Способ получения электронно-дырочных структур в антимониде индия

Номер патента: 665611

Авторы: Коршунов, Миркин, Тихонов

Описание

1. Способ получения электронно-дырочных структур в антимониде индия, включающий легирование исходного материала, изготовление подложек, облучение ионами и создание инверсионного слоя последующим отжигом, отличающийся тем, что, с целью упрочнения имплантированного слоя, облучение проводят при температурах подложек от 0,6 Tпл до 0,95 Tпл дозами от 6 1014 до 6 1017 см-2 и греющими плотностями ионного тока от 10 до 50 мкА/см2.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью увеличения концентраций электронов в упрочненном слое до 8 1019 см-3, антимонид индия легируют германием, облучают ионами аргона и проводят лазерный отжиг плотностью мощности от 6 до 56 квт/см2 при длительности импульса от 6 10-3 до 0,8 10-3 с.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что антимонид индия легируют германием, облучают ионами аргона и проводят лазерный отжиг с плотностью мощности от 4 до 300 мвт/см2 при длительности импульса от 5 10-8 до 0,3 10-8 с.
4. Способ по п.1, 2 и 3, отличающийся тем, что, с целью увеличения концентрации электронов в упрочненном слое от 1,1 1020 до 2,5 1021 см-3, подложку облучают ионами теллура.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью управления глубиной n-слоя в структурах n+-n-p от 10 до 500 мкм, антимонид индия легируют германием до получения концентрации дырок от 1 1012 до 5 1013 см-3, а облучение осуществляют ионами теллура в течение времени от 20 до 2 103 с.

Заявка

2509320/25, 18.07.1977

Научно-исследовательский институт механики МГУ им. М. В. Ломоносова

Коршунов А. Б, Миркин Л. И, Тихонов В. Г

МПК / Метки

МПК: H01L 21/265

Метки: антимониде, индия, структур, электронно-дырочных

Опубликовано: 20.09.2001

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-665611-sposob-polucheniya-ehlektronno-dyrochnykh-struktur-v-antimonide-indiya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения электронно-дырочных структур в антимониде индия</a>

Похожие патенты