Способ обработки полупроводниковых материалов

Номер патента: 1480665

Опубликовано: 27.06.2000

Авторы: Бахшецян, Варданян, Локтаев, Нисневич

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузионного, кремния, легирования, раствор, фосфором

Раствор для диффузионного легирования кремния фосфором, содержащий органический растворитель, ортофосфорную кислоту и пленкообразующий компонент, отличающийся тем, что, с целью повышения уровня легирования диффузионных слоев толщиной более 50 мкм, в качестве пленкообразующего компонента используют эфир германия Ge(OCnH2n+1)4 где 3 n 6, при следующем соотношении компонентов, мас.%:Органический растворитель - 45 - 70Ортофосфорная кислота (70%-ная) - 20 - 40Эфир германия - 5 - 20

Номер патента: 513575

Опубликовано: 05.12.1977

Авторы: Марончук, Пухов, Сушко

МПК: H01L 21/20

Метки: кремнием, легированных, поверхности, слоев, эпитаксиальных

...легированнь ченных методом жидкос личаюшийс яте ворения избыточного кр шают в,раствор-расплав 3-10 вес. % алюминия галлия при 800-850 С рхностих кремнитной эпи итаксиальм, полуксии о т м, что,емния,, содери 90-9 елью р омеес, % в течение Изобретение относится к полупроводниковой технологии и может быть использовано для получения эпитаксиальных р-и структур на основе арсенида галлия, предназначенных для изготовления ИК-светодиодов. 5Известен способ получения р-и структур из ограниченног раствора-расплава, Использование этого способа при получении сильно легированных кремнием эпитаксиальных слоев приводит к образованию на поверхности слоевО арсенида галлия дентритов кремния.Целью изобретения является получение р-п структур арсенида галлия...

Номер патента: 1704495

Опубликовано: 15.06.1994

Авторы: Васильев, Прияткин, Смирнов

МПК: C23F 1/20

Метки: алюминиевых, кремнием, легированных, осветления, раствор, сплавов

...предварительно обезжиренных в растворе едкого натра концентрацией 100 г/лпри температуре 60 С, время 30 с. Качество 40поверхности образцов после осветленияоценивается визуально.Составы опробованных растворов исравнительные экспериментальные данныео проведенных исследованиях предстэвлены в таблице. Для каждого раствора осветления определяют работоспособность, тоесть площадь поверхности деталей, которую можно обработать в единице объема раствора до потери им осветляющей способности (в дм /л), и величину подтравливания металла при осветлвнии, то есть толщину алюминия, которая растворяется в растворе эа 1 мин (в мкм/мин).Из таблицы видно, что повышение работоспособности раствора осветления и снижение подтравливания алюминиевой...

Номер патента: 1539220

Опубликовано: 30.01.1990

Авторы: Воробьева, Рахштадт

МПК: C21D 1/78, C21D 9/02

Метки: кремнием, легированных, пружинных, сталей, термической, углеродистых

...релаксационной стойкости. в соляной ванне в течение 5 мин, Иэо териическую закалку проводили с выдержкой в расплаве селитры при 200 С в течение 1 ч. Затем после разборки связок промывки от солей и суш 1Ю ки проводили отпуск при 300 С в течение 1 ч. После этого образец вставляли в зажимы и помещали в предварительно нагретую до 300 С печь установки для испытаний на кручение. После прогрева образца в течение 5- 10 мин к образцу прикладывали напряжение кручения 840 МПа, равное пределу текучести при данной температуре, и1539220 Формула изобретения Составитель М.Шелагуров Редактор ТаЛаэоренко Техред М.Ходанич Корректор СаШекмарПодписное Тираж 512 Заказ 192ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035,...

Номер патента: 1506138

Опубликовано: 07.09.1989

Авторы: Дягилева, Иванов, Хребтов, Шиканов

МПК: E21F 5/00

Метки: воздухе, забоев, концентрации, очистных, пыли, угольных, шахт

...этих величин получают экспериментально путемпроведения предварительных измеренийвесовым (эталонным) способом с помощью фильтров. Затем для полученныхвеличин К и Уми строят номограмму25зависимости потенциала У от концентрации угольной пыли С для различныхзначений влажности Ы,Измерив в очистном забое потенциалпылевого облака и влажность воздуха, 30по построенной номограмме определяютзапыленность воздуха.Однократного определения величин Ки Ил,для данного разрабатываемогоугольного пласта достаточно, так как 35марка угля в его пределах постоянна ифизические свойства существенно неменяются.П р и м е р . В очистном забое,оборудованном механизированным комплексом, с помощью фильтров АФА иэжекторного аспиратора АЭРА отобраныпыпевые пробы....