Способ изготовления многослойных кремниевых структур
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание
Заявка
4287752/25, 21.07.1987
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Борун А. Ф, Бузылев Н. В, Данилин А. Б, Метакса К. Д, Мордкович В. Н
МПК / Метки
МПК: H01L 21/265
Метки: кремниевых, многослойных, структур
Опубликовано: 20.02.2000
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1499609-sposob-izgotovleniya-mnogoslojjnykh-kremnievykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления многослойных кремниевых структур</a>
Предыдущий патент: Раствор для удаления фтора с поверхности изделий из цирконий-ниобиевых сплавов
Следующий патент: Способ выделения 2, 6-нафталиндикарбоновой кислоты
Случайный патент: Способ управления диаграммой направленности