Гутров
Способ травления пленок хрома
Номер патента: 424333
Опубликовано: 15.04.1974
Авторы: Гутров, Зелепухина, Изо, Полещук, Ревзин, Яровой
Метки: пленок, травления, хрома
...А, цацсгсшгую на керамическую подложку с 8 классом чистоты вакуумтермическим ггапылеогиезг, подвергают в,процессе фотолптографгпи ца гтадш дуоления фоторезиста нагревагцию на воздуе при 250 С в течение 0,5 час. Травление хрома производят в нагретом до 75 С 20%-ном растворе соляной кислоты, содержащем 60 г/л двухлористого олова.Время травлсния 15 сек. После раствсрегпия горсма ца незащищенныфоторезистом ъгаткагодложкъ промывагот Водои и Выс- шивают. В результате видимых следов ггестравленного рома на подложке под микро. скопом нс обнаружено.П р и м е р 2. На керазгггческуго подложку 7 класса чистоты наносят в вакууме двуглогное покрыт.ге из хрома (толщина 250 А) и меди (толщина 0,6 лгклг). После фотолитографии производилось...