАЛА2 едмет изобретения Изобретение относится к области измерительной техники.В известных устройствах для измеренияудельного сопротивления полупроводниковогоматериала, геометрические размеры которых 5не сказываются на результатах измерений, автоматизация процесса измерений осуществляется за счет автоматического перемещенияизмерительной головки вдоль слитка, отвода иприжима головки к слитку и регистрации результатов измерения. При этом ввод поправокна геометрию образца не производится илиосуществляется вручную.Для повышения точности измерения засчет введения автоматизированной коррекции 15на геометрию образца предлагаемое устройство дополнительно снабжено датчиком линейного перемещения измерительной головки (например реостатом), электрически связанным сфункциональным преобразователем, выход которого подключен к корректирующей цепистабилизатора тока,На чертеже представлена функциональнаясхема описываемого устройства, состоящегоиз четырехзондовой головки 1, стабилизатора 2 б2 постоянного тока, цифрового вольтметра 3,блока управления 4, механизма б перемещения зондовой головки, реостатного датчика б,функционального преобразователя 7, корректирующего звена 8 стабилизатора тока. 30 Через токовые зонды 9 и 10 измерительной головки 1, прижатой к исследуемому образцу П, пропускается постоянный ток от стабилизируемого источника 2. Напряжение, снимае мое с потенциальных зондов 12 и 1 З, подается на вход измерительного прибора (например цифрового вольтметра) т. Блок управления 4 с помощью механизма б отводит и прижимает зондовую головку к образцу и перемещает ее вдоль торца. Перемещение фиксируется реостатным или другим датчиком б линейного перемещения. Электрический сигнал, пропорциональный смещению зондовой головки от центра образца, поступает на вход функционального преобразователя 7, реализующего нелинейную зависимость поправочного коэффициента Р от величины смещения х,Вход функционального преобразователя связан с корректирующим звеном 8 стабилизатора 2, которое устанавливает величину тока через токовые зонды 1=2 л 5 Р для получения непосредственного отсчета величины удельного сопротивления, т, е. р= У. Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводникового материала, содержащее четырехзондовую измерительную головку, механизм перемещения ее с блоком уп369 о 02 Составитель Т. АфонинТехред Т. Курилко Редактор С. орректор Т. Журавл йфиц Заказ 1020/11 Изд.1260 Тираж 755ЦНИИПИ Коматета по делам изобретений и открытий при Совете МинМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Подписное ов СССР ипография, пр. Сапунова, 2 равления, стабилизатор постоянного тока и цифровой вольтметр, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено датчиком линейного перемещения измерительной головки (например реостатом), электрически связанным с функциональным преобразователем, выход которого подключен к корректирующей цепи стабилизатора тока,
СмотретьЗаявка
1632166
А. С. Кукуй, П. Ф. Мохир БСЕСоюл ПАТЕгГ
МПК / Метки
МПК: G01R 17/06, G01R 27/02
Метки: полупроводникового, сопротивления, удельного
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-369502-ustrojjstvo-dlya-izmereniya-udelnogo-soprotivleniya-poluprovodnikovogo-materiala.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводникового материала</a>
Предыдущий патент: Высоковольтное измерительное устройство
Следующий патент: Устройство для измерения составляющих комплексного сопротивления
Случайный патент: Колесо повышенной эластичности