Способ травления хрома i

370280 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Сооз Соеетскик Социалистическиз Республикс присоеди орит Комитет по делам зобретеиий и открытийОпублико 15.11,193. Бюллетеньпри Совете Мимистрое СССР. А, Колмаков, Г, М. Белевич, Б, Е. Раснецова и од макова аявител ПОСОБ ТРАВЛЕНИЯ ХРОМ место критиччто усложняет же затрудняет ирование мои достижение анизивыход ьзова- равлс- гидрихрома вляют Изобретение относится к техполопи производства приборов электронной техники, в частности,к изготовлению интегральных и пленочных микросхем, а также хромовых прецизотонпых фотогааблоно, применяемых в производстве изделий микроэлектроники.Известные способы избирательного травления пленок хрома, нанесенных на неметаллическую подложку - стекло, ситалл, кварц - основаны на использовании соляцокислых растворов с активацией, например контактирован 1 ием поверхности хрома с металлом (цинком, аллюминием и др,) г, виде стержня или стружки. В известном спосоое имеетность ко времени травлеция,управление процессом, а такобъективный контроль, фиксмента окончания травлениятребуемых размеров.Предлагаемый способ позволяет меровать, процесс травления и повыситьгодных изделий, что достигается испоцием в качсстве актилатора процессация 1 - 10% -ного водного раствора бода щелочного одповалентного металлаАктивирование поверхности пленоки их последующее травление осущесследующим образом. Пластины с хромовымц плеКамп, на кото.рые цацссец защитный фоторезистивный м- супок, полученный с примецецием негативного цли позитивного фогорезцста, обрабаты 5 вают в ооъеме цли распылециез форсункойраствором следующего состава: боргидрича щелочного одцовалецтного металла - 10 - 100 г; воды - до 1 г. Приготовленный раствор перед употреблением необходихто в те 0 ченце не менее 20,яин выдержать в герметичной таре, защищенной от действия света.Заготовки активируют в течение 0,5 - 3,0,ттин, после чего цх обрабатывают травителем ца основе соляной кислоты в обьеме цлц в дцс 5 персцой среде до полного стравливания хрома с незащищенных фоторезистом участков.При травлении пленок хрома в обьеме газовые пузырьки удаляют встряхиванием пластины. При использовании активатора - вод 0 ного раствора боргцдрцдев щелочных металлов и травителя на основе соляной кислоты обработкой в дцсперсцой среде с помощью форсунок происходит равномерное травление по всей поверхности, исключается образова 5 ние подтрава и отпадает необходимость удалять пузырьки воздуха, что обязательно при травлении в объеме.П р и м е р 1. Боргцдрида натрия (ХаВН) -2 г; воды - 100 л.г; время актнвпровацця - 30 2 чин370280 Составитель О. ОбуховаТехред Е. Борисова Корректоры: Л. Царьковаи Е. Талалаева Редактор Г. Полехова Заказ 675(7 Изд.278 Тираж 826 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж-З 5, Раушская наб., д. 4/5 Типография, пр, Сапунова, 2 П р и м е р 2, Боргидрида натрия (1 чаВН 4) 4 г; воды - 100 мл; время активированиямин.П р и м е р 3. Боргидрида натрия (ЫаВН 4) 8 г; воды - 100 мл; время активпрования 30 сек.П р и м е р 4, Боргидрида калия (КВН 4) 3 г; воды - 100 мл; вре 1 мя акпивирования 1 мин. 10Пример 5. Борпидрида калия (КВН 4) - 6 г; воды - 100,ил; время активирования - 30 сек.Интервалы количества борпидридов щелочных металлов обусловлены следующим. При 15 содержании в растворе боргидридов менее 1 г на 100 мл воды раствор быстро вырабатывается. Содержание боргидридов более 10 г на 100 мл воды нецелесообразно из-за увеличения расхода соли при том же вре мени активирования. В качестве травителей используются травители на основе соляной кислоты, например;кислота соляная, д - 1,13 г,см. при активировании в растворе, указанном в при мере 1, время травления пленки хрома толщиной 0,12 мкм - 7 мин;кислота соляная, д - 1,18 г/смз: при активпровапии в растворах, указа 1 нных в примерах 1, 2, 4, время травления пленки хрома толщиной 0,12 мкм - 2 мин;кислота солярная, с 8 - 1,18 гlсмз - 100 мл;5%-ный раствор ОП(ОП) в воде - 2 мл: при активировании в растворах, указанных в примерах 2, 3 и 5, время травления пленки хрома толщиной 0,12 мкм - 2 - 2,5 мин;кислота соляная, с 1 - 1,18 г/смз - 100 мл;50% -ный раствор натриевой соли диэтилгеюсилового эфира сульфоянтарной кислоты: ври активировании в растворах, указанных в примерах 2, 3 и 5, время травления пленки хрома толщиной 0,12 мкм - 2 - 2,5 мин;,кислота соляная, с 1 - 1,18 г/см - 100 мл;50%-ный раствор полиамфолита в воде - 2 мл: при толщине пленки хрома 0,3 мкм время травления - 3 - 4 мин. Предмет изобретенияСпособ травления хрома, например, при изготовлении пленочных микросхем в солянокислом растворе с использованием активатора, отличиощийся тем, что, с целью обеспечения возможности механизации процесса травления и повышения выхода годных изделий, в качестве активатора используют 1 - 10% -ный водный раствор боргидрида щелочного одновалентного металла.