Травитель для эпитаксиальных пленок на основе железоиттриевого граната
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1682417
Автор: Мальцева
Текст
)5 С 3 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ. Е 1 естгоп. е аког с о 11 арзе сЬ 1 пц. - ,) -768,АЛЬНЫХ АТТРИЕмическим прецизих пленок та, Изгоданных нфигура- радиотехется тем, что пленок ЖИГ,кислоту, дотрированную ем соотношеОстальное при температемпературе ты, При этой ав травителя выделением ота является буславливаетвышечении о вы(54) ТРАВИТЕЛЬ ДЛЯ ЭПИТАКСИ ПЛЕНОК НА ОСНОВЕ ЖЕЛЕЗО ВОГО ГРАНАТА(57) Изобретение относится к хи соединениям и предназначено для онного травления эпитаксиальны на основе железоиттриевого гран тавливаемые путем травления и пленок элементы необходимой ко ции используются в устройствах Изобретение относит соединениям и предназнач онного травления эпитак на основе железоиттр (ЖИГ), получаемых жидко сией на монокристалличе галлийгадолиниевого гра ваемые путем травления и элементы необходимой к пользуются в устройства таких как гиромагнитные задержки и т.п,ся к химическим ено для прецизисиальных пленок иевого граната -фазной эпитакских подложках ната, изготавлиз данных пленок онфигурации исх радиотехники, фильтры, линии Целью изобретения является и ние скорости травления при обес вь)сокого качества границ селекти травливаемых элементов. х как гиромагнитные фильтры, лижки и т.п. Целью изобретения явышение скорости травления при ии высокого качества границ севытравливаемых элементов. жения цели используется традержащий концентрированную ислоту и ортофосфорную кислоошении 5 и 95 мас.0 соответстравление проводится при ре около 175 С. При этой темпетная кислота разлагается с выдеуокиси азота, что обуславливает е скорости травления эпитакпленок толщиной 20 мкм до ин, При превышении данной кон- ф азотной кислоты скорость трав- растает еще более, но при этом ухудшаться качество границ вымых элементов,ники, таки нии задер ляется пов обеспечен лективно Для дости витель, со азотную к ту в соотн вен но, Т темп ерату ратуре азо лением дв повышени сиальных 3 - 4 мкм/м центрации ления воз начинает травливае Поставленная цель достига травитель для эпитаксиальных содержащий ортофосфорную полнительно содержит концен азотную кислоту при следующ нии компонентов, мас. ;Азотная кислота (концентрированная)ОртофосфорнаякислотаТравление производится туре около 175 С, близкой к кипения ортофосфорной кисло температуре введенная в сост азотная кислота разлагается с двуокиси азота. Двуокись аз сильным окислителем, что и о1682417 Составитель Е,писареваТехред М.Моргентал Корректор М, Шароши Редактор Н, Гунько Заказ 3384 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул,Гагарина, 101 повышение скорости травления эпитаксиальных ЖИГ пленок.Проведенные экспериментальные исследования показывают, что укаэанное введение азотной кислоты увеличивает скорость травления, Пленки ЖИГ толщиной 20 мкм растравливаются полностью эа исключением участков, покрытых защитным слоем) за 5 - 7 мин, Скорость травления составляет не менее 3 - 4 мкм/мин, т,е, более, чем в 3 раза превышает скорость травления в известном травителе из ортофосфорной кислоты без добавок),При добавке азотйой кислоты в неполном количестве, чем указанные 5;, скорость травления снижается, При превышении указанного значения скорость травления возрастает еще более, но при этом начинает ухудшаться качество границ вытравливаемых элементов.Формула изобретения 5 Травитель для эпитаксиальных пленокна основе железоиттриевого граната, содержащий ортофосфорную кислоту, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения скорости травления при обес печении высокого качества границ селективно вытравливаемых элементов, травитель дополнительно содержит концентрированную азотную кислоту при следующем соотношении компонентов, мас.3:15 Концентрированнаяазотная кислота 5 Ортофосфорная кислота Остальное
СмотретьЗаявка
4766331, 19.10.1989
ОРГАНИЗАЦИЯ ПЯ В-8942
МАЛЬЦЕВА РАИСА ПЕТРОВНА
МПК / Метки
МПК: C30B 29/28, C30B 33/08
Метки: граната, железоиттриевого, основе, пленок, травитель, эпитаксиальных
Опубликовано: 07.10.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1682417-travitel-dlya-ehpitaksialnykh-plenok-na-osnove-zhelezoittrievogo-granata.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Травитель для эпитаксиальных пленок на основе железоиттриевого граната</a>
Устройство для измерения скорости подвижного элемента сервосистемы
Номер патента: 1797711
Опубликовано: 23.02.1993
Автор: Петер
Метки: подвижного, сервосистемы, скорости, элемента
...элементу 2 и блоку 3 деления, соединенному выходам с выходной шиной 4, Компаратор 5 включен между соответствующими выходами блока 6 формирования двух квадратных сигналов скорости и управляющим входом блока 1 переключения. Блок 6 может быть выполнен в виде оптической решетки 7 (фиг,2) и двух преобразователей 8, 9 установленных с возможностью приема света от решетки 7, падающего на нее от источника 10 света. При этом решетка 7 можетбыть выполнена на диске 11, установленном на валу 12, На диске 11, используемом в качестве стола могут быть установлены обрабатываемые детали (на чертеже не показаны). Решетка 7 может быть выполнена в виде отражающих и неотражающих штрихов, равномерно распределенных по периферии диска 11.Вал 12...
