Способ изготовления многослойных кремниевых структур

Номер патента: 1499609

Авторы: Борун, Бузылев, Данилин, Метакса, Мордкович

Описание

Способ изготовления многослойных кремниевых структур, включающий создание в подложке скрытого слоя диэлектрика путем ионной имплантации азота и последующего отжига, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности способа при одновременном улучшении качества структур путем уменьшения дефектности приповерхностного слоя кремниевой подложки, процесс проводят повторяющимися циклами имплантация - отжиг, при этом цикл по дозе имплантации составляет 1 - 10 х 1016 см-2, а суммарная доза 2 - 6 х 1017 см-2.

Заявка

4287752/25, 21.07.1987

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Борун А. Ф, Бузылев Н. В, Данилин А. Б, Метакса К. Д, Мордкович В. Н

МПК / Метки

МПК: H01L 21/265

Метки: кремниевых, многослойных, структур

Опубликовано: 20.02.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1499609-sposob-izgotovleniya-mnogoslojjnykh-kremnievykh-struktur.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления многослойных кремниевых структур</a>

Похожие патенты