Раствор для диффузионного легирования кремния фосфором

Номер патента: 1480665

Авторы: Бахшецян, Варданян, Локтаев, Нисневич

Описание

Раствор для диффузионного легирования кремния фосфором, содержащий органический растворитель, ортофосфорную кислоту и пленкообразующий компонент, отличающийся тем, что, с целью повышения уровня легирования диффузионных слоев толщиной более 50 мкм, в качестве пленкообразующего компонента используют эфир германия Ge(OCnH2n+1)4 где 3 n 6, при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Органический растворитель - 45 - 70
Ортофосфорная кислота (70%-ная) - 20 - 40
Эфир германия - 5 - 20

Заявка

4312465/25, 08.09.1987

Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина

Нисневич Я. Д, Локтаев Ю. М, Варданян А. А, Бахшецян А. Г

МПК / Метки

МПК: H01L 21/225

Метки: диффузионного, кремния, легирования, раствор, фосфором

Опубликовано: 27.06.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1480665-rastvor-dlya-diffuzionnogo-legirovaniya-kremniya-fosforom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для диффузионного легирования кремния фосфором</a>

Похожие патенты