Патенты с меткой «железоиттриевого»

Номер патента: 940248

Опубликовано: 30.06.1982

Авторы: Батенчук, Костюк, Лотоцкий, Тузяк, Ющук

МПК: H01F 10/14, H01F 10/16, H01F 41/22 ...

Метки: граната, железоиттриевого, основе, структур, термической, ферритовых, эпитаксильных

...эпитаксиальные струксостоящие из монокрнсталлической ппенви железо-иттроевого граната (ЖИГ) иподложки из моиокрнстапла галлий-гадлииневого граната (Г 1 Т) овентации 11вырапшвают путем изотермнческого погружения подложек в перенасыщенныйраствор-расплав ферритообразуюших окилов Г 80, гО.н флюса РЬО-В О пообщепринятой технологии. Промытые внчале в кипящей концентрированнойной киспоте, а потом в дистютпированнводе ФЭС подвергают сушке, после чеизмеряют топшину эпитаксиапьного сла также ширину кевой ферромагнитнорезоБансаТермическую обработку ферро-элитаскальной структуры осуществляют слепам путем,ФЭС помещают на платиновую подстку и загружают в кварцевую тРубу имещенную в холодную печь, Из баллоначерез редуктор по полиэтиленовой...

Номер патента: 1682417

Опубликовано: 07.10.1991

Автор: Мальцева

МПК: C30B 29/28, C30B 33/08

Метки: граната, железоиттриевого, основе, пленок, травитель, эпитаксиальных

...с выдеуокиси азота, что обуславливает е скорости травления эпитакпленок толщиной 20 мкм до ин, При превышении данной кон- ф азотной кислоты скорость трав- растает еще более, но при этом ухудшаться качество границ вымых элементов,ники, таки нии задер ляется пов обеспечен лективно Для дости витель, со азотную к ту в соотн вен но, Т темп ерату ратуре азо лением дв повышени сиальных 3 - 4 мкм/м центрации ления воз начинает травливае Поставленная цель достига травитель для эпитаксиальных содержащий ортофосфорную полнительно содержит концен азотную кислоту при следующ нии компонентов, мас. ;Азотная кислота (концентрированная)ОртофосфорнаякислотаТравление производится туре около 175 С, близкой к кипения ортофосфорной кисло температуре...