Патенты с меткой «грабитель»

Номер патента: 387542

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Дюн, Матусевич, Рец

МПК: C09K 13/06, H05K 3/06

Метки: грабитель, избирательного, олова, пленок, травления

...слоя полимера.Азотнокислый натрий, входящий в состав травителя, увеличивает устойчивость фоторе. зпста в процессе травления пленки олова без предварительной термической обработки (дубления) фоторезиста при высоких температурах. Соотношение кислот подобрано таким Образом, чтОбы получить высокие скороости травления (6000 Цмин при температуре 20 С) с минимальным боковым подтравливанием.Изобретение поясняется следующим примером,На ситалловую подложку напыляют слоионикеля толщиной 4000 - 6000 А, Затем методом фотолитографии изготавливают нижние обкладки кислотных конденсаторов, На нижние обкладки из никеля напыляют полимер на основе силикона в тлеющем разряде при полимеризации мономера гектаметилдисилоксаона толщиной 5000 А. Затем на...

Номер патента: 436409

Опубликовано: 15.07.1974

Авторы: Кириченко, Курбанов, Угай, Черников

МПК: H01L 21/306

Метки: выявления, грабитель, дислокаций, кремнии

...при,комна гной температуре растворяют в 28 мл дистиллированной воды и добавляют 2 мл концентрированной,серной кислоты, затем добавляют 20 мл плавиковой кислоты (49 - 50%-ной). Нагревают до 35 С н в течение 5 мин с перемешиванием травят на дислокации.,Пример 2. 3,5 г К Сг.О, прои комнатнойтемпературе растворяют в 35 мл воды и до бавляют 4 мл концентрированной серной кислоты, затем добавляют 30 мл плавиковой кислоты (49 - 50%-ной). Нагревают до 30 - 35 С и в течение 3 - 5 мин с перемешиваннем травят на дислокации.15 Насыщенный, раствор, соли двужромовой кислоты в серной кислоте, являясь более сильным окислителем, усиливает гальваничсский эффект растворения кремния в местах выхода дислокаций на поверхность, что позволяет вы являть все...