Раствор для диффузионного легирования кремния фосфором
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание


Органический растворитель - 45 - 70
Ортофосфорная кислота (70%-ная) - 20 - 40
Эфир германия - 5 - 20
Заявка
4312465/25, 08.09.1987
Всесоюзный электротехнический институт им. В. И. Ленина
Нисневич Я. Д, Локтаев Ю. М, Варданян А. А, Бахшецян А. Г
МПК / Метки
МПК: H01L 21/225
Метки: диффузионного, кремния, легирования, раствор, фосфором
Опубликовано: 27.06.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1480665-rastvor-dlya-diffuzionnogo-legirovaniya-kremniya-fosforom.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для диффузионного легирования кремния фосфором</a>
Предыдущий патент: Способ изготовления многослойных структур полупроводниковых приборов
Следующий патент: Способ очистки и осушки хлористого метила
Случайный патент: Метчик