Патенты с меткой «инородным»
Способ присоединения монокристаллических пластин кремния к инородным подложкам
Номер патента: 348132
Опубликовано: 25.01.1979
Авторы: Александров, Клименко, Ржанов
МПК: H01L 21/18
Метки: инородным, кремния, монокристаллических, пластин, подложкам, присоединения
...пластиной и подложкой промежуточного слоя из мате- . ЗО риала, имеющего меньшую температуруплавления,.чем температура плавленияматериала пластины, и способного об- .разовывать.с материалом пластины непрерывную систему равновесных твердыхрастворов. В результате прочно соеди-няются подложка с промежуточным слоемпри расплавлении последнего, а такжепромежуточный слой с монокристаллической пластиной при температурах, прикоторых материал пластины еще относительно мало химически активен. Примером реализации предлагаемого способа может служить присоединение пластины кремния к подложке из муллитовой керамики посредством промежуточного слоя из германия. На пластину кремния наносят слой германия, сверху накладывают плоскую керамическую подложку и...