Цифровой измеритель скорости и соотношения скоростей вращения
Номер патента: 857879
Опубликовано: 23.08.1981
Авторы: Гунченков, Денищенко, Стремлин
МПК: G01P 3/60
Метки: вращения, измеритель, скоростей, скорости, соотношения, цифровой
...схему ИЛИ 5 на прямой вход триггера 6, переводит его из состояния О в состояние 1. При этом положительный потенциал с прямого выхода триггера 6 открывает схемы И 7, 22, проходит через открытую схему И 15 на первый вход установки блока 16 индикации. С приходом очередного импульса с датчика 1 счетчик 3 начинает второй цикл счета. При приходе ближайшего, после окончания первого цикла счета счетчиком 3, импульса сравниваемой скорости, который проходит с выхода схемы И 18 через схемы И 14; ИЛИ 13, И 7 на прямой вход триггера 8, триггер 8 из состояния О переходит в состояние 1, на его инверсном выходе появляется потенциал, равный нулю, что приводит к закрытию схем И 2, 18 н прекращению работы счетчиков 3, 19, а положи10 20 Формула изобретения...
Грабитель для избирательного травления пленок олова
Номер патента: 387542
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C09K 13/06, H05K 3/06
Метки: грабитель, избирательного, олова, пленок, травления
...слоя полимера.Азотнокислый натрий, входящий в состав травителя, увеличивает устойчивость фоторе. зпста в процессе травления пленки олова без предварительной термической обработки (дубления) фоторезиста при высоких температурах. Соотношение кислот подобрано таким Образом, чтОбы получить высокие скороости травления (6000 Цмин при температуре 20 С) с минимальным боковым подтравливанием.Изобретение поясняется следующим примером,На ситалловую подложку напыляют слоионикеля толщиной 4000 - 6000 А, Затем методом фотолитографии изготавливают нижние обкладки кислотных конденсаторов, На нижние обкладки из никеля напыляют полимер на основе силикона в тлеющем разряде при полимеризации мономера гектаметилдисилоксаона толщиной 5000 А. Затем на...
Раствор для локального травления пленок арсенида галлия
Номер патента: 513117
Опубликовано: 05.05.1976
Авторы: Кершман, Максимова, Федоров
МПК: C23F 1/02
Метки: арсенида, галлия, локального, пленок, раствор, травления
...может быть осуществлено ни одним из известных травителей. Либо травитель не являетея полирующим к используемой плоскости (100), либо обладает недопустимо большой скоростью травления (1,0- - выше), либо дает Чмкмобразный профиль травления с одновременным разрушением пленки фоторезиста, либо обладает диф- М Плавиковая кислотаПерекись водородаФторид аммония 385,71,5-26 стальн условиях комнатной температуры (20 С) и ушает пленки фоторезиста. Травление эпитак ых пленок ОаА 5 проводится в объемес пе раэаль. та пленок ОаА 5 используется пр меэа-планарных транзисторов, р -ди назоне, н раствор для локал,ного травлнок арсенида галлия, содержащий плавиколоту и перекись водорода. Раствор обеспечивает получение полированноиверхности дна фигур...
Способ определения скоростей миграции радиоактивных элементов в горных породах
Номер патента: 438347
Опубликовано: 23.09.1987
Авторы: Ершов, Хайритдинов
МПК: G01V 5/00
Метки: горных, миграции, породах, радиоактивных, скоростей, элементов
...необходимо знание закона изменения концентрации данного элемента в горных породах со временем, т.е. в течение миллионов лет.В частном случае, при Рх = сопзС, решением уравнения (1) является выра- жение 1 пБС- 1 пБССагде БС, и БС - числа атомов элемента х в моменты времени С, и Ссоответственно.Недостатком известного способа является то, что не известна концентра.ция данного элемента в горной породе (БС,) в прошлом (С), поэтому точное значение величины Рх установить невозможно,.Предлагаемый способ позволяет на основе закона радиоактивного распада по содержанию в некотором объеме двух естественных радиоактивных элементов (материнскоГо и дочернего) одного и того же ряда распада, находящихся в состоянии установившегося нарушения...
Предыдущий патент: Способ термообработки монокристаллов фосфида галлия
Следующий патент: Сепаратор для хлопка-сырца
Случайный патент: Способ автоматического управления технологическим процессом в реакторе полунепрерывного действия