Грабитель для избирательного травления пленок олова

О П И С А Н И Е 387542ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ союз Соеетскил Социалистических Реслублнкисимое от авт. свидетельства Мо Заявлено 1611.1972 (Ме 175927/с присоединением заявки Мо Н 051 с 3/06 С 231 1/00 ПриоритетОпубликовано 21.Ч,1973.,Бюллетень Юо 27Дата опубликования описания 1.Х.1973 Комитет ло деламизобретений и открыт УДК 621,794,422.7:62 ,3,049.75 (088,8) овете Вбиннстрае СССР Автор,ыизобретен Э Рець и Ю. А. тусевич,Заявите ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯЛЕНОК ОЛОВА ВИТЕЛ к технологии про может быть ис ии гибридных плеение проИзобретение относитсяизводства радиодеталей ипользовано при изготовленночных микросхем.Известен травитель для избирательного Травления пленок оловананесенных на полимерный материал и защищенных слоем фоторезиста в соответствии с получаемым рисун. ком, содержащий смесь азотной, соляной и уксусной кислот с водой. 10Однако травление пленок олова в концентрированных кислотах приводит к интенсивному разрушению как полимерного материала, так и фоторезиста, защищающего пленки олова в процессе травления. 15Целью изобретения является сохран полимерного материала и фоторезиста в цессе травления.Для этого в травитель дополнительно введен азотнокислый натрий и глицерин при сле дующем соотношении компонентов, в вес. 7 оАзотная кислота (уд. вес 1,41) 3 - 6Соляная кислота (уд. вес 1,18) 5 - 9Уксусная кислота (ледяная) 20 - 31Вода (дистиллированная) 10 - 19 25Азотнокислый натрий 3 - 6,Глицерин ОстальноеНаличие глицерина в предлозкенном трави- теле исключает смачивание травителем полимерного материала в процессе избирательно го травления элементов микросхем, выполненных из пленок олова, например верхних обкладок пленочных конденсаторов, что позволяет .изготавливать их методом фотолито. графии без нарушения слоя полимера.Азотнокислый натрий, входящий в состав травителя, увеличивает устойчивость фоторе. зпста в процессе травления пленки олова без предварительной термической обработки (дубления) фоторезиста при высоких температурах. Соотношение кислот подобрано таким Образом, чтОбы получить высокие скороости травления (6000 Цмин при температуре 20 С) с минимальным боковым подтравливанием.Изобретение поясняется следующим примером,На ситалловую подложку напыляют слоионикеля толщиной 4000 - 6000 А, Затем методом фотолитографии изготавливают нижние обкладки кислотных конденсаторов, На нижние обкладки из никеля напыляют полимер на основе силикона в тлеющем разряде при полимеризации мономера гектаметилдисилоксаона толщиной 5000 А. Затем на пленку поли, 1 мера напыляют олово толщиной 6000 А и наносят фоторезист ФПна центрифуге при скорости вращения 1200 - 1400 об(.чин, Высу3шива 1 от при температуре 95 - 100 С в течение 15 - 20 мин, экспонируют и проявляют.Подготовленную таким образом подложку помещают в травитель следующего состава:Азотная кислота 1,41 уд. вес 4 мл Соляная кислота 1,48 уд. вес 7 мл Уксусная кислота (ледяная) 23 мл Азотнокислый натрий 5 гр Глицерин 47 мл Вода (дистиллированная) 14 мл и вытравливают рисунок верхних обкладок пленочных конденсаторов.Окончание процесса травления фиксируют визуально. Скорость травления пленок олова в травителе приведенного состава составляето6000 А/мин при температуре 20 С, После отмывки подложки в дистиллированной воде производят удаление фоторезиста в ацетоне, диоксане или других органических растворителях.387542 Предмет изобретения Азотная кислота (уд. вес 1,41) 3 - 6 Соляная кислота (уд. вес 1,18) 5 - 9 Уксусная кислота (ледяная) 20 - 31 Вода (дистиллированная) 10 - 19 Азотнокислый натрий 3 вГлицерин Остальное 20 Травитель для избирательного травленияпленок олова, нанесенных .на полимерный ма териал и защищенных слоем фоторезиста всоответствии с получаемым рисунком, содержащий смесь азотной, соляной и уксусной кислот с водой, отличающийся тем, что, с целью сохранения полимерного материала и фо торезиста в процессе травления, травитель дополнительно содержит азотнокислый натрий и глицерин при следующем соотношении компонентов, в.вес, о/о;Составитель Е, КовалеваРедактор А, Зиньковский Техред Т. Ускова Корректор Л, ОрловаЗаказ 2565/16 Изд. Мо 699 Тираж 755 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж-З 5, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2