Способ получения золото-алюминиевых микросварных контактных соединений
Формула | Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Формула
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЗОЛОТО-АЛЮМИНИЕВЫХ МИКРОСВАРНЫХ КОНТАКТНЫХ СОЕДИНЕНИЙ, включающий напыление алюминиевой контактной площадки, формирование промежуточного слоя и термокомпрессорное присоединение золотой проволоки, отличающийся тем, что, с целью повышения качества и надежности соединений путем исключения образования интерметаллических соединений, после напыления алюминия, не нарушая вакуума, формируют промежуточный слой путем напыления никеля толщиной 3000 
и проводят термообработку при температуре 530oС в течение 30 мин.
Описание
Цель изобретения повышение качества и надежности золото-алюминиевых микросварных соединений путем исключения образования интерметаллических соединений.
Для эксперементального подтверждения предлагаемого способа были изготовлены модельные образцы тонкопленочной структуры золото-никель-алюминий в трех партиях с толщинами,
: Au Ni Al 160 100 360 160 150 330 160 200 330Образцы подвергались термообработке в камере электронного микроскопа при температурах от 125 до 550оС и одновременно регистрировалось изменение дифракционной картины в режиме просвечивания. Результаты структурного анализа (расшифровка электронограмм) показали, что на начальных этапах термообработки на границах разделов золото-никель, никель-алюминий образуются зоны твердых растворов, которые при дальнейшей термообработке уменьшают диффузионные потоки золота и алюминия, и тем самым исключают фазообразование в системах золото-алюминий, алюминий-никель.
Таким образом, способ получения золото-алюминиевых микросварных контактных соединений позволяет исключить взаимодействие золота и алюминия, образование интерметаллидов системы никель-алюминий, на влияя на электрофизические параметры полупроводниковых приборов и ИС, улучшить качество и надежность золото-алюминиевых микросварных соединений.
Изобретение относится к микроэлектронике, к способу получения золото-алюминиевых микросварных контактных соединений. Цель изобретений повышение качества и надежности золото-алюминиевых микросварных соединений путем исключения образования интерметаллических соединений. В способе напыляют алюминиевую контактную площадку, не нарушая вакуума, формируют промежуточный слой путем напыления никеля толщиной 3000
и проводят термообработку при температуре 530°С в течение 30 мин, после этого проводят термокомпрессионное присоединение золотой проволоки. Заявка
3202374/25, 20.06.1988
Ереванский политехнический институт им. К. Маркса
Мкртчян С. О, Есаян С. Ж, Абгарян М. Г, Авакян П. Б
МПК / Метки
МПК: H01L 21/28
Метки: золото-алюминиевых, контактных, микросварных, соединений
Опубликовано: 10.12.1995
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1589927-sposob-polucheniya-zoloto-alyuminievykh-mikrosvarnykh-kontaktnykh-soedinenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ получения золото-алюминиевых микросварных контактных соединений</a>
Способ изготовления контактной площадки на подложке из алюминиевого сплава или алюминия
Номер патента: 1381739
Опубликовано: 15.03.1988
Авторы: Большакова, Вулла, Мурашев, Шеханов
Метки: алюминиевого, алюминия, контактной, площадки, подложке, сплава
...меди 8 толщиной10-30 мкм и напыление слоя меди 9 дляустранения дефектов слоя 8 и болеетвердого слоя никеля 10 толщиной0,5-1 мкм, Готовая подложка с рифленой контактной площадкой устанавливается на рабочем столике сварочногоустройства, производящего холодную 40сварку, основным элементом которогоявляется пуансон, перемещающийся в направляющих перпендикулярно подложкемикросхемы, На контактную площадкунакладывается провод 2, затем пуансон 45опускается и в течение 3-13 с в зависимости от диаметра провода 2 прижимает провод 2 к рифлям 11 контактнойплощадки, создавая распределеннуюнагрузку 12 и обеспечивая достаточнуюдля получения холодносварного соецинения беэ нагрева в зоне 13 контактирования,После выполнения холодной сваркимежду проводом 2 и...
