Способ определения типа проводимости полупроводникового материала

Номер патента: 932891

Автор: Коршунов

Описание

Способ определения типа проводимости полупроводникового материала, отличающийся тем, что, с целью его упрощения путем проведения бесконтактных измерений при исследовании вырожденных полупроводниковых материалов, измеряют спектральные зависимости эллипсометрических параметров анализируемого материала и эталонного невырожденного полупроводникового материала при длинах волн света, меньших длины волны, соответствующей красной границе полосы собственного поглощения эталонного материала, а о типе проводимости анализируемого материала судят по величине параметров при длинах волн, меньших длины волны, соответствующей точке пересечения спектральных зависимостей.

Заявка

2607252/25, 20.04.1978

Научно-исследовательский институт механики МГУ им. М. В. Ломоносова

Коршунов А. Б

МПК / Метки

МПК: G01N 21/17

Метки: полупроводникового, проводимости, типа

Опубликовано: 20.09.2001

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-932891-sposob-opredeleniya-tipa-provodimosti-poluprovodnikovogo-materiala.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ определения типа проводимости полупроводникового материала</a>

Похожие патенты