Способ выращивания монокристаллических слоев

Номер патента: 218324

Авторы: Клименко, Ржанов, Строителев

Описание

1. Способ выращивания монокристаллических слоев преимущественно полупроводниковых материалов, например германия, в вакууме из расплава при температуре, близкой к точке плавления, отличающийся тем, что, с целью получения слоев на подложках, не эпитаксиальных кристаллизирующемуся веществу, с близкими коэффициентами термического расширения, приводят в контакт нормально расплавленному слою в область минимума теплового поля иглообразную монокристаллическую затравку, кристаллографическая ось которой совпадает с ее геометрической осью, и снижают температуру расплава по заданной программе.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что, с целью получения слоя на несмачивающейся подложке, растягивают расплавленный слой на подложке при введении в контакт с ним контура из смачивающегося вещества.

Заявка

1065338/25, 22.03.1966

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Ржанов А. В, Строителев С. А, Клименко А. Г, Клименко Э. А

МПК / Метки

МПК: C30B 7/00

Метки: выращивания, монокристаллических, слоев

Опубликовано: 10.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-218324-sposob-vyrashhivaniya-monokristallicheskikh-sloev.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ выращивания монокристаллических слоев</a>

Похожие патенты