Способ получения покрытий на основе соединения никеля с алюминием
Номер патента: 1420069
Опубликовано: 30.08.1988
МПК: B22F 7/04, C23C 24/08
Метки: алюминием, никеля, основе, покрытий, соединения
...тока 35 А/мм для подложки из А 1 диаметром 5 мм и составе исходной смесипокрытия 1 моль А 1 и 1 моль Иь скорость волны синтеза 0,08 м/с, проч"2ность сцепления 730 кг/см .П р и м е р 3. При плотности тока50 А/мм для подложки из А 1 диаметром 5 мм и составе исходной смесипокрытия 1 моль А 1 и 1 моль Мх скорость волны синтеза 0,4 м/с, прочность сцепления 760 кг/см .П р и м е р 4. При плотности тока15 А/мм для подложки из А 1 диаметром 5 мм и составе исходной смесипокрытия 1 моль А 1 и 2 моль Б 1 скорость волны синтеза О, 03 м/с,прочность 55сцепления 710 кг/см ,П р и м е р 5, При плотности тока 35 А/мм для подложки иэ А 1 диаметром 5 мм и составе исходной смеси покрытия 1 моль А 1 и 2 моль Я скорость волны синтеза 0,06 м/с, прочность...
Координационные соединения кобальта (ii) или никеля (ii) с 1-оксиминометилэтилиденгидразиндиуксусной кислотой в качестве катализаторов восстановления кубовых красителей
Номер патента: 1664801
Опубликовано: 23.07.1991
Авторы: Булушева, Гэрбэлэу, Ильичева, Коноваленко, Кричевский, Макарова, Проскина, Румынина, Цветков
МПК: C07F 15/04, C07F 15/06
Метки: 1-оксиминометилэтилиденгидразиндиуксусной, восстановления, катализаторов, качестве, кислотой, кобальта, координационные, красителей, кубовых, никеля, соединения
...соединение показывает идентичные дифрактограммы и ИК-спектры поглощения с комплексами никеля (11) и марганца (И), ко торая вытекает из их изоструктурнасти, и принимая во внимание, что для комплексов марганца (11) на основании исследований магнитной восприимчивости и спектров ЭПР, установлено октаэдрическое строе ние, то и для соответствующих соединений кобальта (11) и никеля (11) также следует предложить октаздрическое строение.Проводят также дериватографическое ис следование целевых продуктовПриводятся реальные композиции составов для однованного суспензионного способа крашения и для двухстадийного способа печати тканей кубовыми красителями на ос нове защищаемых веществ,П р и м е р 1. Состав суспензии красителя, г/л:Кубовый...
Способ изготовления полуфабрикатов из алюминиевых сплавов системы алюминий-цинк-магний-медь
Номер патента: 662022
Опубликовано: 05.05.1979
Автор: Поль
МПК: C22F 1/053
Метки: алюминиевых, алюминий-цинк-магний-медь, полуфабрикатов, системы, сплавов
...в течениевсего процесса экструдирования. После экструдирования заготовка нагревается до 482-521 оС в течение2-40 час, предпочтительно 6-8 час,Эта температура превышает темпера туру солидуса вы:окопрочных сплавовтипа 7000. Интенсивность нагревапоэтому не должна превышать 83 С вочас,чтобы избежать опасность оплавленияя.66022 под закалку до 48 2-521 С в течениеовремени, достаточного для перевода сплава в твердый раствор (обычно 4-8 час), Закалку проводят в воду с температурой 38 С. Старение может проводиться, например, по режиму 102-127 С в течение 70-75 час (Т 6) или двухступенчатому старению по режиму 102-120 ОС 6 час + 171-182 С 7. 5-9, 5 час (Т 73) . Режим Т 6 обеспечивает максимальную прочность, режим Т 7 3 - высокую стойкость к ко...
Способ термической обработки алюминиевых сплавов системы алюминий-медькремний-магний
Номер патента: 736656
Опубликовано: 20.12.2000
Авторы: Арчакова, Данилов, Зарецкий, Каримова, Колобнев, Сетюков, Фридляндер, Хохлатова
МПК: C22C 1/04
Метки: алюминиевых, алюминий-медькремний-магний, системы, сплавов, термической
Способ термической обработки алюминиевых сплавов системы алюминий-медь-кремний-магний, включающий закалку и искусственное старение, отличающийся тем, что, с целью повышения коррозионной стойкости под напряжением, перед искусственным сопряжением проводят естественное старение в течение 5 - 6 месяцев.
Предыдущий патент: Осадительная центрифуга
Следующий патент: Гранулированный гербицидный состав
Случайный патент: Устройство для измерения потенциала электрического поля