Стробоскопический волчок

Номер патента: 248806

Опубликовано: 01.01.1969

Авторы: Гаврилкин, Точицкий

МПК: H05K 3/02

Метки: нолунроводниковой, пластины, рисунка, рисунком, совмещения, фотошаблона

...световых потоков от участков, ограниченных контурами штриховых знаков фотошаблона и полупроводниковой пластины в совместном изображении указан ных знаков,Известны способы совмещения рисунка фотошаблона с рисунком полупроводниковой пластины при изготовлении интегральных микросхем, основанные на совмещении штриховых знаков.Цель изобретения - повысить точность совмещения на всех стадиях изготовления интегральных схем,Достигается это тем, что в толще полупроводниковой;пластины получают штриховой знак, который в прямом отраженном свете имеет вид темного штриха более широкого, чем штриховой знак фотошаблона, а совмещают указанные штрихи при помощи биссектора. На чертеже показана, последовательность операций при осуществлении описываемого...

Номер патента: 398067

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Герхарт, Иностранцы, Пауль

МПК: H01L 21/027

Метки: пластины, полупроводниковой, рисунка, рисунком, совмещения, фотошаблона

...и полупроводниковой пластиной 5 образуется зазор, равный высоте базового выступа эталона.На фиг. 1 представлено устройство длясовмещения,и экспонирования, общий вид; на фиг. 2 - устройство для совмещения, реали О зующее предложенный способ; ца фиг. 3, 4показано положение элементов устройства для совмещения вмомецты установки полупроводниковой пластины по эталону и установки в рабочем положении фотошаблона.15 Параллельность между полупроводццковой пластиной 1 и фотошаблоном 2 обеспечивается юст 11 ровкой пластины Относительно эталона 3. После поджима пластины к э.ало ну ее закрепляют в этом положении, смещают 20 эталон, а а его место устанавливают фотошаблон. При этом фотошаслсн устанавливается параллельно над цолуцровод 1 гцковой...

Номер патента: 1501759

Опубликовано: 30.11.1991

Авторы: Генцелев, Самойлиди

МПК: G03F 9/00

Метки: маски, подложки, рисунка, рисунком, совмещения

...кремния, легированного бор2-3 мкм. Топологический рису6 на маске 3 выполнены из слощиной 0,6 мкм, Каждая меткамер 5 х 200 мкм.На подложке 1 формвиде чередующихся полслоев противоположного1501759 вского излучения, и величина электрического тока, протекающего через метки 5, минимальна.П р и м е р 2. Все операции выполняют как в примере 1. Метки 5 на подложке 1 выполняют в виде многослойной структуры, состоящей из чередующихся проводящих и пепроводящих слоев. В частности, такая структура может состоять из слоя кремния, разделенного с кремниевой подложкой слоем окиси кремния толщиной 30-40 А. Составитель В.Рубцов Редактор Н.Каменская Техред М.Моргентал Корректор М.ДемчикЗаказ 4644 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по...

Номер патента: 317335

Опубликовано: 05.04.1980

Авторы: Георгиевская, Мельникова, Пелезнева

МПК: H01L 21/32

Метки: нанесенным, пластину, полупроводника, рисунка, рисунком, совмещения, фотошаблона

...и фиксируют рисунки наэкране преобразователя инфракрасного излучения в видимое,5Совмещение осуществляют следующим обраПластину с рисунком, нанесенным на однусторону, и фоторезистом, нанесенным на дру.10гую сторону, располагают на столике стандартФной кассеты для совмещения рисунком книзуи освещают снизу лампой с вольфрамовойнитью накала, Сверху накладывают фотошаблон.Столик с пластиной подводят к шаблону, но15между пластиной и шаблоном оставляют зазор,позволяющий перемещать шаблон вдоль плас.тины, Изображения рисунков фокусируют наэкране преобразователя с помощью микроскопа МБС - 2. Шаблон перемещают вдоль пластины до тех пор, пока изображения рисунковпластины и фотошаблона на экране преобразователя не совместятся. Затем пластину...

Номер патента: 333730

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Григорьев, Дамский, Долкарт, Новик, Слонимский, Федосеев, Шапиро

МПК: G03F 9/00, H05K 3/00

Метки: печатных, плат, рисунками, рисунков, совмещения, фотошаблонов

...два паль оответств отверсти ются для П ретения т и фотош аблопри изготовлат, основанек, отличаюния точностибазовых тоов на спеех последуюногослойных стия, предваных фотоплаости в заданнью точлее его представ- располоИзвестен способ совмещения рисунков фото- шаблонов с рисунками печатных плат при изготовлении многослойных печатных плат, заключающийся в том, что на фотонегативе каждого слоя за полем рисунка схемы в определенных местах одновременно с вычерчиванием схемы наносятся штрихи. Рабочий фото- негатив наклеивается на металлическую рамку. Фотонегатив с рамкой нужным образом устанавливают с помощью микроскопа по штрихам на координатно-расточном станке и растачивают в ней базовые отверстия. Такой способ характеризуется низкой...