Способ изготовления варикапов

Номер патента: 1204083

Авторы: Аешин, Герасименко, Смирнов, Стась

Описание

Способ изготовления варикапов, включающий облучение протонами и последующий термический отжиг, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии изготовления и повышения чувствительности варикапов к малым напряжениям, облучение проводят протонами с энергией, для которой параметры Rp и Rp удовлетворяют условию
Lpn< Rp-4 Rp< Lpn+LD,
где Lpn - требуемая глубина залегания металлургической границы p - n-перехода или толщина слоя металла для варикапов на основе диода Шоттки;
LD - требуемая протяженность области пространственного заряда при нулевом смещении;
Rp - проецированный пробег протонов;
Rp - среднеквадратичный разброс пробегов,
а термический отжиг в температурном диапазоне от 570 до 820 К.

Заявка

3704233/25, 20.02.1984

Институт физики полупроводников СО АН СССР

Аешин А. И, Герасименко Н. Н, Смирнов Л. С, Стась В. Ф

МПК / Метки

МПК: H01L 21/265

Метки: варикапов

Опубликовано: 20.05.2000

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1204083-sposob-izgotovleniya-varikapov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления варикапов</a>

Похожие патенты