Способ получения омического контакта металла с кремнием

Номер патента: 118909

Автор: Мельник

ZIP архив

Текст

.Класс 21 р, 13 в 1 СССР ЗОБРЕТЕНИ СВИДЕТЕЛЬСТВУ АВТОРСКО Г. Мельник и И. Г. Мельник НИЯ ОМИЧЕСКОГО КОНТАС КРЕМНИЕМ ЕТАЛЛА СПОСОБ ПО/26 в Комитет Министров СС 5924 евраля 1958 г. за открытий и лам изобретени явлено вете 7 за 1959 г. Опубликовано в Бюллетене изобретени вешает ного моИзвестные способы создания омического контакта кремния с металлом заключаются в гальваническом нанесении таких металлов какникель, медь, золото и др. непосредственно на поверхность кремния.Омические контакты, полученные таким путем, имеют, как правило,большое переходное сопротивление и малую механическую прочность.Предлагаемый способ позволяет получить контакт с малым переходным сопротивлением и высокой механической прочностью,Для этой цели на поверхность кремния наносят, например, методомконденсации из газовой фазы в вакууме слой германия, который покрывают слоем металла контакта, например никелем,Создание омического контакта с кремнием осуществляется следующим образом,В вакууме порядка 10мм Нд на нагретый до 550 кремний, предварительно протравленный в смеси плавиковой и азотной кислот (1: 1),конденсируется испаряемый германий.Затем испарение прекращается и температура кремния повь сядо 700 - 750 и при этой температуре выдерживается 10 мин.Нагревание кремния осуществляется излучением от ленточлибденового нагревателя, помещенного над кремнием.После охлаждения и извлечения из вакуумной установки на полученный на кремнии слой германия гальванически наносится никель,В случае кремния р-типа для испарения применяются р-германийили же германий со слабо выраженной электронной проводимостью.В случае кремния и-типа наносится германий с резко выраженнойэлектронной проводимостью,118909 Предмет изобретения Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Редактор Л. А, Блатова Гр. 97Информационно-издательский отдел.Объем 0,17 п. л. Зак. 2031 Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Петровка, 14.Способ получения омического контакта металла с кремнием для кремнйевых полупроводниковых приборов, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что для получения контакта с малым переходным сопротивлением и с высокой механической прочностью на поверхность кремния наносят, например, методом;конденсации из газовой фазы в вакууме слой германия который покрывают слоем металла контакта, например никелем.

Смотреть

Заявка

592463, 17.02.1958

Мельник В. Г, Мельник И. Г

МПК / Метки

МПК: H01L 21/28

Метки: контакта, кремнием, металла, омического

Опубликовано: 01.01.1959

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-118909-sposob-polucheniya-omicheskogo-kontakta-metalla-s-kremniem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения омического контакта металла с кремнием</a>

Похожие патенты