Способ травления пленок хрома
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
1)424333 Союз Советских Социалистических РеспубликОП ИСАНИ ЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУс присоединением заявки-Государственный комитет Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий(54) СПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНОК ХРОМА Изобретснгге относится к тенологии изготовления микросем гг фотошаблонов методом фотолитографии,Известен способ травления пленок крома в растворе соляной кислоты с добавкой лори стык солей.Предлагаемый способ отличается от известного введением в раствор,в качестве хлоргистой соли двулористого олова в количестве 30 - 100 г/л и проведением процесса при 1 О 60 - 110 С. Это позволяет згптенсифицировать процесс и,повысить качество травления.П р н м е р 1. Пленку хрома толщггной 300 А, цацсгсшгую на керамическую подложку с 8 классом чистоты вакуумтермическим ггапылеогиезг, подвергают в,процессе фотолптографгпи ца гтадш дуоления фоторезиста нагревагцию на воздуе при 250 С в течение 0,5 час. Травление хрома производят в нагретом до 75 С 20%-ном растворе соляной кислоты, содержащем 60 г/л двухлористого олова.Время травлсния 15 сек. После раствсрегпия горсма ца незащищенныфоторезистом ъгаткагодложкъ промывагот Водои и Выс- шивают. В результате видимых следов ггестравленного рома на подложке под микро. скопом нс обнаружено.П р и м е р 2. На керазгггческуго подложку 7 класса чистоты наносят в вакууме двуглогное покрыт.ге из хрома (толщина 250 А) и меди (толщина 0,6 лгклг). После фотолитографии производилось гальваничсскос парапцгваппе меди до толщины 60 лгкль Травление меди на толщину 0,6 лгклг проводилось 25%- ной азотной кислотой, а затем промытую водой подложку поместили в нагретый до 90 С раствор 30%лной соляной кислоты, содержащий 45 г/,г двухлористого олова. Время травления хрома 10 сек. При обследовании под микроскопом следов гнестравлеггггого крома и растравливания медного слоя це обнаружено.Предмет изобретения Способ травления пленок крома в растворе соляной кислоты с добавкой лорнетысолей, от,гичаогггиггся тем, что, с целью ицтегссифгагац 1 гог процесса гг повышегг 1 гя качества травления, в качестве лоригтой голи в раствор вводят двулористое олово гв количестве 30 - 100 г/.г и процесс проводят при 60 - 110 С,
СмотретьЗаявка
1601394, 21.12.1970
изо бретен, А. А. Яровой, Г. Е. Ревзин, К. И. Гутров, Н. Л. Зелепухина, Ю. И. Полещук
МПК / Метки
Метки: пленок, травления, хрома
Опубликовано: 15.04.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/1-424333-sposob-travleniya-plenok-khroma.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ травления пленок хрома</a>
Грабитель для избирательного травления пленок олова
Номер патента: 387542
Опубликовано: 01.01.1973
МПК: C09K 13/06, H05K 3/06
Метки: грабитель, избирательного, олова, пленок, травления
...слоя полимера.Азотнокислый натрий, входящий в состав травителя, увеличивает устойчивость фоторе. зпста в процессе травления пленки олова без предварительной термической обработки (дубления) фоторезиста при высоких температурах. Соотношение кислот подобрано таким Образом, чтОбы получить высокие скороости травления (6000 Цмин при температуре 20 С) с минимальным боковым подтравливанием.Изобретение поясняется следующим примером,На ситалловую подложку напыляют слоионикеля толщиной 4000 - 6000 А, Затем методом фотолитографии изготавливают нижние обкладки кислотных конденсаторов, На нижние обкладки из никеля напыляют полимер на основе силикона в тлеющем разряде при полимеризации мономера гектаметилдисилоксаона толщиной 5000 А. Затем на...
Способ травления хрома i
Номер патента: 370280
Опубликовано: 01.01.1973
...пленок хрома в обьеме газовые пузырьки удаляют встряхиванием пластины. При использовании активатора - вод 0 ного раствора боргцдрцдев щелочных металлов и травителя на основе соляной кислоты обработкой в дцсперсцой среде с помощью форсунок происходит равномерное травление по всей поверхности, исключается образова 5 ние подтрава и отпадает необходимость удалять пузырьки воздуха, что обязательно при травлении в объеме.П р и м е р 1. Боргцдрида натрия (ХаВН) -2 г; воды - 100 л.г; время актнвпровацця - 30 2 чин370280 Составитель О. ОбуховаТехред Е. Борисова Корректоры: Л. Царьковаи Е. Талалаева Редактор Г. Полехова Заказ 675(7 Изд.278 Тираж 826 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж-З 5,...
Способ увеличения адгезии тонких металлических пленок к подложкам
Номер патента: 1019965
Опубликовано: 30.05.1991
МПК: H01L 21/263
Метки: адгезии, металлических, пленок, подложкам, тонких, увеличения
...золота толщиной 40 нм напыляют на кремний (материал наиболее широко применяеьвй втвердотельной электронике) маркиКЭФ 0,3, а затем различные ее участ-ки размером 200 х 200 мкмжд облучаотсяпучком электронов с энергией .25 кэВдо различных доз в диапазоне от10 до ОК/см . Диаметр элект 20 ронного пучка равен 2 мкм. Облучениеучастков размером 200 х 200 мкм ведется в режиме строчного сканирования, Ток пучка равен 210 А. Разогрев кремниевой подложки в месте25 падения пучка по расчету не превышает 1 К. Изменение адгезии, связанноес электронным облучением, измеряется широко известным методом царапания иглой. В измерениях применяетсяЗО стальная игла с радиусом острия30 мкм.Результаты измерений показывают,что резкое повышение адгезиив- 800 раз...
П-нитробензилиденгидразид малеиновой кислоты в качестве ингибитора травления стали в соляной кислоте
Номер патента: 1556061
Опубликовано: 10.01.1996
Авторы: Андрейчиков, Козьминых, Новоселова, Халдеев
МПК: C07C 243/32, C23F 11/14
Метки: ингибитора, качестве, кислоте, кислоты, малеиновой, п-нитробензилиденгидразид, соляной, стали, травления
п-Нитробензилиденгидразид малеиновой кислоты формулыв качестве ингибитора травления стали в соляной кислоте.
Вольтамперометрический способ определения олова и меди в амальгаме
Номер патента: 1659831
Опубликовано: 30.06.1991
Авторы: Дементьев, Лепесов, Матвеева, Никитина, Скопин, Фомичев
МПК: G01N 27/48
Метки: амальгаме, вольтамперометрический, меди, олова
...факторы, возникающие при использовании ртутного капающего электрода, такие как например, полярографические максимумы 1-го и 11-го рода, вызванные движением ртути в процессе капания,Определение олова и меди в амальгаме проводят следующим образом. Взвешивают1659831 ставитель Т.Нико хред М,Моргентал ва Корректор С,Черни Редактор М.Нед каз 1838ВНИИП Подписноеизобретениям и открытиям при ГКНТ СССР, Раушская наб., 4/5 ж 411омитета поосква, ЖТрственно113035 оизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород; ул.Гагарина, 10 на аналитических весах электрод, чувствительный элемент которого состоит из платиновой пластинки с нанесенным на нее электролитическим слоем. серебра. Площадь электрода 0,25 см, Подготовленный 5 электрод опускают в...