221274

221274 Союз Соеетских Социалистических РеспубликЗависимое от авт, свидетельства 1 х 0 Заявлено 211965 ( 939330/23-5) с присоединением заявки хо хл. 39 Ь, 2 МПК С 08 д ПриоритетОпубликовано 03.11.1969, БюллетеньДата опубликования описания 8 ЛП.1969 омитет по дела обретении и открытиири Соеете МинистроеСССР ДК 771.516:678.682 3222:574,586,5 (088.8) Авторы зобретенпя Г. есников, И, И, Юкельсон, В. С. Глуховской и А, М. Романихин Заявитель о онежскии технологическии институ ТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ПОЛИМЕРА СОБ ПОЛУЧЕНИ Известно, что при введении в молекулу полимера, например в эпоксидную смолу, остатков коричной кислоты образуются светочувствительные полимеры.Целью настоящего изобретения является расширение ассортимента светочувствительных полимеров с высокой разрешающей спосооностью,Согласно изобретению сульфидированный поли феннленэтнл обрабатывают соединениями, содержащими остаток коричной кислоты, например хлористым циннамоилом,Реакцию ведут в присутствии хлористого алюминия в среде хлористого метилена. Полученный полимер - полифениленэтил-лг-циннамоил представляет собой порошок желтого цвета с т. пл. 160 С, растворимый в бензоле, ацетоне, диоксане. на д обла метализлзмен ы на римеметало ил На его основе на подложке полученьки толщиной от десятых долей микрнескольких микрон. Пленки плотные,дают хорошей адгезией к поверхностилов. Под действием ультрафиолетовогочения пленки переходят в нерастворихстояние и выдерживают без заметных иний нагревание при 300 С. Фотосостаоснове полученного полимера можнонять на тонких пленках (0,5 - 1 як)лов, таких как алюминий, хром, золот никель, прн изготовлении полупроводниковых приборов.Разрешающая способность пленок ня основе полученного светочувствительного полиме ря не менее 100 линий на 1 .и,и.Защитный рисунок, полученный с помощьюуказанного фотосостава, устойчив прн селектпвном травлении металлов в концентрированных щелочах, а в смеси соляной и азотной 10 кислот устойчив до 6 нии прн толщине защитного рисунка 0,6 - 0,8 як.Время образования нерастворимого слояпленки светочувствительного полимера прн облучении УФ-лучамн в присутствии сенснбн лизатора - кетона Чнхлеря (5(с от сухогоостатка полимера) зависит от толщины нерастворимого слоя и составляет прн его толщине 0,8; 3,1; 4,3 и 4,5 як соответственно 3;5; 10 и 15 .пия. Снятие рисунка с подложки 20 после травления ввиду его высокой стойкостик кислотам, щелочам и органическим растворам осуществляют выдерживяннем подложки в растворе хлористого алюминия в ннтробензоле при 80 С в течение 5 нин.25 П р н м е р. Получение сульфнднрованногополифениленэтпл-л-цнннамонля.В трсхгорлую колбу с мешалкой помещают10 г сульфндированного полнфеннленэтнла и 100,ял хлористого метнлена. Затем в нее при 30 перемешнвании постепенно дооявляют 16,2 г221274 Прс чст изобретения Тскрсд Л. К. Малова Корректоры; В, Петроваи М. Коробова Рсддк(ор А. Петрова Заказ 78112 1:раж 480 Г о ли ис, (осЦНИИПИ Комитета ио делам (зобрстсийоткры( ири Совстс )Миистров ССС 1Моска, Цс( )р, ир. Серова, д. 4 То( ра(1)(5(, р. Си) ода, 2.ЛОРИСТОГО ЦнХ 1ИГ(1, РСГБОРСП(ОГО 13 40 .,г хлористого м(тилена, и затем порц 5- м( (3 нос 51 т 14,2 Я хло)стОГО ггО)ин 351 Б т(- чсние 45 лгин. Те."иератур(1 01 ни 3- 8 С, 1)реми реакции 35 час.ПО Окончании рсЯкции катализЯторн 1 й комплекс разрушают ш)чкслениой во;ой, пос- ЛЕ ЧСГО ПРОМЫВЯЮт СН)ЛИИИМ КОгнЧЕСт)ОМ ВО- ль. Прод кт т,(л 5 ют 01 хгори(ТОГО 1( ти;1(- и( ссп 11 т, 11311)к;11 пссрсос 1)кЛ(1 От 1.3;иокс- иа во:ио-спиртовой смссьо 1: 1) 1 снова сушат в темноте при комнатной температуре.Получение отержленной пленки. Из бен- ЗО;ЬНОГО РЯСТВОРЯ ПОЛИМЕРЯ ПО,1 ЧЯЮТ ПЛЕНК) НЯ МЕТЯЛЛЕ И ООЛЧЯ 1 От ЕЕ Ъ(Ф-ЛУЧЯМИ В 25000 люкс лампа ДРШ)00) через шаблон с определенным рисунком течение 5 3 ин. Д л 5 и р 0 51 13 Г с н 151 р и с у н к я 0 О р а 3 е ц п 0 Г р 51( я ю т)(ст 3 орит( и , н)Имс), б(н.3 ОГ 1, 13 которо)1 р 1(т 30,)5 ютястк л(ик, ис облченн 1 ис У(1)-луч1. Получеиныи. Иа хСтглгс рисунок ) а 35 т В схеси кис,1 от 13 с,1 учае 30 лОтЯ, хро ма, никеля и в концентрированных щелочах3 с л , ч а е я л ю м и н и 51 . 10 Сособ получения свсточувствительного пс)- лимера утсм обработки сходного полимера сое.Инси 5 хи, солерхкацими остаток коричной кислоп, например хлористым циннамоилом, От.гичаюиийся тем, что, с целью расши рения ассортимента светочувствительных полмеро с высокой разрешающей способно- стьО, В сачестс исходного поли меря рим(- н 5 к)т сс,ь(1),11 ро 3(ин,Й ол(1)енилснэтил.